(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122954389.1 (22)申请日 2021.11.29 (73)专利权人 惠州大亚湾 海科发实业有限公司 地址 516211 广东省惠州市惠州大亚湾西 区第一工业园 (72)发明人 徐浩田　 (74)专利代理 机构 北京众达德权知识产权代理 有限公司 1 1570 专利代理师 彭博 (51)Int.Cl. G01N 1/10(2006.01) G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种蚀刻液用的在线检测仪 (57)摘要 本实用新型属于 蚀刻技术领域， 尤其为一种 蚀刻液用的在 线检测仪， 包括底座、 控制台、 第一 收集桶、 第二收集桶、 检测箱、 支撑柱、 分流组件 和移动组件， 分流组件设置在检测箱内部， 分流 组件包括控制结构和分隔板， 控制结构设置在检 测箱内底壁， 分隔板设置在检测箱内部， 通过设 置的控制液压缸带动开合板从第一安装槽内伸 出， 控制废液管的闭合， 通过设置的防腐层对装 置进行保护， 通过设置的分隔液压缸带动挡板上 升进入第二安装槽， 控制检测腔和排液腔是否连 通， 通过控制液压缸和分隔液压缸的配合使用进 行对蚀刻液是否合格时快速区分排出检测箱， 然 后进行收集， 提高工作效率、 降低工作成本和保 护工作时工作人员的安全。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217006463 U 2022.07.19 CN 217006463 U 1.一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 包括底座( 1)、 控制台(2)、 第一收集桶 (3)、 第二收集桶(4)、 检测箱(5)、 支撑柱(6)、 分流组件(7)和移动组件(8)； 所述分流组件(7)设置在所述检测箱(5)内部， 所述分流组件(7)包括控制 结构(71)和 分隔板(72)， 所述控制结构(71)设置在所述检测箱(5)内底壁， 所述分隔板(72)设置在所述 检测箱(5)内部； 所述支撑柱(6)设置在 所述检测箱(5)底部， 所述底座(1)固定焊接在 所述支撑柱(6)底 部， 所述控制台(2)、 所述第一收集桶(3)和所述第二收集桶(4)设置在所述底 座(1)顶部， 所 述控制台(2)和所述第二收集桶(4)设置在所述支撑柱(6)两侧， 所述第一收集桶(3)设置在 所述检测箱(5)底部， 移动组件(8)设置在所述底座(1)内和底部 。 2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 所述检测箱(5)底 部开设有废液口(9)， 所述废液口(9)一侧开设有第一安装腔和第一安装槽， 所述控制结构 (71)分为控制液压缸(711)和开合板(712)， 所述控制液压缸(711)通过螺栓安装在所述第 一安装腔内， 所述开合板(712)设置在所述第一安装槽内， 所述开合板(712)固定焊接在所 述控制液压缸(71 1)的输出端上， 所述 开合板(712)和所述废液口(9)对应。 3.根据权利要求2所述的一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 所述分隔板(72)设 置在所述废液口(9)一侧， 所述检测箱(5)内部通过所述分 隔板(72)分为检测腔(10)和排液 腔(11)， 所述分隔板(72)内部开设有第二安装腔和第二安装槽， 所述第二安装腔内通过螺 栓安装有分隔液压缸(12)， 所述分隔液压缸(12)的输出端固定焊接有挡板(13)， 所述挡板 (13)卡设在所述第二 安装槽内。 4.根据权利要求3所述的一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 所述检测箱(5)内 壁、 所述分隔板(72)外壁和所述开合板(712)顶部设置有防腐层(14)， 所述检测箱(5)顶部 一侧设置有进液管(15)， 所述检测箱(5)底部中间设置有废液管(16)， 所述检测箱(5)底部 一侧设置有出液管(17 )， 所述进液管(15)设置在所述检测腔(10)顶部一侧， 所述废液管 (16)卡设在所述废液口(9)上， 所述出 液管(17)设置在所述 排液腔(1 1)底部一侧。 