(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222644771.7 (22)申请日 2022.10.09 (73)专利权人 常熟制药机 械厂有限公司 地址 215500 江苏省苏州市 常熟市四新路 15号1幢 (72)发明人 郑江　薛亮　 (74)专利代理 机构 苏州市小巨人知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32415 专利代理师 凌立 (51)Int.Cl. B23K 37/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于安装MO源钢瓶气管的焊接保护装 置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于安装MO源钢瓶 气管的焊接保护装置， 包括保护气腔筒体， 所述 保护气腔筒体位于MO源钢瓶盖的下方， 且通过承 接环与所述MO源钢瓶盖安装连接， MO源钢瓶的气 管下端部贯穿所述MO源钢瓶盖与所述保护气腔 筒体的内部连通， 当气管上端部与所述MO源钢瓶 盖焊接时， 所述保护气腔筒体与所述MO源钢瓶盖 之间形成正压保护气腔;本实用新型保证了MO源 钢瓶气管的焊接质量， 有效控制了MO源钢瓶气管 的焊接缺陷。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218135901 U 2022.12.27 CN 218135901 U 1.一种用于安装MO源钢瓶气管的焊接保护装置， 其特征在于， 包括保护气腔筒体， 所述 保护气腔筒体位于MO源钢 瓶盖的下方， 且通过承接环与所述MO源钢瓶盖安装连接， MO源钢 瓶的气管下端部贯穿所述M O源钢瓶盖与所述保护气腔筒体的内部连通， 当气管上端部与所 述MO源钢瓶盖焊接时， 所述保护气腔筒体与所述MO源钢瓶盖之间形成正压保护气腔。 2.根据权利要求1所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述MO源钢瓶的气管包括进气管 和出气管， 其中， 所述进气管的下端部贯穿所述MO源钢瓶盖后延伸至所述保护气腔筒体的内部， 同时所 述进气管的上端部与所述MO源钢瓶盖焊接密封连接； 所述出气管的下端部贯穿所述MO源钢瓶盖后与所述保护气腔筒体的内部连通， 同时所 述出气管的上端部与所述MO源钢瓶盖焊接密封连接 。 3.根据权利要求1所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述MO源钢瓶的气管的壁厚不大 于0.8mm。 4.根据权利要求1或3所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述MO源钢瓶的气管的外径 范围为3‑5mm。 5.根据权利要求1或3所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述MO源钢瓶盖的厚度为6 ‑ 10mm。 6.根据权利要求1所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述承接环包括位于上端部的凹 槽以及位于底部的环状承接面， 其中， 所述环状承接面与所述保护气腔筒体的上端面密封 接触配合， 同时所述MO源钢瓶盖位于所述凹槽的内周。 7.根据权利要求6所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述环状承接面的中心与所述保 护气腔筒体的中心重合， 其中， 所述环状承接面的外径大于所述保护气腔筒体的外径， 且所 述环状承接面的内径大于所述保护气腔筒体的内径。 8.根据权利要求6所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述MO源钢瓶盖的下端设有钢瓶 盖凹槽， 所述钢瓶盖凹槽通过所述承接环与所述保护气腔筒体的内部连通， 用于形成所述 正压保护气腔。 9.根据权利要求6所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述凹槽的外侧设有将其与 所述 MO源钢瓶盖固定连接的锁紧件。 10.根据权利要求1所述的焊接保护装置， 其特征在于， 所述上端部与所述MO源钢瓶盖 之间的焊接采用环焊缝 结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218135901 U 2一种用于安装MO源钢瓶气管的焊接 保护装置 技术领域 [0001]本实用新型属于MO源钢瓶的制造领域， 具体涉及一种用于安装MO源钢瓶气管的焊 接保护装置 。 背景技术 [0002]MO源钢瓶作为一种用于封装超纯化合物的封装容器， 被广泛应用于半导体行业 中。 MO源钢瓶的基本结构通常包括安装在钢瓶体的盖体上密封焊接插装气体管路， 气体管 路与钢瓶体的内部联通。 [0003]然而， 半导体行业采用的气体管路都很细、 很薄， 具体来说， 当采用直径3.175mm的 气体管时， 其壁厚通常只有0.65mm， 这种结构对焊接质量要求很高， 其焊缝效果不好， 容易 产生气体管 的薄壁在焊接时被熔穿、 管壁结构发生碳化以及冷却拉裂等缺陷， 导致在在实 际制造时的气体管路焊接良品率低下。 [0004]因此， 本申请人希望通过寻 求技术方案来 解决上述 技术问题。 发明内容 [0005]有鉴于此， 本 实用新型的目的在于提供一种用于安装MO源钢瓶气管的焊接保护装 置， 保证了 MO源钢瓶气管的焊接质量， 有效控制了 MO源钢瓶气管的焊接缺陷。 [0006]本实用新型采用的技 术方案如下： [0007]一种用于安装MO源钢瓶气管的焊接保护装置， 包括保护气腔筒体， 所述保护气腔 筒体位于MO源钢瓶盖的下方， 且通过承接环与所述MO源钢瓶盖安装连接， MO源钢 瓶的气管 下端部贯穿所述M O源钢瓶盖与所述保护气腔筒体的内部连通， 当气管上端部与所述M O源钢 瓶盖焊接时， 所述保护气腔筒体与所述MO源钢瓶盖之间形成正压保护气腔。 [0008]优选地， 所述MO源钢瓶的气管包括进气管和出气管， 其中， [0009]所述进气管的下端部贯穿所述MO源钢瓶盖后延伸至所述保护气腔筒体的内部， 同 时所述进气管的上端部与所述MO源钢瓶盖焊接密封连接； [0010]所述出气管的下端部贯穿所述MO源钢瓶盖后与所述保护气腔筒体的内部连通， 同 时所述出气管的上端部与所述MO源钢瓶盖焊接密封连接 。 [0011]优选地， 所述MO源钢瓶的气管的壁厚不大于 0.8mm。 [0012]优选地， 所述MO源钢瓶的气管的外径范围为3 ‑5mm。 [0013]优选地， 所述MO源钢瓶盖的厚度为6 ‑10mm。 [0014]优选地， 所述承接环包括位于上端部的凹槽以及位于底部的环状承接面， 其中， 所 述环状承接面与所述保护气腔筒体的上端面密封接触配合， 同时所述M O源钢瓶盖位于所述 凹槽的内周。 [0015]优选地， 所述环状承接面的中心与所述保护气腔筒体的中心重合， 其中， 所述环状 承接面的外径大于所述保护气腔筒体的外径， 且所述环状承接面的内径大于所述保护气腔 筒体的内径。说　明　书 1/3 页 3 CN 218135901 U 3