(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122951617.X (22)申请日 2021.11.29 (73)专利权人 合肥优飞材 料科技有限公司 地址 230001 安徽省合肥市庐阳工业区兴 庐科技产业园2#402,40 5 专利权人 中核燃料沧州有限公司 (72)发明人 黄嘉杰　邬明旭　韩文锋　于洪威　 欧阳浩　张钦　 (74)专利代理 机构 南京禾易知识产权代理有限 公司 32320 代理人 段文静 (51)Int.Cl. B01J 19/12(2006.01) B01D 53/32(2006.01) B01D 53/26(2006.01)B01D 53/18(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种工业含氟化合物分解运用循环处理设 备 (57)摘要 本实用新型提出了一种工业含氟化合物分 解运用循环处理设备， 包括： 等离子分解设备与 尾气循环系统， 尾气循环系统包括吸收池、 气体 干燥装置以及缓冲储气罐， 等离子分解设备与用 于处理尾气的吸收池相连， 吸收池与用于去除水 分的气体干燥装置相连， 气体干燥装置与缓冲用 于收集气体的储气罐相连， 气体干燥装置与用于 气体分解的等离子分解设备相连； 等离子分解设 备包括电控柜、 用于产生等离子体的微波系统以 及气体压力控制系统， 微波系统与真空系统相 连， 用于处理物反应处理， 真空系统与用于提供 水冷的冷却系统相连， 冷却系统与气体压力控制 系统相连， 用于多路气体流量控制， 本实用新型 对循环尾气的再利用， 可以极大节约企业处理氟 化物的成本 。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216419352 U 2022.05.03 CN 216419352 U 1.一种工业含氟化合物分解运用循环处理设备， 其特征在于， 包括： 等离子分解设备 (7)与尾气循环系统， 尾气循环系统包括吸收池(9)、 气体干燥装置(10)以及缓冲储气罐 (11)， 所述等离子 分解设备(7)与用于处理尾气的吸收池(9)相连， 吸收池(9)与用于去除水 分的气体干燥装置(10)相连， 气体干燥装置(10)与用于收集气体的缓冲储气罐(11)相连， 气体干燥装置(10)与用于气体分解的等离 子分解设备(7)相连； 所述等离子分解设备(7)包括电控柜(2)、 用于产生等离子体的微波系统(1)以及气体 压力控制系统(6)， 所述微波系统(1)与真空系统(3)相连， 用于处理物反应处理， 真空系统 (3)与用于提供水冷的冷却系统(4)相连， 所述冷却系统(4)与气体压力控制系统(6)相连， 用于多路气体流 量控制， 所述 等离子分解设备(7)与尾气循环系统均 与电控柜(2)相连。 2.根据权利要求1所述的一种工业含氟化合物分解运用循环 处理设备， 其特征在于， 所 述等离子设备与吸收池(9)、 吸收池(9)与气体干燥装置(10)之间设置有用于气体增压的增 压设备(8)， 增压设备(8)为鼓风机或增压器。 3.根据权利要求1所述的一种工业含氟化合物分解运用循环 处理设备， 其特征在于， 所 述微波系统(1)包括微波头、 微波电源、 铁氧体循环器(5)以及三销钉， 所述真空系统(3)上 安装有铁氧体循环器(5)， 铁氧体循环器(5)上安装有三销钉， 铁氧体循环器(5)与微波头相 连， 微波头电性连接有微波电源， 由微波电源给微波头提供高压， 产生微波， 微波经铁氧体 循环器(5)， 三销钉， 传输波导， 在真空系统(3)中的处 理腔内产生 等离子体。 4.根据权利要求3所述的一种工业含氟化合物分解运用循环 处理设备， 其特征在于， 所 述铁氧体 循环器(5)内部增 加石英隔离窗。 5.根据权利要求1所述的一种工业含氟化合物分解运用循环 处理设备， 其特征在于， 气 体压力控制系统(6)包括安装在冷却系统(4)尾端的压力控制器与挡板阀， 以及进气装置， 真空系统(3)与进气装置活动连接 。 6.根据权利要求1所述的一种工业含氟化合物分解运用循环 处理设备， 其特征在于， 还 包括测温系统以及监测系统， 测温系统与监测系统均安装在等离子 分解设备(7)内部， 与电 控柜(2)相连。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216419352 U 2一种工业含氟化合物分解运用循环处理设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及工业含氟化合物处理技术领域， 尤其涉及一种工业含氟化合物 分 解运用循环处 理设备。 背景技术 [0002]微波等离子体属于等离子体的激发方式之一， 是将微波源产生的微波能量通过波 导， 传输耦合到处理室或处理腔部 分， 利用微波能量激发产生等离子体， 对目标处理物进 行 处理， 得到目标产物， 工业含氟化合物分解运用循环处理过程中会用到微波等离子体进行 能量传递。 [0003]现有微波等离子技术做 氟化合物气体分， 分解产物中的氟离子会对使用石英或玻 璃材质的处理腔腔壁产生腐蚀， 且在使用时处理物的量值比较小， 也远远不能满足工业运 用的需求， 在 进行尾气 循环处理时， 不能将 尾气中未处理完的目标气 体进行循环处理， 排放 污染物对环境造成污染， 增加生产成本， 影响使用， 因此， 本实用新型提供一种工业含氟化 合物分解 运用循环处 理设备。 发明内容 [0004]本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷， 本实用新型提出了一 种工业含氟化合物分解运用循环处理设备， 本实用新型可以将尾气中未处理完的目标气 体 进行循环处理， 直到完全处理完成， 对于尾气中的有毒有害气 体进行化学无害化吸收， 使系 统具有良好的环境友好性， 满足环保要求， 对循环尾气的再利用， 可以极大节约企业处理氟 化物的成本 。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型采用的技术方案是： 一种工业含氟化合物分解 运用循环处理设备， 包括： 等离子分解设备与尾气循环系统， 尾气循环系统包括吸收池、 气 体干燥装置以及缓冲储气罐， 所述等离子分解设备与用于处理尾气的吸收池相连， 吸收池 与气体干燥装置相连， 用于去除水分， 气体干燥装置与缓冲储气罐相连， 用于 收集气体， 气 体干燥装置与用于气体分解的等离子分解设备相连， 所述等离子分解设备包括电控柜、 用 于产生等离子体的微波系统以及气体压力控制系统， 所述微波系统与真空系统相连， 用于 处理物反应处理， 真空系统与用于提供水冷的冷却系统相连， 所述冷却系统与气体压力控 制系统相连， 用于多路气体流量控制， 所述等离子分解设备与尾气循环系统均与电控柜相 连。 [0006]进一步地， 所述等离子设备与吸收池、 吸收池与气体干燥装置之间设置有用于气 体增压的增压设备， 增压设备为鼓风机或增压器。 [0007]进一步地， 所述微波系统包括微波头、 微波电源、 铁氧体循环器以及三销钉， 所述 真空系统上安装有铁氧体循环器， 铁氧体循环器上安装有三销钉， 铁氧体循环器与微波头 相连， 微波头电性连接有微波电源， 由微波电源给微波头提供高压， 产生微波， 微波经铁氧 体循环器， 三销钉， 传输波导， 在真空系统中的处 理腔内产生 等离子体。说　明　书 1/4 页 3 CN 216419352 U 3