(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122619578.3 (22)申请日 2021.10.2 9 (73)专利权人 上海华力集成电路制造有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 刘向南　朱琪　 (74)专利代理 机构 上海浦一知识产权代理有限 公司 3121 1 专利代理师 戴广志 (51)Int.Cl. A47B 81/00(2006.01) A47B 96/02(2006.01) A47B 97/00(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种光罩储存柜 (57)摘要 本实用新型公开了一种光罩储存柜， 包括柜 体， 所述柜体包括存放台， 所述存放台形成有凹 槽， 光罩传送盒存放于所述存放台时， 所述光罩 传送盒的四个角置于所述凹槽处； 所述凹槽内安 装有干燥气体吹出装置。 本实用新型通过在光罩 储存柜的存放台设置凹槽， 并在凹槽内安装干燥 气体吹出装置， 实现了对光罩传送盒存放时的实 时清洁， 尤其是对光罩传送盒的四个容易产生颗 粒的角， 避免了颗粒可能 随光罩传 送盒被带到主 机台的搭载台上， 进而对光罩产生污染， 从而避 免了因此而可能产生的损失， 本实用新型结构简 单， 改成成本低， 便于在集成电路工厂内广泛使 用。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216702024 U 2022.06.10 CN 216702024 U 1.一种光罩储存柜， 包括柜体， 其特征在于， 所述柜体包括存放台， 所述存放台形成有 凹槽， 光罩传送盒存放于所述存放台时， 所述光罩传送盒的四个角置于所述凹槽处； 所述凹 槽内安装有干燥气体吹出装置 。 2.如权利要求1所述的光罩储存柜， 其特征在于， 所述干燥气体吹出装置包括喷嘴、 输 气管路， 所述喷 嘴连接于所述输气管路。 3.如权利要求2所述的光罩储存柜， 其特征值， 所述输气管路安装有流量控制阀以控制 气体流量。 4.如权利要求3所述的光罩储存柜， 其特征在于， 所述输气管路与厂务端供气系统连 接， 所述厂务端供气系统提供的气体的气压大于所述柜体内的气压 。 5.如权利要求1所述的光罩储存柜， 其特征在于， 所述凹槽形成为沿所述存放台长度方 向的长条状。 6.如权利要求1所述的光罩储存柜， 其特征在于， 所述凹槽形成为沿所述存放台宽度方 向的长条状。 7.如权利要求1所述的光 罩储存柜， 其特 征在于， 所述凹槽形成为 栅格状。 8.如权利要求1所述的光罩储存柜， 其特征在于， 所述柜体内所述存放台的数量为12 个。 9.如权利要求1所述的光 罩储存柜， 其特 征在于， 所述柜体的柜门为透明材质。 10.如权利要求1所述的光 罩储存柜， 其特 征在于， 所述柜体内温度设置为23 ±0.2℃。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216702024 U 2一种光罩储 存柜 技术领域 [0001]本实用新型 涉及集成电路制造领域， 特别涉及一种光 罩储存柜。 背景技术 [0002]光罩又被称为光掩膜版、 掩膜版， 一般是由是由石英玻璃作为衬底， 在其表面镀一 层金属铬和感光胶， 把已设计好的电路图通过电子激光设备 曝光在感光胶上， 被曝光的区 域会被显影出来， 在金属铬上形成电路图形， 成为类似曝光后的底片的光掩膜版， 然后应用 于对集成电路进行 投影定位， 通过集成电路光刻机对所投影的电路进 行光刻蚀。 因此， 若光 罩的电路图形被颗粒遮挡或被损坏， 将会严重影响后续制程， 造成较大损失。 [0003]目前， 为了避免光罩受外部环境影响， 无论光罩存放于光罩储存柜还是光罩在主 机台之间的传送， 都需要将光罩存放于光罩传送盒内， 再进 行存放或传送。 光罩传送盒作为 光罩的载体， 需要与光罩储存柜的存放台 以及主机台的搭载台经常性的接触， 而长期经常 性的接触容易导致光罩传送盒被磨损产生颗粒， 尤其是在光罩传送盒的四个角的位置处， 磨损最为严重， 也最容易产生颗粒， 而现有技术中的光罩储存柜的存放台为面状结构， 产生 的颗粒不容易被清除； 而产生的颗粒如果落在主机台的搭载台上时， 就容易对光罩产生污 染， 光罩被污染后， 若不及时发现， 将会严重影响产品质量， 甚至生产的产品不达标， 造成巨 大的产品损失， 另外， 被颗粒污染的光罩必须送 回光罩厂进行清洗， 光罩清洗期间， 工厂无 法进行生产， 又会造成严重的产能损失。 因此， 如何减少光罩传送盒产生的颗粒产生的影 响， 是本领域需要解决的技 术问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型要解决的技术问题是提供一种光罩储存柜， 能实现对存放于其内的光 罩传送盒的实时清洁， 避免了颗粒可能随光罩传送盒被带到主机台的搭载台上， 进而对光 罩产生污染， 从而 避免了因此而可能产生的损失。 [0005]为解决上述技术问题， 本实用新型提供的光罩储存柜， 包括柜体， 所述柜体包括存 放台， 所述存放台形成有凹槽， 光罩传送盒存放于所述存放台时， 所述光罩传送盒的四个角 置于所述凹槽处； 所述凹槽内安装有干燥气体吹出装置 。 [0006]在一种具体的实施方式中， 所述干燥气体吹出装置包括喷嘴、 输气管路， 所述喷嘴 连接于所述输气管路。 [0007]在一种具体的实施方式 中， 所述输气管路安装有流 量控制阀以控制气体流 量。 [0008]在一种具体的实施方式中， 所述输气管路与厂务端供气系统连接， 所述厂务端供 气系统提供的气体的气压大于所述柜体内的气压 。 [0009]在一种具体的实施方式 中， 所述凹槽形成为沿所述存放台长度方向的长条状。 [0010]在一种具体的实施方式 中， 所述凹槽形成为沿所述存放台宽度方向的长条状。 [0011]在一种具体的实施方式 中， 所述凹槽形成为 栅格状。 [0012]在一种具体的实施方式 中， 所述柜体内所述存放台的数量 为12个。说　明　书 1/3 页 3 CN 216702024 U 3