(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122791068.4 (22)申请日 2021.11.15 (73)专利权人 济南科盛电子有限公司 地址 250200 山东省济南市章 丘市明水 经 济开发区明埠路中段西面 (72)发明人 王永超　李充　郭城　吕明　 (74)专利代理 机构 山东瑞宸知识产权代理有限 公司 37268 代理人 杜超 (51)Int.Cl. B05C 5/02(2006.01) B05C 11/04(2006.01) B05C 11/10(2006.01) B05C 13/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种匀胶机 涂旋装置 (57)摘要 本实用新型属于匀胶设备技术领域， 尤其是 一种匀胶机涂旋装置， 针对现有的不便于对胶液 进行均匀涂抹， 导致厚度不一， 并且不便于对不 同的基片进行位置固定的问题， 现提出如下方 案， 其包括箱体， 所述箱体的内部固定连接有底 座， 所述底座的顶部开设有环形槽， 环形槽的内 壁滑动连接有环形块， 所述环形块的顶部固定连 接有转盘， 所述转盘的底部均匀滑动连接有滚 珠， 滚珠的外壁与底座的外壁滑动连接， 所述转 盘的外壁开 设有四个螺纹孔， 本实用新型通过移 动板与挡板向下移动带动阻拦板向左移动， 阻拦 板将落料孔遮住， 防止剩余胶水滴落到基片上， 刮板移动到一定距离与基片相接触， 使胶水均匀 涂抹在基片上。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216419984 U 2022.05.03 CN 216419984 U 1.一种匀胶机涂旋装置， 包括箱体 （1） ， 其特征在于， 所述箱体 （1） 的内部固定连接有底 座 （2） ， 所述底座 （2） 的顶部开设有环形槽， 环形槽的内壁滑动连接有环形块 （3） ， 所述环形 块 （3） 的顶部固定连接有转盘 （4） ， 所述转盘 （4） 的底部均匀滑动连接有滚珠， 滚珠的外壁与 底座 （2） 的外壁滑动连接， 所述转盘 （4） 的外壁开设有 四个螺纹孔， 四个螺纹孔的内壁均螺 纹连接有螺栓 （6） ， 所述螺栓 （6） 的外壁固定套设有轴承 （7） ， 所述轴承 （7） 的外圈固定连接 有L型杆 （8） ， 所述L型杆 （8） 的外壁固定连接有T型胶块 （9） ， 所述转盘 （4） 的顶部开设有四个 T型槽， 四个T 型槽的内壁分别与四个T型胶块 （9） 的外壁滑动连接， 四个螺栓 （6） 的一端两两 一组分别转动连接有弧形块 （10） 与矩形块 （21） ， 所述箱 体 （1） 的内壁滑动连接有挡板 （14） ， 所述箱体 （1） 的外壁开设有条形槽， 条形槽的内壁与挡板 （14） 的外壁滑动连接， 所述箱体 （1） 的内部设有移动机构。 2.根据权利要求1所述的一种匀胶机涂旋装置， 其特征在于， 所述移动机构包括刮板 （16） ， 所述挡板 （14） 的两端均固定连接有移动板 （13） ， 所述箱体 （1） 的外壁两侧均固定连接 有支撑板 （15） ， 所述挡板 （14） 的底部与刮板 （16） 的外壁固定连接， 所述刮板 （16） 与挡板 （14） 的外壁均开设有同一个滴胶孔， 所述挡板 （14） 的外壁开设有矩形槽， 矩形槽的内壁滑 动连接有阻拦板 （17） ， 所述阻拦板 （17） 的外壁转动 连接有连接杆 （18） ， 所述挡板 （14） 的外 壁开设有空槽， 空槽的内壁与连接杆 （18） 的外壁滑动连， 所述连接杆 （18） 的一端转动连接 转动杆 （19） ， 所述 转动杆 （19） 的一端与箱体 （1） 的内壁 转动连接 。 3.根据权利要求1所述的一种匀胶机涂旋装置， 其特征在于， 所述转盘 （4） 的顶部开设 有放置槽， 所述转盘 （4） 的底部开设有圆槽， 圆槽的内部固定连接有吸盘 （5） 。 4.