(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221574036.7 (22)申请日 2022.06.21 (73)专利权人 苏州德瑞姆超声科技有限公司 地址 215699 江苏省苏州市张家港市杨舍 镇李巷村 (72)发明人 陈忠海　 (74)专利代理 机构 西安赛嘉知识产权代理事务 所(普通合伙) 61275 专利代理师 张少君 (51)Int.Cl. B01D 29/96(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 29/64(2006.01) (54)实用新型名称 一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废 水处理装置 (57)摘要 本实用新型涉及废水 处理技术领域， 具体是 一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处 理装置， 包括处理箱； 所述处理箱的顶部贯穿且 固接有进料管， 所述处理箱内部安装有过滤板； 所述处理箱内部设置有清理机构； 所述清理机构 包括支撑板， 所述支撑板的顶部固接有电缸， 所 述电缸的输出轴固接有一号杆， 所述一号杆的顶 端固接有条形板， 所述条形板的底部对称固接有 两个齿条； 所述处理箱内部对称转动连接有两个 二号杆； 所述二号杆位于处理箱外的一端套设且 固接有齿轮， 所述齿轮与齿条相互啮合； 通过设 置清理机构， 使得清理板表面的刷毛将插入 过滤 板表面的网孔中， 避免过滤板的网孔受到堵塞， 保证过滤板的正常使用。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 217567752 U 2022.10.14 CN 217567752 U 1.一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 其特征在于： 包括处理箱 (1)； 所述处理箱(1)的顶部贯穿且固接有进料管(2)， 所述处理箱(1)内部安装有过滤板 (3)； 所述处理箱(1)内部设置有清理机构； 所述清理机构包括支撑板(4)， 所述支撑板(4)的 顶部固接有电缸(5)， 所述电缸(5)的输出轴固接有一号杆(6)， 所述一号杆(6)的顶端固接 有条形板(7)， 所述条形板(7)的底部对称固接有两个齿条(8)； 所述处理箱(1)内部对称转 动连接有两个二号杆(9)； 所述二号杆(9)位于处理箱(1)外的一端套设且固接有齿轮(10)， 所述齿轮(10)与齿条(8)相互啮合； 所述二号杆(9)位于处理箱(1)内的一端固接有清理板 (11)， 所述清理板(1 1)位于过 滤板(3)的下 方。 2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 其特 征在于： 所述支撑板(4)的顶部固接有两个导杆(12)， 且两个导杆(12)对称设置在电缸(5) 的两侧； 所述 导杆(12)贯 穿且滑动连接 于条形板(7)。 3.根据权利要求2所述的一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 其特 征在于： 所述清理板(11)的表面等距开设有多个通孔； 所述清理板(11)的顶部固接有刷毛 (13)。 4.根据权利要求3所述的一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 其特 征在于： 所述过滤板(3)的外周固接有矩形框架(14)， 所述矩形框架(14)的左右两侧固接有 一号板(15)。 5.根据权利要求4所述的一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 其特 征在于： 所述处理箱(1)的内壁对称固接有安装块(16)， 所述安装块(16)在靠近过滤板(3) 的一侧开设有安装槽(17)； 所述一号板(15)与安装槽(17)之间呈滑动配合状态； 所述安装 块(16)的顶部贯穿且滑动 连接有插杆(18)， 所述插杆(18)的顶端 固接有二号板(19)， 所述 二号板(19)与安装块(16)之间固接有弹簧(20)； 所述一号板(15)在插 杆(18)的对应位置处 开设有插槽(21)， 所述插杆(18)与插槽(21)呈间隙配合。 6.根据权利要求5所述的一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 其特 征在于： 所述处理箱(1)的底部固接有底座(22)， 所述底座(22)的底部固接有排料管(23)， 且排料管(23)与处 理箱(1)内部连通； 所述处 理箱(1)的一侧安装有箱门(24)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217567752 U 2一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废水 处理装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及废水处理技术领域， 具体是一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆 的废水处 理装置。 背景技术 [0002]在半导体器件生产过程中， 需要使用全自动硅片清洗机对硅片进行清洗， 去除硅 片表面的杂质， 而全自动硅片清洗机在使用之后会产生含有颗粒物杂质的废水， 这种废水 在排放之前， 需要对废水进行 净化处理。 [0003]申请号为CN201811409578.7 的一项专利公开了一种全自动硅片清洗机的废水处 理装置， 包括处理箱， 所述处理箱的两侧内壁上端均固定连接有固定板， 两个所述固定板的 上方均设置有缓冲板， 所述缓冲板的下表面一端固定连接斜块的上表面， 所述斜块的下表 面固定连接第一竖杆 的一端， 所述第一竖杆 的上端外侧套接有压板， 所述第一竖杆 的外侧 套接有复位弹簧， 所述缓冲板的下表面另一端固定连接第二竖杆 的顶端。 通过缓冲板和复 位弹簧的配合设置， 能够对水流进行缓冲， 减小水流对过滤板的冲击， 有效的保护了过滤 板， 从而能够提升过 滤板的使用寿命。 [0004]但是， 上述装置在使用过程中， 由于过滤板处未设置任何清理结构， 当颗粒物较多 时， 会出现过滤板网孔被堵塞的现象， 导致过滤板无法正常实现对废水的过滤， 从而影响该 装置的整体使用效果； 因此， 针对上述问题提出一种全自动硅片清洗机的过滤板可拆的废 水处理装置。 实用新型内容 [0005]为了弥补现有技术的不足， 解决上述中至少一个问题， 本实用新型提出一种全自 动硅片清洗 机的过滤板可拆的废水处 理装置。 [0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 本实用新型所述的一种全自动 硅片清洗机的过滤板可拆的废水处理装置， 包括处理箱； 所述处理箱的顶部贯穿且固接有 进料管， 所述处理箱内部安装有过滤板； 所述处理箱内部 设置有清理机构； 所述清理机构包 括支撑板， 所述支撑板的顶部固接有电缸， 所述电缸的输出轴固接有一号杆， 所述一号杆的 顶端固接有条形板， 所述条形板的底部对称 固接有两个齿条； 所述处理箱内部对称转动连 接有两个二号杆； 所述二号杆位于处理箱外的一端套设且固接有齿轮， 所述齿轮与齿条相 互啮合； 所述 二号杆位于处 理箱内的一端固接有清理板， 所述清理板位于过 滤板的下 方。 [0007]优选的， 所述支撑板的顶部固接有两个导杆， 且两个导杆对称设置在电缸的两侧； 所述导杆贯穿且滑动连接 于条形板。 [0008]优选的， 所述清理板的表面 等距开设有 多个通孔； 所述清理板的顶部固接有刷毛。 [0009]优选的， 所述过滤板 的外周固接有矩形框架， 所述矩形框架的左右两侧固接有一 号板。 [0010]优选的， 所述处理箱的内壁对称固接有安装块， 所述安装块在靠近过滤板 的一侧说　明　书 1/4 页 3 CN 217567752 U 3