(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221027476 0.6 (22)申请日 2022.03.21 (71)申请人 朗思传感科技 （深圳） 有限公司 地址 518054 广东省深圳市南 山区深圳市 前海深港合作区南山街道前湾一路35 号深港青年梦工场10栋602G (72)发明人 许可　江荣平　刘勘　朱伟毅　 任伟　 (74)专利代理 机构 深圳市深佳知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44285 代理人 戴皓 (51)Int.Cl. G01N 1/24(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 21/39(2006.01)B01D 46/24(2006.01) (54)发明名称 一种滤网探 针 (57)摘要 本发明公开了一种滤网探针， 包括双窗口固 定模块、 滤网采样气室、 平面反射镜固定模块和 镜片吹扫结构， 所述镜片吹扫结构 包括隔热腔模 块、 送气管、 前端吹扫气环腔模块和后端吹扫气 环腔模块； 所述隔热腔模块包括吹扫气供应单 元， 所述吹扫气供应单元用于提供吹扫气体； 所 述送气管与所述吹扫气供应单元连通； 所述吹扫 气供应单元通过所述送气管与所述前端吹扫气 环腔模块和后端吹扫气环腔模块连通； 所述前端 吹扫气环腔模块的吹扫出口与窗口片对应； 所述 后端吹扫气环腔模块的吹扫出口与平面反射镜 对应。 本发明的滤网探针， 使得滤网探针镜片上 的灰尘能够得到及时清扫， 同时避免了测量腔的 内表面堆积灰尘。 权利要求书2页 说明书8页 附图11页 CN 114354297 A 2022.04.15 CN 114354297 A 1.一种滤网探针， 其特征在于， 包括双窗口固定模块 （2） 、 滤网采样气室 （4） 、 平面反射 镜固定模块 （7） 和 镜片吹扫结构， 所述镜片吹扫结构包括隔热腔模块 （1） 、 送气管 （5） 、 前端 吹扫气环腔模块 （3） 和后端吹扫气环腔模块 （6） ； 所述隔热腔模块 （1） 包括吹扫气供应单元， 所述吹扫气供应单元用于提供吹扫气体； 所 述送气管 （5） 与所述吹扫气供应单元连通； 所述吹扫气供应单元通过所述送气管 （5） 与所述 前端吹扫气环腔模块 （3） 和后端吹扫气环腔模块 （6） 连通； 所述前端吹扫气环腔模块 （3） 的吹扫出口与窗口片 （203） 对应； 所述后端吹扫气环腔模 块 （6） 的吹扫出口与平面反射镜 （704） 对应。 2.根据权利要求1所述的滤网探针， 其特征在于， 所述双窗口固定模块 （2） 的一端与所 述隔热腔模块 （1） 连接， 另一端与所述前端吹扫气环腔模块 （3） 的一端连接， 所述前端吹扫 气环腔模块 （3） 的另一端通过滤网采样气室 （4） 与所述后端吹扫气环腔模块 （6） 连接， 所述 送气管 （5） 穿设于所述滤网采样气室 （4） ， 所述后端吹扫气环腔模块 （6） 与所述平面反射镜 固定模块 （7） 连接； 所述隔热腔模块 （1） 远离所述双窗口固定模块 （2） 的一端与光线发射端、 光线接收端连接， 所述 光线发射端和光线接收端设置 于探针的同侧。 3.根据权利要求1或2所述的滤网探针， 其特征在于， 所述前端吹扫气环腔模块 （3） 包括 贴合连接的第一前端吹扫气 片 （301） 和第二前端吹扫气 片 （302） ； 所述第一前端吹扫气片 （301） 和第二前端吹扫气片 （302） 围设成第一吹扫环路 （303） ， 所述第一吹扫环路 （303） 的吹扫出口朝向所述窗口片 （203） 设置； 所述第一吹扫环路 （303） 通过送气管 （5） 与所述吹扫气供应单 元连通。 4.根据权利要求3所述的滤网探针， 其特征在于， 所述第一前端吹扫气片 （301） 为环状 结构， 所述第一前端吹扫气片 （301） 的中心 通孔包括由一端向另一端渐扩的第一斜面通孔， 所述第一 斜面通孔靠近所述第二前端吹扫气 片 （302） 的孔径最大； 所述第二前端吹扫气片 （302） 为环状结构， 所述第二前端吹扫气片 （302） 的中间通孔的 边缘具有环状的第一斜面凸台， 所述第一斜面凸台与所述第一斜面通孔套设装配连接， 并 且装配后两者相互靠 近的面之间形成所述第一吹扫环路 （3 03） 。 5.