根据权利要求3所述的一种匀胶机涂旋装置， 其特征在于， 所述箱体 （1） 的内部固定 连接有电机 （1 1） ， 所述吸盘 （5） 位于放置 槽的内部 。 5.根据权利要求4所述的一种匀胶机涂旋装置， 其特征在于， 所述底座 （2） 的底部开设 有圆孔， 圆孔的内壁与电机 （1 1） 输出轴的外壁 转动连接 。 6.根据权利要求5所述的一种匀胶机涂旋装置， 其特征在于， 所述电机 （11） 输出轴的顶 部与转盘 （4） 的底部固定连接， 所述箱体 （1） 的内部固定连接有滴胶机 （12） 。 7.根据权利要求2所述的一种匀胶机涂旋装置， 其特征在于， 所述移动板 （13） 的外壁开 设有螺丝孔， 螺丝孔的内壁螺纹连接有紧 固螺丝 （20） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216419984 U 2一种匀胶机涂旋装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及匀胶设备技 术领域， 尤其涉及一种匀胶机 涂旋装置。 背景技术 [0002]匀胶机是在高速旋转的基片上， 滴注各类胶液， 利用离心力使滴在基片上的胶液 均匀地涂覆在基片上 的设备， 膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度， 该设备主要用 于晶片涂光刻 胶， 有自动、 手动和半自动三种工作方式。 [0003]在现有技术中， 不便于对胶液进行均匀涂抹， 导致厚度不一， 并且不便于对不同的 基片进行位置固定， 因此我们提出一种匀胶机 涂旋装置， 用于解决上述问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决不便于对胶液进行均匀涂抹， 导致厚度不一， 并且 不便于对不同的基片进行位置固定的缺 点， 而提出的一种匀胶机 涂旋装置。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种匀胶机涂旋装置， 包括箱体， 所述箱体的内部固定连接有底座， 所述底座的顶 部开设有环形槽， 环形槽的内壁滑动连接有环形块， 所述环形块的顶部固定连接有转盘， 所 述转盘的底部均匀滑动连接有滚珠， 滚珠的外壁与底座的外壁滑动连接， 所述转盘的外壁 开设有四个螺纹孔， 四个螺纹孔的内壁均螺纹连接有螺栓， 所述螺栓的外壁固定套设有轴 承， 所述轴承的外圈固定连接有L型杆， 所述L型杆的外壁固定连接有T型胶块， 所述转盘的 顶部开设有四个T 型槽， 四个T 型槽的内壁分别与四个T 型胶块的外壁滑动连接， 四个螺栓的 一端两两一组分别转动连接有弧形块与矩形块， 所述箱体的内壁滑动连接有挡板， 所述箱 体的外壁开设有条形槽， 条形槽的内壁与挡板的外壁滑动连接， 所述箱体的内部设有移动 机构。 [0007]优选的， 所述移动机构包括刮板， 所述挡板的两端均固定连接有移动板， 所述箱体 的外壁两侧均固定连接有支撑板， 所述挡板的底部与刮板的外壁固定连接， 所述刮板与挡 板的外壁均开设有同一个滴胶孔， 所述挡板的外壁开设有矩形槽， 矩形槽的内壁滑动连接 有阻拦板， 所述阻拦板的外壁转动连接有 连接杆， 所述挡板的外壁开设有空槽， 空槽的内壁 与连接杆的外壁滑动连， 所述连接杆的一端转动连接转动杆， 所述转动杆的一端与箱体的 内壁转动连接， 通过设置阻拦板防止滴胶机上剩余胶水滴 落到基片上。 [0008]优选的， 所述转盘的顶部开设有放置槽， 所述转盘的底部开设有圆槽， 圆槽的内部 固定连接有吸盘， 通过设置吸盘对基片进行初步 位置固定 。 [0009]优选的， 所述箱体的内部固定连接有电机， 所述吸盘位于放置槽的内部， 通过设置 电机使转盘进行转动。 [0010]优选的， 所述底座的底部开设有圆孔， 圆孔的内壁与电机 输出轴的外壁 转动连接 。 [0011]优选的， 所述电机输出轴的顶部与转盘的底部固定连接， 所述箱体的内部固定连 接有滴胶机 。说　明　书 1/3 页 3 CN 216419984 U 3