(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122906635.6 (22)申请日 2021.11.23 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司 地址 430079 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区未来 三路88号 (72)发明人 江智　聂艳群　 (74)专利代理 机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 骆希聪 (51)Int.Cl. G01N 1/40(2006.01) G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 气体采样装置 (57)摘要 本申请提供了一种气体采样装置。 该气体采 样装置包括样品盘和采样管， 样品盘设于腔体 内， 采样管与 腔体连通， 其特征在于， 样品盘内置 有用于加热样品的加热电路。 该气体采样装置通 过将加热电路置于样品盘内部， 使腔体内无可见 电线， 保证加热电路不受干扰， 不易损坏， 增加使 用寿命， 使得气体采样装的整体可靠性增加， 能 够准确、 高效、 安全地对物料和机台部件的污染 物进行气体采样。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 217520868 U 2022.09.30 CN 217520868 U 1.一种气体采样装置， 包括样品盘和采样管， 所述样品盘设于腔体 内， 所述采样管与 所 述腔体连通， 其特 征在于， 所述样品盘内置有用于加热样品的加热电路， 还包括采样管冷却装置， 所述采样管冷 却装置包括冷却部件、 位于所述冷却部件内的气体通道和分别位于所述气 体通道两侧的进 气口和出气口， 所述进气口与所述采样管相连， 所述冷却部件用于冷却由所述采样管进入 所述气体通道内的气体。 2.如权利要求1所述的气体采样装置， 其特 征在于， 所述样品盘为陶瓷材质。 3.如权利要求1所述的气体采样装置， 其特征在于， 所述冷却部件包括冷却介质、 外管 壁和内管壁， 所述冷却介质在所述外管壁和所述内管壁之间。 4.如权利要求3所述的气体采样装置， 其特 征在于， 所述内管壁 为导热材料。 5.如权利要求3所述的气体采样装置， 其特 征在于， 所述外管壁 为保温材 料。 6.如权利要求1所述的气体采样装置， 其特征在于， 还包括吹扫接口管路， 与所述腔体 的顶部连通。 7.如权利要求6所述的气体采样装置， 其特征在于， 还包括排气口， 用于排出从所述吹 扫接口管路进入所述腔体的气体。 8.如权利要求7所述的气体采样装置， 其特征在于， 所述腔体为长方体， 所述吹扫接口 管路和所述 排气口均位于所述腔体的侧面。 9.如权利要求8所述的气体采样装置， 其特征在于， 所述吹扫接口管路和所述排气口均 位于所述腔体的同一侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217520868 U 2气体采样装置 技术领域 [0001]本申请主 要涉及气体 检测技术领域， 尤其涉及一种气体采样装置 。 背景技术 [0002]挥发性有机物(VOC)， 空气分子污染物(AMC)， 颗粒物(Particle)对于芯片生产的 影响已越来越得到重视， 特别是对于8 英寸～12英寸集成电路芯片生产， 污染物会直接影响 光刻、 氧化等工序的成品率。 那么管控 无尘车间(FAB)内的物料和机台部件的污染物含量则 十分必要。 [0003]物料和机台部件的污染物的挥发速率与温度正相关， 对待测物料进行加热可以加 快污染物释放， 便于收集测试。 但对待测物料进 行加热有可能导致采样气体温度过高， 造成 吸附效率差， 测量结果 不够准确。 [0004]目前， 物料和机台部件的污染物的气体采样方法通常有两种。 一种气体采样方法 是在开放空间目标物附近直接使用采样工具进行采样。 该方法的采样效果不佳， 测 量准确 度低。 [0005]另一种气体采样 方法是将物料或机台部件放在采样装置的密闭腔体内， 通过腔体 内侧的环绕电热丝对物料或机台部件进行加热旋转后， 通过腔体上的采样孔用采样管进 行 采样。 但在使用过程中， 可能有误碰腔体内侧的环绕电热丝造成电热丝损坏甚至引发安全 问题。 [0006]因此， 如何准确、 高效、 安全地对物料和机台部件的污染物进行气体采样是本领域 技术人员亟需解决的问题。 实用新型内容 [0007]本申请要解决的技术问题是提供一种气体采样装置， 能够准确、 高效、 安全地对物 料和机台部件的污染物进行气体采样。 [0008]为解决上述技术问题， 本申请提供了一种气体采样装置， 包括样品盘和采样管， 所 述样品盘设于腔体内， 所述采样管与所述腔体连通， 所述样品盘内置有用于加热样品的加 热电路。 [0009]在本申请的一实施例中， 所述样品盘为陶瓷材质。 [0010]在本申请的一实施例中， 该气体采样装置还包括采样管冷却装置， 所述采样管冷 却装置包括冷却部件、 位于所述冷却部件内的气体通道和分别位于所述气 体通道两侧的进 气口和出气口， 所述进气口与所述采样管相连， 所述冷却部件用于冷却由所述采样管进入 所述气体通道内的气体。 [0011]在本申请的一实施例中， 所述冷却部件包括冷却介质、 外管壁和内管壁， 所述冷却 介质在所述外管壁和所述内管壁之间。 [0012]在本申请的一实施例中， 所述内管壁 为导热材料。 [0013]在本申请的一实施例中， 所述外管壁 为保温材 料。说　明　书 1/5 页 3 CN 217520868 U 3