(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122803358.6 (22)申请日 2021.11.16 (73)专利权人 徐州纳烯新材 料研究院有限公司 地址 221010 江苏省徐州市 云龙区解 放路 246号文峰大厦1号楼1- 604-3 (72)发明人 朱磊　宋健　曲婕　赖超　 (74)专利代理 机构 西安杜诺匠心 专利代理事务 所(普通合伙) 61272 代理人 苏雪雪 (51)Int.Cl. B05C 11/10(2006.01) B05C 11/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种刮板 涂布设备 (57)摘要 一种刮板涂布设备， 包括撑框架， 以及设置 在支撑框架内的加热台、 涂布基板、 上、 下滑板、 导柱、 调距仪和刮板， 支撑框架由上下相对设置 的上固定板、 下固定板、 固定立柱构成； 加热台通 过滑动件可水平往复滑动的设置在下固定板上， 涂布基板铺设在加热台的台面上， 导柱竖向朝下 连接在上固定板并与固定立柱平行； 上滑板活动 连接于固定立柱并可沿其上下往复运动， 上滑板 和下滑板 上下相对设置， 调距仪连接上滑板和下 滑板之间以用于调节上滑板和下滑板之间的相 对距离； 刮板于涂布基板的上方连接在下滑板的 下端， 涂布基板与刮板之间预留有间隙， 间隙的 尺寸可通过调节调距仪而改变。 本实用新型制备 的薄膜均匀性好， 且整体结构简单， 占地面积小， 使用方便 。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216296960 U 2022.04.15 CN 216296960 U 1.一种刮板涂布设备， 其特征在于， 包括支撑框架， 以及设置在支撑框架内的加热台、 涂布基板、 上滑板、 下滑板、 导柱、 调距仪和刮板， 其中： 所述支撑框架 由上下相对设置的上固定板、 下固定板， 以及连接在所述上固定板和所 述下固定 板之间的固定立柱构成； 所述加热台通过滑动件可水平往 复滑动的设置在所述下固定板上， 所述涂布基板铺设 在所述加热台的台面上， 所述 导柱竖向朝下 连接在所述上固定 板并与所述固定立柱 平行； 所述上滑板活动连接于所述固定立柱并可沿其上下往 复运动， 所述下滑板活动连接于 所述导柱并可沿其上下往复运动， 所述上滑板和所述下滑板上下相对设置， 所述调距仪连 接所述上滑板和所述下滑板之间以用于调节所述上滑板和所述下滑板之间的相对距离； 所述刮板于所述涂布基板的上方连接在所述下滑板的下端， 所述涂布基板与 所述刮板 之间预留有间隙， 所述间隙的尺寸可通过调节所述调距仪而改变。 2.根据权利要求1所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述固定立柱和所述导柱各设有 至少两根且分 设于所述刮板的左右两侧。 3.根据权利要求2所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述固定立柱上套设有位于所述 上滑板上方的上弹簧， 所述上弹簧用于对所述上滑板提供向下的支撑弹力， 所述导柱上套 设有位于所述下滑板下 方的下弹簧， 所述下弹簧用于对所述下滑板提供向上的支撑弹力。 4.根据权利要求1所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述调距仪为两个， 两个所述调 距仪沿所述刮板 长度方向左右设置 。 5.根据权利要求1所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述滑动件为运动导轨， 所述运 动导轨具有相互配合的固定部 分和运动部 分， 所述运动导轨的固定部 分固定安装在所述下 固定板上， 所述运动部分与所述加热台的底面固定连接， 以使得所述加热台通过所述运动 导轨在所述下固定 板上可水平往复滑动。 6.根据权利要求5所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述设备还包括一驱动装置， 所 述驱动装置与所述 运动导轨的运动部分连接以提供 所述加热台作水平往复滑动的驱动力。 7.根据权利要求1至6任一项所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述导柱的下端与所 述涂布基板抵触， 且当所述涂布基板随所述加热台水平往复运动时， 所述导柱的下端可在 所述涂布基板表面滑动。 8.根据权利要求7所述的刮板涂布设备， 其特征在于， 所述导柱的下端连接有定位球， 所述导柱通过 所述定位球实现与所述涂布基板的表面滑动接触。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216296960 U 2一种刮板涂布设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及薄膜制造技 术领域， 具体涉及一种刮板 涂布设备。 背景技术 [0002]随着科技的飞速进步， 薄膜制造技术在产品和设备开发中起着越来越重要的作 用。 刮板涂布是一种常用的薄膜制备技术手段， 具有设备简单、 操作容易和成本低廉等优 点， 但刮板涂布制备的薄膜存在均匀性较差、 微纳尺寸级别薄膜制备困难等问题。 这主要 是 由于刮板涂布头与涂布基板的间隙难以精确控制造成的。 然而， 到目前为止， 还没有 出现能 有效解决刮板涂布头与涂布基板的间隙控制的技术方法， 这大大制约了刮板涂布在精密薄 膜、 微纳尺寸薄膜制备中的应用。 实用新型内容 [0003]基于此， 本实用新型提供了一种刮板涂布设备， 以解决现有刮板涂布技术中， 刮板 涂布头与涂布基板的间隙难以精确控， 导 致微纳尺寸级别薄膜制备困难的问题。 [0004]为实现上述目的， 本 实用新型提供了一种刮板涂布设备， 其包括支撑框架， 以及设 置在支撑 框架内的加热台、 涂布基板、 上滑板、 下滑板、 导柱、 调距仪和刮板， 其中： [0005]所述支撑框架由上下相对设置 的上固定板、 下固定板， 以及连接在所述上固定板 和所述下固定 板之间的固定立柱构成； [0006]所述加热台通过滑动件可水平往复滑动的设置在所述下固定板上， 所述涂布基板 铺设在所述加热台的台面上， 所述导柱竖向朝下连接在所述上固定板并与所述固定立柱平 行； [0007]所述上滑板 活动连接于所述固定立柱并可沿其上下往复运动， 所述下滑板活动连 接于所述导柱并可沿其上下往复运动， 所述上滑板和所述下滑板上下相对设置， 所述调距 仪连接所述上滑板和所述下滑板之间以用于调节所述上滑板和所述下滑板之间的相对距 离； [0008]所述刮板于所述涂布基板的上方连接在所述下滑板的下端， 所述涂布基板与所述 刮板之间预留有间隙， 所述间隙的尺寸可通过调节所述调距仪而改变。 [0009]作为本实用新型的进一步优选技术方案， 所述固定立柱和所述导柱各设有至少两 根且分设于所述刮板的左右两侧。 [0010]作为本实用新型的进一步优选技术方案， 所述固定立柱上套设有位于所述上滑板 上方的上弹簧， 所述上弹簧用于对所述上滑板提供向下 的支撑弹力， 所述导柱上套设有位 于所述下滑板下 方的下弹簧， 所述下弹簧用于对所述下滑板提供向上的支撑弹力。 [0011]作为本实用新型的进一步优选技术方案， 所述调距仪为两个， 两个所述调距仪沿 所述刮板 长度方向左右设置 。 [0012]作为本实用新型的进一步优选技术方案， 所述滑动件为运动导轨， 所述运动导轨 具有相互配合的固定部 分和运动部 分， 所述运动导轨的固定部 分固定安装在所述下固定板说　明　书 1/3 页 3 CN 216296960 U 3