(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221016916 5.6 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 湖北九峰山实验室 地址 430070 湖北省武汉市东湖高新 技术 开发区未来科技城B4- 5楼 (72)发明人 麦志洪　向磊　 (74)专利代理 机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 李秋梅 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01R 31/28(2006.01) G02B 21/24(2006.01) G02B 21/26(2006.01) (54)发明名称 一种用于芯片缺陷检测的系统 (57)摘要 本发明公开了一种用于芯片缺陷检测的系 统， 光成像组件用于将光源装置发出的激光入射 到被测芯片以及获取被测芯片产生的反射光并 相应生成光电信号， 电检测装置与被测芯片连 接， 用于获取被测芯片 的电参数信号。 定位台用 于承载被测芯片并驱动被测芯片运动， 使得入射 到被测芯片的光在被测芯片上的入射位置改变。 本发明可以通过定位台驱动被测芯片运动， 来改 变激光入射到被测芯片的位置， 根据定位台提供 的被测芯片的位置数据、 在各个位置电检测装置 获得的电参数信号 以及光成像组件获得的光电 信号， 可以检测出被测芯片是否存在缺陷以及定 位出被测芯片的缺陷位置。 与现有技术相比避免 了复杂的光学系统结构， 可以降低成本 。 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 CN 114414589 A 2022.04.29 CN 114414589 A 1.一种用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 包括光源装置、 光成像组件、 电检测装 置和定位台； 所述光成像组件用于将所述光源装置发出的激光入射到被测芯片， 以及获取所述被测 芯片产生的反射光并相 应生成光电信号， 所述电检测装置与所述被测芯片连接， 用于获取 所述被测芯片的电参数信号， 所述定位台用于承载所述被测芯片并驱动所述被测芯片运 动， 以使得入射到所述被测芯片的光在所述被测芯片上的入射 位置改变。 2.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 所述定位台用于驱动 所述被测芯片平 移或/和倾 斜或/和旋转。 3.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 所述定位台包括依次 叠放的第一定位台、 第二定位台和第三定位台， 所述第一定位台用于驱动所述被测芯片旋 转， 所述第二定位台用于驱动所述被测芯片倾斜， 所述第三定位台用于驱动所述被测芯片 水平平移或者竖直平 移。 4.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 所述定位台包括压电 定位台， 用于在施加电场的作用下驱动所述被测芯片平 移。 5.根据权利要求1所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 所述光成像组件包括 第一透镜组、 第一光学元件、 第二透镜组和光电装置， 所述第一光学元件设置于所述第一透 镜组和所述第二透镜组之间， 用于使所述光源装置发出 的激光进入所述第一透镜组， 以及 使通过所述第一透 镜组的、 所述被测芯片产生的反射 光进入所述第二透 镜组； 所述第一透镜组用于将进入所述第 一透镜组 的光以会聚方式入射至所述被测芯片， 所 述第二透镜组用于将进入所述第二透镜组的、 所述被测芯片产生的反射光入射至所述光电 装置， 所述 光电装置用于基于 接收到的光 生成光电信号。 6.根据权利要求5所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 所述光成像组件还包 括设置于所述第二透镜组和所述光电装置之间的光阑， 所述光阑设置于所述第二透镜组的 焦平面上。 7.根据权利要求1 ‑6任一项所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 还包括与所 述光成像组件、 所述电检测装置和所述定位台分别相连的控制装置， 用于根据所述定位台 确定的所述被测芯片的位置、 在各个位置所述电检测装置获得的电参数信号以及所述光成 像组件获得的光电信号， 生成所述被测芯片的电参数信号图像、 光电信号图像或者包含电 参数信号和光电信号的图像， 以根据生成图像确定出 所述被测芯片的缺陷位置 。 8.根据权利要求1 ‑6任一项所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 还包括与所 述光成像组件、 所述电检测装置和所述定位台分别相连的控制装置， 用于当接 收到第一指 令时， 控制所述定位台运动， 使得入射到所述被测芯片的光扫描 所述被测芯片的目标区域， 且扫描分辨 率增大。 9.根据权利要求1 ‑6任一项所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 还包括与所 述光成像组件、 所述电检测装置和所述定位台分别相连的控制装置， 用于根据所述光成像 组件获得的光电信号， 控制所述定位台沿着所述光成像组件的光轴平移， 使得所述定位台 处于使所述 光成像组件获得的光电信号 最强的位置 。 10.根据权利要求1 ‑6任一项所述的用于芯片缺陷检测的系统， 其特征在于， 还包括与 所述光成像组件、 所述电检测装置和所述定位台分别相连 的控制装置， 用于控制所述定位权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114414589 A 2台运动， 使得入射到所述被测芯片的光扫描所述被测芯片的预设区域， 并根据扫描生成的 光电信号图像， 控制所述定位台沿着所述光成像组件的光轴平移， 使得所述定位台处于使 获得的光电信号图像中边 缘线宽最 窄的位置 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114414589 A 3