(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222590351.5 (22)申请日 2022.09.29 (73)专利权人 徐州市晨创电子科技有限公司 地址 221000 江苏省徐州市铜山区三 堡街 道刁店村 (72)发明人 陈创　 (74)专利代理 机构 徐州苏亨知识产权代理事务 所(普通合伙) 32614 专利代理师 卜祥奎 (51)Int.Cl. B24B 41/06(2012.01) B24B 41/00(2006.01) (54)实用新型名称 单晶硅片 磨削夹具 (57)摘要 本实用新型提出一种单晶硅片磨削夹具， 包 括横板、 两个竖板、 夹持组件、 两个挡板和两组压 紧组件， 其中， 两个竖板对称设置在横板上， 竖板 上开设有通槽； 夹持组件设置在两个竖板之间， 夹持组件包括架体、 多个夹持件、 两个连接杆和 两个限位板， 其中， 多个夹持件设置在架 体上； 两 个连接杆对称设置在架体的两侧， 连接杆的一端 贯穿通槽； 两个限位板分别与对应的两个连接杆 连接； 两个挡板分别可移动地设置在两个竖板相 斥的一侧， 挡板与限位板抵触； 两组压紧组件分 别设置在对应的两个竖板上， 压紧组件与连接杆 的外壁抵触。 本实用新型实施例的单晶硅片磨削 夹具， 能够同时加工多个工件， 简化了加工工序， 提高了加工效率， 保证 了产品质量。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 218137314 U 2022.12.27 CN 218137314 U 1.一种单晶硅片磨削夹具， 其特征在于， 包括横板(1)、 两个竖板(2)、 夹持组件(3)、 两 个挡板(4)和两组压紧组件(5)， 其中， 两个所述竖板(2)对称设置在所述横板(1)上， 所述竖板(2)上开设有通槽(20)； 所述夹持组件(3)设置在两个所述竖板(2)之间， 所述夹持组件(3)包括架体(31)、 多个 夹持件(32)、 两个连接杆(3 3)和两个限位板(34)， 其中， 多个所述夹持件(32)设置在架体(31)上； 两个所述连接杆(33)对称设置在 所述架体(31)的两侧， 所述连接杆(33)的一端贯穿所 述通槽(20)； 两个所述限位板(34)分别与对应的两个所述连接杆(3 3)连接； 两个所述挡板(4)分别可移动地设置在两个所述竖板(2)相斥的一侧， 所述挡板(4)与 所述限位板(34)抵触； 两组所述压紧组件(5)分别设置在对应的两个所述竖板(2)上， 所述压紧组件(5)与所 述连接杆(3 3)的外壁抵触。 2.根据权利要求1所述的单晶硅片磨削夹具， 其特征在于， 所述压紧组件(5)包括手轮 (51)和螺杆(52)， 其中， 所述螺杆(52)的一端与所述手轮(51)连接， 所述螺杆(52)与所述竖板(2)螺纹连接， 所 述螺杆(52)的另一端与所述连接杆(3 3)的外壁抵触。 3.根据权利要求1所述的单晶硅片磨削夹具， 其特征在于， 所述架体(31)对称设有两个 快接接头(61)。 4.根据权利要求1所述的单晶硅片磨削夹具， 其特征在于， 所述夹持件(32)的端部设有 防护垫(71)， 所述横板(1)上固定有橡皮条(72)， 所述橡皮条(72)位于所述夹持组件(3)的 下方。 5.根据权利要求4所述的单晶硅片磨削夹具， 其特征在于， 所述横板(1)上对称开设有 两个固定 槽(81)。 6.根据权利要求1 ‑5任一项所述的单晶硅片磨削夹具， 其特征在于， 所述横板(1)的下 表面对称安装有 多个移动轮(91)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218137314 U 2单晶硅片磨削夹具 技术领域 [0001]本实用新型 涉及单晶硅片技 术领域， 尤其涉及一种单晶硅片 磨削夹具。 背景技术 [0002]单晶硅片是制造半导体硅器件的原 料， 用于制大功率整流器、 大功率晶体管、 二极 管、 开关器件等， 单晶硅片的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅， 接着用直拉法或悬浮区 熔法从熔体中生长出棒状单 晶硅， 然后通过对单 晶硅棒的切割 得到单晶硅片， 最后根据需 要对单晶硅片进行磨削、 倒角以及清洗 工作。 [0003]其中， 磨削的工序是指将切割成的单晶硅片的锐利角修整成圆弧形， 防止 晶片锐 利角划伤外物及晶格缺陷产生。 [0004]目前， 单晶硅片的磨削工序中单次只能加工一个工件， 加工过程中， 工人还需不断 调整装夹位置， 这 一过程工序复杂， 加工效率低， 影响产品的质量。 发明内容 [0005]本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述 技术中的技 术问题之一。 [0006]为此， 本实用新型的一个目的在于提出一种单晶硅片磨削夹具， 能够同时加工多 个工件， 简化了加工 工序， 提高了加工效率， 保证了产品质量。 [0007]为达到上述目的， 本 实用新型第一方面提出了一种单晶硅片磨削夹具， 包括横板、 两个竖板、 夹持组件、 两个挡板和两组压紧组件， 其中， 两个所述竖板对称设置在所述横板 上， 所述竖板上开设有通槽； 所述夹持组件设置在两个所述竖板之 间， 所述夹持组件包括架 体、 多个夹持件、 两个连接杆和两个限位板， 其中， 多个所述夹持件设置在架体上； 两个所述 连接杆对称设置在所述架体的两侧， 所述连接杆的一端贯穿所述通槽； 两个所述限位板分 别与对应的两个所述连接杆连接； 两个所述挡板分别可移动地设置在两个所述竖板相斥的 一侧， 所述挡板与所述限位板抵触； 两组所述压紧组件分别设置在 对应的两个所述竖板上， 所述压紧组件与所述连接杆的外壁抵触。 [0008]本实用新型的单晶硅片磨削夹具， 利用夹持组件对多个单晶硅片同时装夹， 横板 能够将多个单晶硅片码 齐， 同时， 夹持组件可带动单晶硅片在竖板内转动， 进而一次调整多 个单晶硅片的磨削位置， 简化了加工工序， 提高了加工效率， 挡板和压紧组件对夹持组件进 行辅助固定， 保证加工时单晶硅片的稳定性， 保证了产品质量。 [0009]另外， 根据本实用新型上述实施例提出的单晶硅片磨削夹具还可以具有如下附加 的技术特征： [0010]具体地， 所述压紧组件包括手轮和螺杆， 其中， 所述螺杆的一端与所述手轮连接， 所述螺杆与所述竖板 螺纹连接， 所述螺杆的另一端与所述连接杆的外壁抵触。 [0011]具体地， 所述架体对称设有两个快接 接头。 [0012]具体地， 所述夹持件的端部设有防护垫， 所述横板上固定有橡皮条， 所述橡皮条位 于所述夹持组件的下 方。说　明　书 1/4 页 3 CN 218137314 U 3