(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221548047.8 (22)申请日 2022.06.20 (73)专利权人 南雄市毅豪化工有限公司 地址 512400 广东省韶关 市南雄市珠玑工 业园 (72)发明人 黎厚明　欧阳斌　 (74)专利代理 机构 湖南会挽 专利代理事务所 (普通合伙) 43286 专利代理师 周英妮 (51)Int.Cl. B01D 29/03(2006.01) B01D 29/64(2006.01) B01D 29/96(2006.01) (54)实用新型名称 一种光刻胶生产用废液回收装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种光刻胶生产用废液回 收装置， 包括过滤箱体， 所述过滤箱体的顶部连 接有进料口， 所述过滤箱体的底部连接有储存箱 体， 所述储存箱体的左侧壁上连接有出料管， 所 述过滤箱 体的内部设置有清理机构。 通过设置有 清理机构， 启动驱动电机， 使得套筒在螺纹杆上 从左到右移动， 使得刮板从左到右对 过滤网上表 面的杂质进行清理， 最后从排污口排至排污箱 内， 解决了过滤网在工作时容易堵塞的问题， 通 过设置有固定组件， 拉动拉环， 使得挤压环在凹 槽内向下挤压第二弹簧， 此时固定块向下移动至 完全拉出时， 可以向外抽动连接板， 可 以将过滤 网从过滤箱 体内抽出对其进行更换， 避免长时间 工作容易导致过滤网过滤效率降低。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217526546 U 2022.10.04 CN 217526546 U 1.一种光刻胶生产用废液回收装置， 包括过滤箱体(1)， 其特征在于， 所述过滤箱体(1) 的顶部连接有进料口(2)， 所述过滤箱体(1)的底部连接有储存箱体(3)， 所述储存箱体(3) 的左侧壁上连接有出料管(4)， 所述过滤箱体(1)的内部设置有清理机构， 所述过滤箱体(1) 的左侧壁上设置有固定组件， 所述清理机构包括有驱动电机(51)， 所述驱动电机(51)安装 于过滤箱体(1)的左侧壁上， 所述 驱动电机(51)的输出端固定连接有螺纹杆(52)， 且螺纹杆 (52)的另外一端转动连接在过滤箱体(1)的右内壁上， 所述螺纹杆(52)的外表面螺纹连接 有套筒(53)， 所述套筒(53)的圆周表面下侧固定连接有安装板(54)， 所述安装板(54)的底 部固定连接有第一弹簧(55)， 所述第一弹簧(55)的下端固定连接有刮板(56)， 所述套筒 (53)的圆周表面前侧固定连接有限位杆(57)， 所述过滤箱体(1)的前内壁上开设有与限位 杆(57)相配合的限位槽， 所述限位杆(57)滑动连接在限位槽内， 所述过滤箱体(1)的内部 设 置有过滤网(58)， 所述过 滤箱体(1)的右侧壁上固定连接有排污口(59)。 2.根据权利要求1所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述过滤箱体 (1)的右侧壁上固定连接有排污箱， 所述 排污箱位于排污口(59)的下 方。 3.根据权利要求1所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述第一弹簧 (55)设置有三组， 且三组第一弹簧(5 5)等距离的设置在安装板(54)的底部 。 4.根据权利要求1所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述刮板(56)的 底部紧紧的贴合在过 滤网(58)的顶部 。 5.根据权利要求1所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述储存箱体 (3)的内部设置有导 流板(31)， 所述 导流板(31)呈倾 斜状。 6.