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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122879391.7 (22)申请日 2021.11.23 (73)专利权人 锦州神工半导体股份有限公司 地址 121000 辽宁省锦州市太和区中信路 46号甲 (72)发明人 孔铮 季军 杨昱  (74)专利代理 机构 沈阳友和欣知识产权代理事 务所(普通 合伙) 21254 专利代理师 杨群 郭悦 (51)Int.Cl. B62B 3/02(2006.01) B62B 3/04(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种石英件运输车 (57)摘要 本实用新型公开了一种石英件运输车, 涉及 石英件运输设备技术领域, 包括滑道, 所述滑道 的内部滑动连接有升降杆, 所述滑道的一侧外表 面下端设有液压杆的下端, 所述液压杆的上端与 所述升降杆的一侧外表面上端固定连接, 所述升 降杆的另一侧外表面设有运输框架, 所述运输框 架远离所述升降杆的一侧外表 面设有运输杆, 所 述滑道的下端设有底梁, 解决拆卸后取出困难的 问题, 避免对石英管及石英舟造成的崩边破碎, 清洗时直接搬运到清洗机, 省时省力, 规避易碎 崩边的风险。 清洗结束后, 将石英件放置在承托 盘上把酸排掉, 洗净、 然后排除其中水, 保证工作 人员操作的安全性。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216443632 U 2022.05.06 CN 216443632 U 1.一种石英件运输车, 其特征在于: 包括滑道(1), 所述滑道(1)的内部滑动连接有升降 杆(2), 所述滑道(1)的一侧外表面下端设有液压杆(3)的下端, 所述液压杆(3)的上端与所 述升降杆(2)的一侧外表面上端固定连接, 所述升降杆(2)的另一侧外表面设有运输框架 (4), 所述运输框架(4)远离所述升降杆(2)的一侧外表 面设有运输杆(5), 所述滑道(1)的下 端设有底梁(6)。 2.根据权利要求1所述的一种石英件运输车, 其特征在于: 所述滑道(1)的外表面与所 述液压杆(3)对应的位置设有 连接板(7), 所述液压杆(3)的下端通过螺栓与所述连接板(7) 连接, 所述升降杆(2)的外表面与所述液压杆(3)对应的位置设有承托板(8), 所述液压杆 (3)的上端通过螺 栓与所述承托板(8)连接 。 3.根据权利要求1所述的一种石英件运输车, 其特征在于: 所述运输框架(4)的上端与 所述运输杆(5)对应的位置 设有转轴杆(9), 所述运输杆(5)通过所述转轴杆(9)与所述运输 框架(4)滑动连接, 所述运输杆(5)的下端抵在所述运输框架(4)上, 所述运输杆(5)之间卡 接有承托盘(10)。 4.根据权利要求1所述的一种石英件运输车, 其特征在于: 所述升降杆(2)的内部下端 设有承重板(11), 所述运输框架(4)的下端通过焊接与所述承重板(11)固定连接, 所述运输 框架(4)的上端外侧表面 通过焊接与所述升降杆(2)的内表面固定连接 。 5.根据权利要求1所述的一种石英件运输车, 其特征在于: 所述滑道(1)的一侧外表面 上端之间连接有固定 框架(12), 所述液压杆(3)的上端伸入到所述固定 框架(12)的内部 。 6.根据权利要求1所述的一种石英件运输车, 其特征在于: 所述底梁(6)的下端通过轴 承转动连接有滑轮(13)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216443632 U 2一种石英件运输 车 技术领域 [0001]本实用新型 涉及石英件运输设备技 术领域, 具体涉及一种石英件运输车。 背景技术 [0002]在退火过程中, 当退火炉的石英件(例如石英管、 石英舟)进行PM或者由于其他原 因造成金属污染需要清洗时, 由于石英件偏重且易碎外加拆卸空间小, 清洗及运输时存在 难点。 拆卸后取出困难, 由于退火设备 空间小, 石英舟及 石英管体积大、 质量偏大且易碎, 造 成拆卸后取出难度提升, 稍有不慎还会造成石英管及石英舟崩边破碎。 清洗运输时困难, 石 英管及石英舟体积大, 清洗时不好直接搬运到清洗机, 耗时、 耗力有易碎、 崩边风险。 清洗后 干燥困难, 清洗结束后, 石英管内部会残留一部分水和酸, 正常操作无法排出、 且有残余酸 容易造成危险, 因此需要放在小车 上优先把 酸排掉, 洗净、 然后排除其中的水。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种石英件运输车, 以解决上述背景技术中提出的拆 卸后取出困难, 由于退火设备空间小, 石英舟及石英管体积大、 质量偏大且易碎, 造成拆卸 后取出难度提升, 稍有不慎还会造成石英管及石英舟崩边破碎。 清洗运输时困难, 石英管及 石英舟体积大, 清洗时不好直接搬运到清洗机, 耗时、 耗力有易碎、 崩边风险。 清洗后干燥困 难, 清洗结束后, 石英管内部会残留一部分水和酸, 正常操作无法排出、 且有残余酸容易造 成危险, 因此需要放在小车 上优先把 酸排掉, 洗净、 然后排除其中水的问题。 [0004]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种石英件运输车, 包括滑道, 所述滑道的内部滑动连接有升降杆, 所述滑道的一侧外表面下端设有液压杆 的下端, 所述 液压杆的上端与所述升降杆的一侧外表面上端固定连接, 所述升降杆的另一侧外表面设有 运输框架, 所述运输框架远离所述升降杆的一侧外表面设有运输杆, 所述滑道的下端设有 底梁。 [0005]优选的, 所述滑道的外表面与所述液压杆对应的位置设有连接板, 所述液压杆的 下端通过螺栓与所述连接板连接, 所述升降杆的外表面与所述液压杆对应的位置设有承托 板, 所述液压杆的上端通过螺 栓与所述承托板连接 。 [0006]优选的, 所述运输框架的上端与所述运输杆对应 的位置设有转轴杆, 所述运输杆 通过所述转轴杆与所述运输框架滑动连接, 所述运输杆的下端抵在所述运输框架上, 所述 运输杆之间卡接有承托盘。 [0007]优选的, 所述升降杆的内部下端设有承重板, 所述运输框架的下端通过焊接与所 述承重板固定连接, 所述运输框架的上端外侧表 面通过焊接与所述升降杆的内表面固定连 接。 [0008]优选的, 所述滑道的一侧外表面上端之间连接有固定框架, 所述液压杆的上端伸 入到所述固定 框架的内部 。 [0009]优选的, 所述底梁的下端通过轴承转动连接有滑轮。说 明 书 1/3 页 3 CN 216443632 U 3

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