5.根据权利要求4所述的一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 所述检测箱(5)外 壁上设置有观 察窗(18)， 所述控制台(2)上设置有显示屏(19)和开关组(20)， 所述第一收集 桶(3)设置在所述废液口(9)底部， 所述第二收集桶(4)设置在所述出 液管(17)底部 。 6.根据权利要求1所述的一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 所述移动组件(8) 包括安全 液压缸(81)、 安全板(82)和移动轮(83)， 所述安全液压缸(81)设置在所述底座(1) 内， 所述安全板(82)固定焊接在所述安全液压缸(81)的输出端上， 所述移动轮(83)安装在 所述底座(1)底部 。 7.根据权利要求6所述的一种蚀刻液用的在线检测仪， 其特征在于： 所述底座(1)内部 开设有安全槽， 所述安全液压缸(81)通过螺栓安装在所述安全槽内， 所述安全板(82)底部 设置有安全齿(21)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217006463 U 2一种蚀刻液用的在线检测仪 技术领域 [0001]本实用新型属于蚀刻技 术领域， 具体为 一种蚀刻液用的在线检测仪 。 背景技术 [0002]蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术， 蚀刻技术 可以分为湿蚀刻(wet  etching)和干蚀刻(dry  etching)两类， 最早可用来制造铜版、 锌版 等印刷凹凸版， 也广泛地被使用于减轻重量(Weight  Reduction)仪器镶板， 铭牌及传统加 工法难以加工之薄形工件等的加工， 经过不断改良和工艺设备发展， 亦可以用于航空、 机 械、 化学工业中电子 薄片零件精密蚀刻产品的加工， 特别在半导体制程上， 蚀刻更是不可或 缺的技术， 但是， 蚀刻工作完成后的蚀刻液不能直接排放， 常在处理过后， 经检测合格后排 放或二次利用， 但是检测过程中使用的检测装置常存在一定的不足， 检测之后对满足要求 的蚀刻液和不满足要求的蚀刻液区分收集麻烦， 易对工作人员造成伤害， 工作安全隐患大， 在对不同位置的蚀刻液进行检测时， 需要工作人员移动蚀刻液， 在对蚀刻液移动的过程中 易因意外对工作人员造成伤害， 给使用者带来极大的不便 。 实用新型内容 [0003](一)解决的技 术问题 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种蚀刻液用的在线检测仪， 安全性好， 能快速区分检测 后的蚀刻液并对其进 行收集， 降低工作成本， 能够移动装置， 对不同位置的 蚀刻液进行检测， 防止移动蚀刻液过程中对工作人员造成伤害， 解决了现有装置工作效率 低， 安全性低的问题。 [0005](二)技术方案 [0006]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种蚀刻液用的在线检测仪， 包 括底座、 控制台、 第一收集桶、 第二收集桶、 检测箱、 支撑柱、 分流组件和移动组件； [0007]所述分流组件设置在所述检测箱内部， 所述分流组件包括控制 结构和分隔板， 所 述控制结构设置在所述检测箱内底壁， 所述分隔板设置在所述检测箱内部 。 [0008]所述支撑柱设置在所述检测箱底部， 所述底座固定焊接在所述支撑柱底部， 所述 控制台、 所述第一收集桶和所述第二收集桶设置在所述底座顶部， 所述控制台和所述第二 收集桶设置在所述支撑柱两侧， 所述第一收集桶设置在所述检测箱底部， 移动组件设置在 所述底座内和底部 。 [0009]优选的， 所述检测箱底部开设有废液口， 所述废液口一侧开设有第一安装腔和第 一安装槽， 所述控制结构分为控制液压缸和开合板， 所述控制液压缸通过螺栓安装在所述 第一安装腔 内， 所述开合板设置在所述第一安装槽内， 所述开合板固定焊接在所述控制液 压缸的输出端上， 所述 开合板和所述废液口对应。 [0010]通过采用上述方案， 控制 液压缸、 开合板和废液口的配合使用方便控制废液管的 闭合， 方便对不满足要求的蚀刻液进行收集。说　明　书 1/4 页 3 CN 217006463 U 3