(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221288327.X (22)申请日 2022.05.26 (73)专利权人 常熟制药机 械厂有限公司 地址 215500 江苏省苏州市 常熟市四新路 15号1幢 (72)发明人 郑江　薛亮　 (74)专利代理 机构 苏州市小巨人知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32415 专利代理师 凌立 (51)Int.Cl. B65D 81/20(2006.01) B65D 81/18(2006.01) B65D 25/20(2006.01) B65D 25/52(2006.01) B65D 25/02(2006.01)G01N 1/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种设有前置取样组件的MO源钢瓶 (57)摘要 本实用新型公开了一种设有前置取样组件 的MO源钢瓶， 包括具有MO源封装空间的钢瓶本 体， 所述钢瓶本体 分别固定安装有惰性气体进气 管、 MO源充装管和出气管， 所述前置取样组件包 括前置取样管路， 所述前置取样管路与萃取器连 接， 所述萃取器通过纯化柱连接所述钢瓶本体； 其中， 所述前置取样管路包括与所述萃取器连接 的取样管， 以及回流管， 所述回流管连接在取样 管与所述纯化柱之间； 本实用新型 实现了便捷式 即时取样， 且 前置取样组件与钢瓶本体 之间形成 了封闭循环系统， 确保不会影 响MO源钢瓶内MO源 蒸汽的及时供应， 有效提升了MO源产线的生产效 率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217865962 U 2022.11.22 CN 217865962 U 1.一种设有前置取样组件的MO源钢瓶， 包括具有MO源封装空间的钢瓶本体， 所述钢瓶 本体分别固定安装有惰性气 体进气管、 M O源充装管和出气管， 其特征在于， 所述前置取样组 件包括前置取样管路， 所述前置取样管路与萃取器连接， 所述萃取器通过纯化柱连接所述 钢瓶本体； 其中， 所述前置取样管路包括与所述萃取器连接的取样管， 以及回流管， 所述回 流管连接在取样管与所述纯化柱之间。 2.根据权利要求1所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述取样管包括与所述萃取器的下端 侧壁连接的取样液入口管段以及设有取样接头的取样液出 口管段， 其中， 所述回流管连接 在所述取样液入口管 段与所述纯化柱之间。 3.根据权利要求2所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述取样液出口管段安装有取样阀 门， 所述回流管安装有液体回流阀门。 4.根据权利要求3所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 通过三通管段实现取样液入口管段、 取样液出 口管段以及回流管之间的连接； 其中， 所述三通管段分别连接所述取样阀门和所 述液体回流阀门。 5.根据权利要求1或2所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述萃取器的上端部贯穿式地固 定安装有冷却装置； 位于所述钢瓶本体与萃取器之间的纯化柱外周套接有保温套管。 6.根据权利要求5所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述冷却装置包括套接在萃取器上端 部外周的冷却套 管， 所述冷却套 管分别连接用于接入冷却水的进 水接头和用于排出冷却水 的出水接头， 其中， 所述冷却套管与萃取器上端部 外周之间形成冷却腔体。 7.根据权利要求1所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述萃取器密封套接在所述纯化柱的 上端部外周， 其中， 所述萃取器的下端侧壁设有与所述取样管连接的萃 取器出液口， 所述纯 化柱的上端部设有 若干气孔， 所述气孔的安装高度大于所述萃取器出 液口的安装高度。 8.根据权利要求7所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述纯化柱的上端部分别设有位于顶 部的第一气孔， 以及位于其上端侧壁且呈周向分布的第二气孔。 9.根据权利要求7所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述纯化柱的侧壁设有与所述回流管 连接的萃取 液回流口， 所述萃取 液回流口 的安装高度小于所述萃取器出 液口的安装高度。 10.根据权利要求1所述的MO源钢瓶， 其特征在于， 所述钢瓶本体的顶部固定安装有纯 化柱安装口， 所述纯化柱的下端与所述纯化柱安装口固定密封安装连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217865962 U 2一种设有前 置取样组件的MO源钢瓶 技术领域 [0001]本实用新型属于MO源封装容器技术领域， 具体涉及了一种设有前置取样组件的MO 源钢瓶。 背景技术 [0002]MO源钢瓶作为一种用于封装超纯化合物 （具体可以为液态镁源、 液态铟源、 电子级 三甲基铝、 液态膦源等） 的容器， 它能够很好地避免超纯化合物输送面临的复杂性问题。 在 实际使用时， 向位于MO源钢瓶内的混合溶液内通入惰性气体得到气态MO源蒸汽， 经过流量 控制最后送入产线的反应室。 [0003]为了实现对MO源钢瓶向产品供应MO源蒸汽的质量监测， 现有技术需要采用专用的 取样测试设备对MO源钢瓶产生的MO源蒸汽进行纯化后进行萃取取样， 然后进行测试， 经测 试合格后才能将MO源蒸汽接入生产线的主设备上使用。 然而， 现有的取样测试设在取样过 程中不仅对环境以及操作人员的要求都很高， 否则很容易造成取样测试设备 的污染， 不仅 耗时耗力， 而且取样测试设备一旦被污染， 需要花费更多的时间对该取样测试设备进行清 理， 不仅对生产环境不友好， 而且还会极大程度地降低MO源蒸汽在生产线主设备的供应效 率。 [0004]因此， 本申请人希望通过寻 求技术方案来 解决上述 技术问题。 发明内容 [0005]有鉴于此， 本实用新型的目的在于提供一种设有前置取样组件的MO源钢瓶， 实现 了便捷式即时取样， 且前置取样组件与钢瓶本体之间形成了封闭循环系统， 确保不会影响 MO源钢瓶内MO源蒸汽的及时供应， 有效提升 了MO源产线的生产效率。 [0006]本实用新型采用的技 术方案如下： [0007]一种设有前置取样组件的MO源钢瓶， 包括具有MO源封装空间的钢瓶本体， 所述钢 瓶本体分别固定安装有惰性气体进气管、 MO源充装管和出气管， 所述前置取样组件包括前 置取样管路， 所述前置取样管路与萃 取器连接， 所述萃 取器通过纯化柱连接所述钢瓶本体； 其中， 所述前置取样管路包括与所述萃 取器连接的取样管， 以及回流管， 所述回流管连接在 取样管与所述纯化柱之间。 [0008]优选地， 所述取样管包括与所述萃取器的下端侧壁连接的取样液入口管段以及设 有取样接头的取样液出 口管段， 其中， 所述回流管连接在所述取样液入口管段与所述纯化 柱之间。 [0009]优选地， 所述取样液 出口管段安装有取样阀门， 所述回流管安装有液体回流阀门。 [0010]优选地， 通过三通管段实现取样液入口管段、 取样液出口管段以及回流管之间的 连接； 其中， 所述 三通管段分别连接所述取样阀门和所述液体回流阀门。 [0011]优选地， 所述萃取器 的上端部贯穿式地固定安装有冷却装置； 位于所述钢瓶本体 与萃取器之间的纯化柱外周套接有保温套管。说　明　书 1/4 页 3 CN 217865962 U 3