(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122338419.6 (22)申请日 2021.09.26 (73)专利权人 福建汇威环保科技有限公司 地址 350000 福建省福州市 鼓楼区铜盘路 软件园E区1 1号楼一层 (72)发明人 林钦　陈沈明　 (74)专利代理 机构 福州市博深专利事务所(普 通合伙) 35214 代理人 董晗 (51)Int.Cl. B01D 5/00(2006.01) B01D 53/26(2006.01) (54)实用新型名称 用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置 (57)摘要 本实用新型涉及臭氧发生器技术领域， 特别 涉及用于半导体制造的臭氧 发生器的凝水装置， 包括主体以及有序填充或无序填充于所述主体 的内腔的钢丝； 所述主体具有与所述内腔相连通 的进气端、 出气端和出水端； 所述出水端上设置 有用于启闭所述出水端的阀门。 本实用新型所提 供的凝水装置结构 简单， 体积小， 冷凝效果佳。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 215538548 U 2022.01.18 CN 215538548 U 1.用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置， 其特征在于， 包括主体以及有序填充或 无序填充于所述主体的内腔的钢丝； 所述主体具有与所述内腔相连通的进气端、 出气端和出 水端； 所述出水端上设置有用于启闭所述出 水端的阀门。 2.根据权利要求1所述用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置， 其特征在于， 所述主 体为空心圆柱状， 所述进气端和出气端分别设置在所述主体的相对两端上。 3.根据权利要求1所述用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置， 其特征在于， 位于所 述内腔中部的钢丝具有第一平均填充密度， 位于所述内腔端部的钢丝具有第二平均填充密 度， 所述第一平均填充密度大于第二平均填充密度。 4.根据权利要 求3所述用于半导体制造的臭氧 发生器的凝 水装置， 其特征在于， 以g/cm3 计的第一平均填充密度比以g/ cm3计的第二平均填充密度至少大3％。 5.根据权利要求1所述用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置， 其特征在于， 所述进 气端与出气端上均设置有卡箍。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 215538548 U 2用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及臭氧发生器技术领域， 特别涉及用于半导体制造的臭氧发生器的 凝水装置 。 背景技术 [0002]在现有技术中， 臭氧发生器的凝水装置通常设置在臭氧发生器内， 如专利 CN106458583B公开的一种臭氧发生装置， 在所述容器内具有冷却空间， 所述冷却空间内填 充由冷却介质。 但是对于上述设计方案而言， 当凝水装置布置在臭氧发生器内容易在臭氧 发生器内积水， 存在一定的安全隐患； 若采用常规的外置凝水装置， 由于 常规的外置凝水装 置体积大、 结构复杂， 并不 适用于场地局限的工作环境中。 实用新型内容 [0003]为了克服上述现有技术的缺陷， 本实用新型所要解决的技术问题是： 提供一种冷 凝效果佳且避免冷凝水回流的用于半导体制造的臭 氧发生器的凝水装置 。 [0004]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供一种用于半导体制造的臭氧发生器的凝 水装置， 包括主体以及有序填充或无序填充于所述主体的内腔的钢丝； [0005]所述主体具有与所述内腔相连通的进气端、 出气端和出 水端； [0006]所述出水端上设置有用于启闭所述出 水端的阀门。 [0007]其中， 所述主体为空心圆柱状， 所述进气端和出气端分别设置在所述主体的相对 两端上。 [0008]其中， 位于所述内腔中部 的钢丝具有第一平均填充密度， 位于所述内腔端部 的钢 丝具有第二平均填充密度， 所述第一平均填充密度大于第二平均填充密度。 [0009]其中， 以g/cm3计的第一平均填充密度比以g/cm3计的第二平均填充密度至少大 3％。 [0010]其中， 所述进气端与出气端上均设置有卡箍。 [0011]本实用新型的有益效果在于： 将凝水装置 的进气端与臭氧发生器的出气口相 连， 以通过填充在主体内腔中的钢丝与臭氧发生器所产生含有 臭氧的空气相接触， 吸收所述空 气中的热量并对空气进行冷凝； 通过在主体上设置出水端， 以便于操作人员将凝集在内腔 中的冷却水进 行排放， 避免由于 冷却水凝集过多， 从进气端倒灌入臭氧发生器中， 或从出气 端流入其他设备中。 本实用新型所提供 的凝水装置结构简单， 可有效去除所述空气 中的水 汽， 以避免过多的水汽流入其 他装置内部影响其 他装置的使用效率。 附图说明 [0012]图1所示为本实用新型在具体实施方式 中凝水装置的剖视图； [0013]图2所示为图1中的A部放大图； [0014]图3所示为本实用新型在具体实施方式 中凝水装置的结构示 意图。说　明　书 1/3 页 3 CN 215538548 U 3