(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221690693.8 (22)申请日 2022.07.01 (73)专利权人 福建兆元光电有限公司 地址 350109 福建省福州市闽侯县南屿镇 生物医药和机电产业园区 (72)发明人 陈雅君　林智盛　 (74)专利代理 机构 福州市博深专利事务所(普 通合伙) 35214 专利代理师 唐燕玲 (51)Int.Cl. B65D 25/02(2006.01) B65D 25/04(2006.01) B65D 25/10(2006.01) B65D 25/20(2006.01) B65D 81/05(2006.01)B65D 85/30(2006.01) (54)实用新型名称 一种光刻版的存放装置 (57)摘要 本实用新型属于 半导体生产制造领域， 具体 涉及一种光刻版的存放装置， 包括存放盒， 存放 盒包括至少两个开口向上的盒体， 所述盒体固定 连接呈阶梯状分布， 所述盒体包括底板、 递进阶 梯板、 至少一个分隔板， 所述底板设置于盒体底 部， 每个所述盒体内由所述底板与所述盒体所形 成的开口朝上的容置空间相同， 所述递进阶梯板 较低一侧与所述底板边缘相连接， 所述递进阶梯 板较高一侧与所述盒体的连接面相连接， 所述分 隔板与所述阶梯板踏面相连接， 设置于每个所述 阶梯板踏面上方。 因而使 得不同光刻版能够在同 一个存放装置中分开阶梯状收纳， 便于工作人员 观察， 进而快速找到所需光刻版， 避免了在取用 光刻版时反复拿取对光刻版造成的不必要的脏 污或损坏。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217865497 U 2022.11.22 CN 217865497 U 1.一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 包括存放盒； 存放盒包括至少两个开口向上的 盒体， 所述盒体固定连接呈阶梯状分布； 所述盒体包括底板、 递进阶梯板、 至少一个分隔板， 所述底板设置于盒体底部； 每个所述盒体内由所述底板与所述盒体所形成的开口朝上的容 置空间相同； 所述递进阶梯板较低一侧与所述底板边缘相连接， 所述递进阶梯板较高一侧 与所述盒体的连接面相连接； 所述分隔板与所述阶梯板踏面相连接， 设置于每个所述阶梯 板踏面上 方。 2.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述递进阶梯板的坡度 为25°。 3.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特 征在于， 包括五个所述盒体。 4.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述分隔板纵向两排分 布。 5.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述分隔板的高度小于 所述盒体的高度。 6.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述盒体还包括凹槽， 所述凹槽设置 于所述容置空间两侧， 且所述凹槽的高度小于所述 容置空间的侧面的高度。 7.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述的存放装置的材质 为亚克力塑料板或聚丙烯塑料板 。 8.根据权利要求1所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述分隔板与 所述底板 的坡度为锐角。 9.根据权利要求1 ‑8中任意一项所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 还包括包 装体， 包装体包括光刻版存放槽、 标签口、 手提板、 外壳体， 所述手提板和所述外壳体上下连 接， 所述标签口设置于所述手提板上， 所述光刻版存放槽 设置于所述外壳体上， 所述标签口 与所述光刻版存放槽同侧设置， 所述光刻版存放槽低于所述存放盒， 所述存放盒低于所述 标签口。 10.根据权利要求9所述的一种光刻版的存放装置， 其特征在于， 所述包装体嵌套入所 述存放盒的所述 容置空间中， 所述标签口朝向所述 递进阶梯板较低一侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217865497 U 2一种光刻版的存 放装置 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体生产制造领域， 具体涉及一种光刻版的存放装置 。 背景技术 [0002]光刻工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤， 该步骤利用曝光和显影在光 刻胶层上刻画几何图形结构， 然后通过刻蚀工艺将光掩模上 的图形转移到所在衬底上， 光 刻的精度将直接影响到半导体产品的最终性能。 [0003]而在光刻工艺中， 光刻掩模版(简称光刻版)的使用是重中之重。 光刻掩膜版是光 刻工艺所使用的图形母版， 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构， 再通过 曝光过程将图形信息转移到产品基片上。 因此， 在 存取和使用的时候 都需要格外小心， 避免 损坏或弄脏光刻版， 影响光刻版的使用寿命和产品质量。 [0004]在现有生产流程中， 光刻版通常被存储于出厂时使用的固定盒套中， 待使用时取 出。 然而， 出厂时使用的固定盒套仅用于以销售为目的地储存和转运， 无法满足生产使用过 程中光刻版需要频繁取出与存放的要求， 因此时常出现刮伤或脏污的问题， 这不仅仅影响 了光刻版的使用寿命， 还直接影响了由不良光刻版制得的整批半导体产品的质量， 无形中 给企业增 加了不必要的生产成本 。 实用新型内容 [0005]为了克服上述现有技术的缺陷， 本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够 保护光刻版并且实现快速存取的光刻版的存放装置 。 [0006]为了解决上述技术问题， 本实用新型采用的技术方案为： 存放盒包括至少两个开 口向上的盒体， 所述盒体固定连接呈阶梯状分布； 所述盒体包括底板、 递进阶梯板、 至少一 个分隔板， 所述底板设置于盒体底部； 每个所述盒体内由所述底板与所述盒体所形成的开 口朝上的容置空间相同； 所述递进阶梯板较低一侧与所述底板边缘相连接， 所述递进阶梯 板较高一侧与所述盒体的连接面相连接； 所述分隔板与所述阶梯板踏面相连接， 设置于每 个所述阶梯板踏面上 方。 [0007]其中， 所述 递进阶梯板的坡度为25 °。 [0008]其中， 所述存放装置还 包括五个所述盒体。 [0009]其中， 所述分隔板纵向两排分布。 [0010]其中， 所述分隔板的高度小于盒体的高度。 [0011]其中， 所述盒体还包括 凹槽， 所述 凹槽设置于所述容置空间两侧， 且所述凹槽的高 度小于所述 容置空间的侧面的高度。 [0012]其中， 所述存放装置的材质为 亚克力塑料板或聚丙烯塑料板 。 [0013]其中， 所述分隔板呈横向四排分布。 [0014]其中， 所述分隔板与所述底面的坡度为锐角。 [0015]其中， 所述存放装置还包括包装体， 包装体包括光刻版存放槽、 标签口、 手提板、 外说　明　书 1/4 页 3 CN 217865497 U 3