(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122864652.8 (22)申请日 2021.11.22 (73)专利权人 苏州康沃 斯智能装备有限公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市周市镇 东辉路8号 4号房 (72)发明人 高波　 (51)Int.Cl. B05C 5/02(2006.01) B05C 9/14(2006.01) B05C 11/10(2006.01) B05C 13/02(2006.01) B05D 3/02(2006.01) B65G 43/08(2006.01) B65G 47/90(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种晶圆匀胶烘烤机 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆匀胶烘烤机， 其 包括机架， 机架上表面设置有收供料架、 机械手、 匀胶模组和烘烤台， 收供料架用于放置晶圆， 匀 胶模组包括涂胶机构和匀胶甩干机构， 涂胶机构 用于对晶圆进行涂胶， 匀胶甩干机构用于抹匀晶 圆上的胶， 烘烤台用于对涂完胶的晶圆进行烘 干； 本实用新型通过机械手将晶圆从收供料架内 取出后， 然后放置到匀胶模组进行涂胶并抹匀， 涂完胶后再将晶圆转移到烘烤台上， 最后将烘干 的晶圆放置到收供料架内， 实现了晶圆的自动涂 胶、 匀胶以及烘烤， 提高了设备的自动化程度， 保 证了涂抹的均匀度的同时， 也使表 面的涂胶厚度 达到要求， 再通过烘烤台再进行烘干， 保证了烘 烤质量， 进一 步提升了光刻胶涂覆的均匀性。 权利要求书2页 说明书5页 附图11页 CN 216539284 U 2022.05.17 CN 216539284 U 1.一种晶圆匀胶烘烤机， 其包括机架(1)， 其特 征在于： 所述机架(1)上表面设置有收供料架(2)、 机械手(3)、 匀胶模组(4)和烘烤台(5)， 机械 手(3)设置在机架(1)的中心处， 所述收供料架(2)、 匀胶模组(4)和烘烤台(5)设置在机械手 (3)的外侧， 所述收供料架(2)用于放置晶圆(8)， 所述匀胶模组(4)包括涂胶机构(6)和匀胶 甩干机构(7)， 所述涂胶机构(6)设置在匀胶甩干机构(7)的上方， 所述涂胶机构(6)用于对 晶圆(8)进行涂胶， 所述匀胶甩干机构(7)用于抹匀晶圆(8)上的胶， 所述烘烤台(5)用于对 涂完胶的晶圆(8)进行烘干， 所述机械手(3)将晶圆(8)从收供料架(2)内取出后， 然后放置 到匀胶模组(4)进行涂胶并抹匀， 涂完胶后再将晶圆(8)转移到烘烤台(5)上， 最后将烘干的 晶圆(8)放置 到收供料架(2)内。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述机架(1)的上设置有 防护罩(9)， 所述防护罩(9)的上端设置有空气净化 风机(10)。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述收供料架(2)包括篮 具架(21)、 光纤感应器(25)和两个 篮具(23)， 所述篮具架(21)上开设有两个进料口(22)， 两 个篮具(23)可拆卸固定在篮具架(21)上， 所述篮具(23)上等距离开设有若干个用于放置单 个晶圆(8)的储料格(24)， 所述储料格(24)的开口方向朝向进料口(22)， 所述光纤感应器 (25)固定在篮具架(21)上且位于篮具(23)的下 方， 其用于检测篮具(23)内的 晶圆(8)。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述机械手(3)包括安装 盘(301)、 第一机械臂(302)和第二机械臂(303)， 所述第一机械臂(302)和第二机械臂(303) 上下平行设置， 其安装在安装盘(301)的上方， 所述安装盘(301)的下端安装有旋转升降装 置， 所述第一机械臂(302)和第二机械臂(303)分别和一个驱动机构相连接， 其一端与接料 叉固定连接 。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述驱动机构用于控制第 一机械臂(302)或第二机械臂(303)的伸出或收缩， 其包括第一电机(304)、 第一同步带轮、 第一同步带(305)、 导轨(306)和滑块(307)， 两个第一同步带轮转动安装在安装盘(301)上， 第一同步带(305)套设在两个第一同步带轮上， 一个第一同步带轮与第一电机(304)的电机 轴固定连接， 导轨(306)设置在两个第一同步带轮之间， 滑块(307)的下端滑动安装在导轨 (306)上， 其上端与第一机械臂(302)或第二机械臂(303)固定连接， 其中段固定在单侧的第 一同步带(3 05)上。 6.根据权利要求4或5所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述旋转升降装置用 于控制安装盘(301)的旋转和升降， 其包括转盘(308)， 所述转盘(308)固定在安装盘(301) 的下端， 其通过同步带组件与第二电机(309)相连接， 所述第二电机(309)用于控制转盘 (308)旋转， 所述转盘(308)的下端中心处转动安装有螺杆(310)， 其下方从上到下平行设置 有第一安转板(313)和第二安装板(314)， 所述第一安转板(313)上转动安装有螺纹座 (315)， 所述螺杆(310)安装在螺纹座(315)内且其下端伸出螺纹座(315)， 所述螺纹座(315) 的下端固定安装有一个第二同步带轮， 所述第二同步带轮通过第二同步带(312)与第三电 机(311)相连接 。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述涂胶机构(6)包括第 四电机(61)、 第三机械臂(62)和胶枪(63)， 所述第三机械臂(62)的一端固定在第四电机 (61)上， 其另一端与胶枪(6 3)相连接 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216539284 U 28.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述匀胶甩干机构(7)包 括匀胶台(71)和旋转升降机构(72)， 所述匀胶台(71)设置在旋转升降机构(72)的上方， 其 内还设置有加热台， 所述加热台与旋转升降机构(72)相连接， 所述匀胶台(71)的两侧还设 置有定位机构， 所述定位机构包括第三气缸(73)和固定在第三气缸(73)活塞 杆上的定位夹 (74)， 所述定位夹(74)靠 近匀胶台(71)的一侧开设有圆弧口。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述烘烤台(5)包括安装 架(51)、 抽风罩(52)、 烘烤工位(53)、 顶柱(54)、 上盖(55)和第一气缸(56)， 所述安装架(51) 内设置有若干个烘烤工位(53)， 其上设置有抽风罩(52)， 所述抽风罩(52)的上端放置有上 盖(55)， 所述烘烤工位(53)的下方设置有第一气缸(56)， 所述第一气缸(56)的活塞杆上端 固定安装有若干根顶柱(54)， 所述顶柱(54)能从下到上穿过烘烤工位(53)， 其用于托起晶 圆(8)。 10.根据权利要求7所述的一种晶圆匀胶烘烤机， 其特征在于： 所述涂胶机构(6)还包括 定位盘(64)和第二气缸(66)， 所述定位盘(64)上开设有 弧形的导向槽(65)， 所述胶枪(63) 设置在导向槽(65)内， 第二气缸(66)的活塞 杆上下运动， 其下端固定在定位盘(64)的上端， 所述定位盘(64)上还固定安装有至少一个导向杆(67)， 所述导向杆(67)上下滑动安装在轴 套内， 其上端固定有限位 块(68)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216539284 U 3