根据权利要求1所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述固定组件包 括有连接板(61)， 所述连接板(61)固定连接于过滤网(58)的左端， 所述过滤箱体(1)的左侧 壁上固定连接有固定块(62)， 所述过滤箱体(1)的左侧壁上固定连接有固定板(63)， 所述固 定块(62)内插设有插杆(64)， 所述插杆(64)的外表面固定连接有挤压环(65)， 所述固定块 (62)的内部开设有与挤压环(65)相配合的凹槽(66)， 所述挤压环(65)滑动连接在凹槽(66) 内， 所述挤压环(65)的下端与凹槽(66)的下内壁之间设置有第二弹簧(67)， 所述插杆(64) 的下端固定连接有拉环(68)。 7.根据权利要求6所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述第二弹簧 (67)的上 下两端分别固定连接 于挤压环(6 5)的下端与凹槽(6 6)的下内壁之间。 8.根据权利要求6所述一种光刻胶生产用废液回收装置， 其特征在于， 所述插杆(64)的 上端贯穿连接板(61)插设在固定 板(63)内。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217526546 U 2一种光刻胶生产用废液回收 装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光刻 胶技术领域， 特别是 涉及一种光刻 胶生产用废液回收装置 。 背景技术 [0002]光刻胶又称光致抗蚀剂， 是指通过紫外光、 电子束、 离子束、 X  射线等的照射或辐 射， 其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。 由感光树脂、 增感剂和溶剂3种主要成分组成 的对光敏感的混合液体。 在光刻工艺过程中， 用作抗腐蚀涂层材料。 半导体材料在表面加工 时， 若采用适当的有选择性的光刻胶， 可在表面上得到所需的图像。 光刻胶按其形成的图像 分类有正性、 负性两大类。 在光刻胶工艺过程中， 涂层曝光、 显影后， 曝光部分被溶解， 未曝 光部分留下来， 该涂层材料为正性光刻胶。 如果曝光部分被保留下来， 而未曝光被溶解， 该 涂层材料为负性光刻胶。 按曝光光源和辐射源的不同， 又分为紫外光刻胶(包括紫外正、 负 性光刻胶)、 深紫外光刻胶、 X ‑射线胶、 电子束胶、 离子束胶等。 目前， 现有的光刻胶废液回收 装置存在如下问题： 通过过滤网来对废液进 行过滤， 过滤后的废弃物附着在过滤网表面， 造 成网孔堵塞， 影响其正常使用， 为了解决以上提出的问题， 我们设计出了一种新型的光刻胶 生产用废液回收装置 。 实用新型内容 [0003]本实用新型提供了一种光刻胶生产用废液回收装置， 解决了现有技术中的技术问 题。 [0004]本实用新型解决上述技术问题的方案如下： 一种光刻胶生产用废液回收装置， 包 括过滤箱体， 所述过滤箱体的顶部连接有进 料口， 所述过滤箱体的底部连接有储存箱体， 所 述储存箱体的左侧 壁上连接有出料管， 所述过滤箱体的内部设置有清理机构， 所述过滤箱 体的左侧 壁上设置有固定组件， 所述清理机构包括有驱动电机， 所述驱动电机安装于过滤 箱体的左侧 壁上， 所述驱动电机的输出端固定连接有螺纹杆， 且螺纹杆的另外一端转动连 接在过滤箱体的右内壁上， 所述螺纹杆 的外表面螺纹连接有套筒， 所述套筒的圆周表面下 侧固定连接有安装板， 所述安装板的底部固定连接有第一弹簧， 所述第一弹簧的下端固定 连接有刮板， 所述套筒的圆周表面前侧固定连接有限位杆， 所述过滤箱体的前内壁上开设 有与限位杆相配合的限位槽， 所述限位杆滑动连接在限位槽内， 所述过滤箱体的内部设置 有过滤网， 所述过 滤箱体的右侧壁上固定连接有排污口。 [0005]在上述技术方案的基础上， 本实用新型还可以做如下改进。 [0006]进一步， 所述过滤箱体的右侧壁上固定连接有排污箱， 所述排污箱位于排污 口的 下方。 [0007]进一步， 所述第一弹簧设置有三组， 且三组第一弹簧等距离 的设置在安装板 的底 部。 [0008]进一步， 所述刮板的底部紧 紧的贴合在过 滤网的顶部 。 [0009]进一步， 所述储 存箱体的内部设置有导 流板， 所述 导流板呈倾 斜状。说　明　书 1/4 页 3 CN 217526546 U 3