根据权利要求1或2所述的滤网探针， 其特征在于， 所述后端吹扫气环腔模块 （6） 包括 贴合连接的第一后端吹扫气片 （601） 和第二后端吹扫气片 （602） ， 所述第一后端吹扫气片 （601） 和第二后端吹扫气片 （602） 围设成第二吹扫环路 （603） ， 所述第二吹扫环路 （603） 通过 送气管 （5） 与所述吹扫气供应单元连通， 所述第二吹扫环路 （603） 的吹扫出口朝向所述平 面 反射镜 （704） 设置 。 6.根据权利要求5所述的滤网探针， 其特征在于， 所述第一后端吹扫气片 （601） 为环状 结构， 所述第一后端吹扫气 片 （601） 的中心通 孔边缘具有环状的第二 斜面凸台； 所述第二后端吹扫气片 （602） 为环状结构， 所述第二后端吹扫气片 （602） 的中间通孔包 括由一端向另一端渐扩的第二斜面通孔， 所述第二斜面通孔靠近所述第一后端吹扫气片 （601） 的孔径最大； 所述第二斜面凸台与 所述第二斜面通孔套设装配连接， 并且装配后两者相互靠近的面 之间形成所述第二吹扫环路 （6 03） 。 7.根据权利要求1所述的滤网探针， 其特征在于， 所述吹扫气供应单元包括吹扫座体 （103） ， 所述 吹扫座体 （103） 内设置有吹扫腔室 （1031） ， 所述 吹扫腔室 （1031） 与所述送气管权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114354297 A 2（5） 的一端连通； 所述吹扫腔室 （1031） 与外接的吹扫气路连通， 所述吹扫气路用于为所述吹扫腔室 （1031） 提供吹扫气。 8.根据权利要求1或2所述的滤网探针， 其特征在于， 所述双窗口固定模块 （2） 包括倾斜 设置的两个所述窗口片 （20 3） ， 所述窗口片 （20 3） 连接在 双窗口固定基座 （201） 上。 9.根据权利要求8所述的滤网探针， 其特征在于， 所述双窗口固定基座 （201） 上设置有 两个第一安装通孔， 每个所述第一安装通孔内设置一个所述窗口片 （203）， 所述窗口片 （203） 通过空心压紧螺丝 （202） 固定在所述第一安装通孔内， 所述空心压紧螺丝 （202） 上沿 光线传输方向设置有过光 通孔。 10.根据权利要求9所述的滤网探针， 其特征在于， 所述窗口片 （203） 的两侧均设置一个 第一压紧垫片 （204） ， 所述第一压紧垫片 （204） 为环形垫片。 11.根据权利要求1所述的滤网探针， 其特征在于， 所述平面反射镜固定模块 （7） 包括平 面反射镜固定基座 （701） ， 所述平面反射镜固定基座 （701） 上设置有第二安装通孔， 所述第 二安装通孔内设置有所述平面反射镜 （704） 。 12.根据权利要求11所述的滤网探针， 其特征在于， 所述平面反射镜 （704） 的一侧通过 所述第二 安装通孔内的台面限位， 另一侧通过压紧盖 板 （702） 限位。 13.根据权利要求12所述的滤网探针， 其特征在于， 所述平面反射镜 （704） 与所述台面 之间设置有第二压紧垫片 （70 3） ； 或者， 所述平面反射镜 （704） 与压紧盖 板 （702） 之间设置有第三压紧垫片 （70 5） ； 所述第二压紧垫片 （70 3） 为环形垫片， 所述第三压紧垫片 （70 5） 为圆形垫片。 14.根据权利要求1所述的滤网探针， 其特征在于， 所述滤网采样气室 （4） 包括滤网 （401） ， 所述滤网 （401） 的两端固定连接有滤网支撑筒 （402） ， 所述滤网 （401） 围设成采样气 室腔。 15.根据权利要求1所述的滤网探针， 其特征在于， 所述隔热腔模块 （1） 还包括降温单 元， 所述降温单元包括隔热腔进气管 （102） ， 所述隔热腔进气管 （102） 与隔热腔主气室 （104） 连通， 所述隔热腔主气室 （104） 与双窗口固定模块 （2） 连接； 所述隔热腔进气管 （102） 与外 接的冷却气路连通。 16.根据权利要求15所述的滤网探针， 其特征在于， 所述隔热腔进气管 （102） 与隔热腔 主气室 （104） 之间设置有吹扫座体 （10 3） 。 17.根据权利要求15所述的滤网探针， 其特征在于， 所述隔热腔进气管 （102） 上固定连 接有第一法兰 （101） ， 所述隔热腔主气室 （104） 上固定连接有第二法兰 （105） ， 所述隔热腔主 气室 （104） 远离所述隔热腔进气管 （102） 的端部设置有支撑环 （106） ， 所述支撑环 （106） 用于 支撑所述送气管 （5） 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114354297 A 3