(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122855339.8 (22)申请日 2021.11.19 (73)专利权人 江西微瑞光学有限公司 地址 334000 江西省上饶市经济技 术开发 区兴业大道19号 (72)发明人 关成刚　陈波　方志鹏　 (74)专利代理 机构 深圳中创智财知识产权代理 有限公司 4 4553 代理人 田宇 (51)Int.Cl. B05C 11/08(2006.01) B05C 11/10(2006.01) B05C 13/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种半自动匀胶机 (57)摘要 本实用新型公开了一种半自动匀胶机， 包括 壳体， 所述壳体内部焊接有隔板， 且隔板底面的 中心处紧固安装有离心电机。 本实用新型中， 通 过控制面板开启离心电机， 促使离心电机输出轴 带动支撑盘传动， 进而嵌入支撑盘的多个圆孔槽 内的硅片离心转动， 使 得涂布于硅片表面的光刻 胶均匀排布， 而部分光刻胶在离心力的作用下脱 离硅片抛出， 直至附着在环状收集斗的延伸环 上， 实现多 余光刻胶的收集， 而 通过按压连接柱， 促使连接柱推动刮板脱离容纳槽， 进而刮板脱离 与磁块的吸附并深入收集斗内， 促使支撑盘转动 过程带动刮板刮动光刻胶， 配合控制面板开启电 热盘对收集斗进行加热， 使得光刻胶由L型排胶 管流入收取盒内， 减少光刻胶的浪费以及对壳体 内壁的污染。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216261730 U 2022.04.12 CN 216261730 U 1.一种半自动匀胶机， 包括 壳体(1)， 其特征在于， 所述 壳体(1)内部焊接有隔板(3)， 且 隔板(3)底 面的中心处紧固安装有离心电机(4)， 所述离心电机(4)的输出轴贯穿隔板(3)固 定连接有支撑盘(10)， 且支撑盘(10)表面的边缘处开设有圆孔槽(16)， 所述支撑盘(10)的 外围设置有收集斗(9)， 且收集斗(9)顶面的边缘处焊接有延伸环(19)， 并且收集斗(9)的外 壁面与壳体(1)内壁焊接， 所述隔板(3)顶面的边缘处嵌设安装有电热盘(7)， 且电热盘(7) 与收集斗(9)的底面贴合， 所述离心电机(4)一侧位于壳体(1)内部活动安放有收取盒(5)， 且收取盒(5)的上方设置有排胶管(20)， 所述排胶管(20)的一端贯穿隔板(3)与收集斗(9) 连通， 所述支撑盘(10)的侧面焊接有侧耳(12)， 且侧耳(12)内穿插 连接有连接柱(14)， 所述 连接柱(14)的底端焊接有刮板(13)， 所述支撑盘(10)底 面的边缘处对应刮板(13)开设有容 纳槽(11)， 且容纳槽(1 1)内侧通过磁块(15)与刮板(13)吸附连接 。 2.根据权利要求1所述的一种半自动匀胶机， 其特征在于， 所述支撑盘(10)顶面的中心 处焊接有挡环(18)， 且挡环(18)的外围环绕开设有多个圆孔槽(16)， 多个所述圆孔槽(16) 内粘接有橡胶环(17)， 且橡胶环(17)内圈环绕设置有 多个凸起。 3.根据权利要求1所述的一种半自动匀胶机， 其特征在于， 所述收集斗(9)为环状结构， 且收集斗(9)的内圈连通有L型 结构的排胶管(20)。 4.根据权利要求1所述的一种半自动匀胶机， 其特征在于， 所述壳体(1)下部表面对应 收取盒(5)开设有开口(6)， 所述收取盒(5)的顶面开设有敞口， 且收取盒(5)的侧面焊接有 圆柱型手柄。 5.根据权利要求1所述的一种半自动匀胶机， 其特征在于， 所述壳体(1)的顶面铰接有 顶盖(8)， 且顶盖(8)的表面嵌设安装有钢化玻璃。 6.根据权利要求1所述的一种半自动匀胶机， 其特征在于， 所述壳体(1)的外壁面设置 有控制面板(2)， 且 控制面板(2)的输出端分别与离心电机(4)和电热盘(7)电性连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216261730 U 2一种半自动匀胶机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体材 料加工技 术领域， 尤其涉及一种半自动匀胶机 。 背景技术 [0002]目前， 在硅片加工中， 需要将光刻胶涂布在硅片上， 以满足硅片曝光的需要， 其中， 光刻胶为从厂家购买的成品负性光刻胶加二甲苯稀释剂进 行调稀而成， 由于硅片表面光刻 胶胶液分布均匀度不高， 需要通过匀胶机进行光刻 胶的均匀涂布。 [0003]现有硅片匀胶机在使用过程中， 由于硅片表面涂布的光刻胶往往较为充足， 在匀 胶机的传动机构带动硅片离心转动过程中， 使得部分光刻胶由硅片的表面的甩出， 进而附 着在匀胶机内壁 面， 存在光刻 胶和浪费以及增 加匀胶机后期清理的负担 。 [0004]我们为此， 提出了一种半自动匀胶机解决上述 弊端。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种半自动匀胶 机。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技术方案： 一种半自动匀胶机， 包括壳 体， 所述壳体内部焊接有隔板， 且隔板底面的中心处紧固安装有离心电机， 所述离心电机的 输出轴贯穿隔板固定连接有支撑盘， 且支撑盘表面的边缘处开设有圆孔槽， 所述支撑盘的 外围设置有收集斗， 且收集斗顶面的边缘处焊接有延伸 环， 并且收集斗的外壁面与壳体内 壁焊接， 所述隔板顶面的边缘处嵌设安装有电热盘， 且电热盘与收集斗的底面贴合， 所述离 心电机一侧 位于壳体内部活动安放有收取盒， 且收取盒的上方设置有排胶管， 所述排胶管 的一端贯穿隔板与收集斗连通， 所述支撑盘的侧 面焊接有侧耳， 且侧耳内穿插连接有连接 柱， 所述连接柱的底端焊接有刮板， 所述支撑盘底面的边缘处对应刮板开设有容纳槽， 且容 纳槽内侧通过磁块与刮板吸附连接 。 [0007]优选的， 所述支撑盘顶面的中心处焊接有挡环， 且挡环的外围环绕开设有多个圆 孔槽， 多个所述圆孔槽内粘接有橡胶环， 且橡胶环内圈环绕设置有 多个凸起。 [0008]优选的， 所述收集斗为环状结构， 且收集斗的内圈连通有L型 结构的排胶管。 [0009]优选的， 所述壳体下部表面对应收取盒开设有开口， 所述收取盒的顶面开设有敞 口， 且收取盒的侧面焊接有圆柱型手柄。 [0010]优选的， 所述壳体的顶面铰接有顶盖， 且顶盖的表面嵌设安装有钢化玻璃。 [0011]优选的， 所述壳体的外壁面设置有控制面板， 且控制面板 的输出端分别与离心电 机和电热盘电性连接 。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是； [0013]1、 本实用新型， 通过控制面板开启离心电机， 促使离心电机输出轴带动支撑盘传 动， 进而嵌入支撑盘的多个圆孔槽内的硅片离心转动， 使得涂布于硅片表面的光刻胶均匀 排布， 而部 分光刻胶在离心力的作用下脱离硅片抛出， 直至附着在环状收集斗的延伸环上，说　明　书 1/3 页 3 CN 216261730 U 3