(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222112258.3 (22)申请日 2022.08.11 (73)专利权人 华南理工大 学 地址 510641 广东省广州市天河区五山路 381号 (72)发明人 袁义宏　罗雅琼　 (74)专利代理 机构 合肥汇融专利代理有限公司 34141 专利代理师 杨家坤 (51)Int.Cl. H01L 21/677(2006.01) H01L 21/687(2006.01) B01D 46/10(2006.01) B01D 46/76(2022.01) B03C 3/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种一体化陶瓷机 械手臂 (57)摘要 本实用新型涉及陶瓷机械手臂技术领域， 尤 其涉及一种一体化陶瓷机械手臂， 包括固定臂， 所述固定臂的一侧开设有用于夹持硅片晶圆的 夹持槽， 所述夹持槽的内壁对称固定连接有用于 保护硅片晶圆的弧形缓冲垫， 所述夹持槽的内壁 中心开设有气孔， 所述气孔的外侧固定连接有固 定环， 所述固定环的中心固定连接有过滤网， 所 述固定环的底部设有用于清理灰尘的灰尘堆积 清除机构。 本实用新型通过真空吸附过程中气流 经过气孔与收集孔的吸附力带动灰尘堆积清除 机构和敲击除尘机构的同步开启， 通过真空吸附 的吸力带动敲击除尘机构 对固定环的振动敲击， 解决了真空吸附吸附中滤网堵塞的问题， 保证了 真空吸附的吸附力度， 显著提高了机械臂的夹持 稳定性。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217444355 U 2022.09.16 CN 217444355 U 1.一种一体化陶瓷机械手臂， 包括固定臂 （1） ， 其特征在于： 所述 固定臂 （1） 的一侧开设 有用于夹持硅片晶圆的夹持槽 （2） ， 所述夹持槽 （2） 的内壁对称固定连接有用于 保护硅片晶 圆的弧形缓冲垫 （3） ， 所述夹持槽 （2） 的内壁中心开设有气孔 （21） ， 所述气孔 （21） 的外侧固 定连接有固定环 （4） ， 所述固定环 （4） 的中心固定连接有过滤网 （5） ， 所述固定环 （4） 的底部 设有用于清理灰尘的灰尘堆积清除机构， 所述固定环 （4） 的内部设有用于对粘附灰尘振动 敲击的敲击除尘机构； 所述灰尘堆积清除机构包括对称开设在夹持槽 （2） 内壁的收集孔 （6） ， 所述收集孔 （6） 与气孔 （21） 位于固定臂 （1） 的内部末端均与真空吸附的吸气管相互连通， 所述收集孔 （6） 位 于固定环 （4） 的底部， 所述固定环 （4） 的中心开设有用于引流 堆积灰尘的限位槽 （41） 。 2.根据权利要求1所述的一种一体化陶瓷机械手臂， 其特征在于： 所述敲击除尘机构包 括对称开设在固定环 （4） 侧壁的两个活动槽 （42） ， 所述活动槽 （42） 的侧壁均转动连接有转 轴 （43） ， 所述转轴 （43） 的外侧均固定安装有限位杆 （44） ， 所述转轴 （43） 的内侧均固定安装 有用于敲击限位槽 （41） 背部内壁的敲击杆 （45） 。 3.根据权利要求1所述的一种一体化陶瓷机械手臂， 其特征在于： 所述弧形缓冲垫 （3） 靠近收集孔 （6） 一侧的顶壁开设有下料槽 （7） ， 所述下料槽 （7） 的内部固定连接有用于静电 吸附灰尘的电极板 （8） 。 4.根据权利要求3所述的一种一体化陶瓷机械手臂， 其特征在于： 所述下料槽 （7） 的内 底壁设置为加速灰尘滑落的倾 斜斜面。 5.根据权利要求1所述的一种一体化陶瓷机械手臂， 其特征在于： 所述限位槽 （41） 设置 为内陷式锥面。 6.根据权利要求2所述的一种一体化陶瓷机械手臂， 其特征在于： 所述活动槽 （42） 对称 设置在收集 孔 （6） 的两侧， 所述限位杆 （4 4） 可沿转轴 （43） 灵活转动。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217444355 U 2一种一体 化陶瓷机械手臂 技术领域 [0001]本实用新型 涉及陶瓷机 械手臂技 术领域， 尤其涉及一种一体化陶瓷机 械手臂。 背景技术 [0002]在集成电路、 芯片等半导体制造行业中， 大量使用机械手臂运送硅片晶圆， 通过机 械手臂配合真空吸 附对硅片晶圆实现稳定夹持， 接着对晶圆实现运送， 现有的陶瓷机械手 臂在夹持过程中由于真空吸附通过滤网将固定环 通气槽一侧的异物隔绝， 长期 工作滤网表 面堆积大量灰尘， 易使滤网发生堵塞， 降低了吸附力度， 影响了加工效果。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的是为了解决现有技术中吸附力度低的缺点， 而提出的一种一体 化陶瓷机 械手臂。 [0004]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0005]一种一体化陶瓷机械手臂， 包括固定臂， 所述固定臂的一侧开设有用于夹持硅片 晶圆的夹持槽， 所述夹持槽的内壁对称 固定连接有用于保护硅片晶圆的弧形缓冲垫， 所述 夹持槽的内壁中心开设有气孔， 所述气孔的外侧固定连接有固定环， 所述固定环的中心固 定连接有过滤网， 所述固定环的底部设有用于清理灰尘的灰尘堆积清除机构， 所述固定环 的内部设有用于对 粘附灰尘振动敲击的敲击除尘机构； [0006]所述灰尘堆积清除机构包括对称开设在夹持槽内壁的收集孔， 所述收集孔与气孔 位于固定臂的内部末端均与真空吸 附的吸气管相互连通， 所述收集孔位于固定环的底部， 所述固定环的中心开设有用于引流 堆积灰尘的限位槽 。 [0007]所述敲击除尘机构包括对称开设在固定环侧壁的两个 活动槽， 所述活动槽的侧壁 均转动连接有转轴， 所述转轴的外侧均固定安装有限位杆， 所述转轴的内侧均固定安装有 用于敲击限位槽背部内壁的敲击杆。 [0008]优选的， 所述弧形缓冲垫靠近收集孔一侧的顶壁开设有下料槽， 所述下料槽 的内 部固定连接有用于静电吸附灰尘的电极板 。 [0009]优选的， 所述下 料槽的内底壁设置为加速灰尘滑落的倾 斜斜面。 [0010]优选的， 所述限位槽设置为内 陷式锥面。 [0011]优选的， 所述活动槽对称设置在收集 孔的两侧， 所述限位杆 可沿转轴灵活转动。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0013]1、 本实用新型通过灰尘堆积清除机构对滤 网堆积灰尘的及时清理， 同时通过固定 环、 限位槽、 下料槽、 电极板之 间的配合设置利用静电吸附原理实现对滤网表 面堆积灰尘的 有效吸附， 达到了将堆积灰尘自动收集的效果， 减少了因灰尘堆积导致的滤网堵塞的问题， 保证了真空吸附的吸附效果。 [0014]2、 本实用新型通过敲击除尘机构实现对堆积灰尘的敲击收集， 同时通过收集孔、 活动槽、 转轴限位杆、 敲击杆之 间的配合设置使得敲击杆往复敲击限位槽内壁， 达到了对固说　明　书 1/3 页 3 CN 217444355 U 3