(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221037379.X (22)申请日 2022.04.28 (73)专利权人 广州市艾佛光 通科技有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区开源大 道136号B2栋1 103室 (72)发明人 李国强　 (74)专利代理 机构 广州市越秀区哲力专利商标 事务所(普通 合伙) 44288 专利代理师 侯成兵 (51)Int.Cl. G01R 31/28(2006.01) G01R 1/04(2006.01) G01V 3/08(2006.01) H04N 5/372(2011.01) H04N 5/225(2006.01) (54)实用新型名称 用于探针台自动聚焦和压 针装置 (57)摘要 本实用新型涉及探针台技术领域， 公开了用 于探针台自动聚焦和压针装置， 包括台体、 设置 在所述台体上的压力传感组件、 控制组件、 用于 放置晶圆片的真 空卡盘、 用于识别定位所述晶圆 片的识别组件、 用于传输所述真空卡盘至所述识 别组件处的位移组件； 其中， 所述压力传感组件 与探针运动同步， 所述压力传感组件接触所述晶 圆片时会产生触压信号， 所述控制组件用于接收 所述触压信号并迫使探针运动停止。 通过台体上 增设的识别组件和压力传感组件， 可实现对定位 晶圆片的自动识别定位和自动压针， 提高探针台 作业效率且降低报 废产品的风险。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 217879509 U 2022.11.22 CN 217879509 U 1.用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 包括台体、 设置在所述台体上的压力 传感组件、 控制组件、 用于放置晶圆片的真空卡盘、 用于识别定位所述晶圆片的识别组件、 用于传输所述真空卡盘至所述识别组件处的位移组件； 其中， 所述压力传感组件与探针运动同步， 所述压力传感组件接触所述晶圆片时会产 生触压信号， 所述控制组件用于 接收所述触压信号并迫使探针运动停止 。 2.如权利要求1所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述识别组件包 括悬设在所述真空卡盘上 方的CCD相机以及安装在所述C CD相机上的C CD镜头。 3.如权利要求1所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述压力传感组 件包括传感针头和两个电容， 所述传感针头具有竖直段和水平段， 所述竖直段的自由端与 所述探针的针头相齐平， 所述水平段的自由端则位于 两个所述电容之间； 当所述竖直段的自由端接触所述晶圆片时， 产生的反作用力会迫使所述水平段倾斜转 动， 使所述水平段的自由端触碰所述电容产生所述触压信号。 4.如权利要求3所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述用于探针 台 自动聚焦和压针装置还包括直线驱动装置， 所述直线驱动装置包括设置在所述台体上的至 少一个挡板以及安装在所述挡板上用于引导所述探针竖向直线运动的驱动组件。 5.如权利要求4所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述驱动组件包 括设置在所述挡板面向所述真空卡盘一侧的横臂、 转动插设在所述横臂上且与所述探针移 动方向平行 的套筒、 螺纹插设在所述套筒底部的螺杆、 固定在所述螺杆底部的同步板以及 设置在所述同步板底部的吊杆， 所述探针远离其针头的一端以及所述传感针头均安装在所 述吊杆上； 所述同步板的一端滑动卡设在所述挡板的侧壁上。 6.如权利要求5所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述驱动组件还 包括设置在所述套筒顶部的锥齿一、 转动插设位于所述锥齿一上方的所述挡板上且与所述 锥齿一相配合的锥齿二、 安装在所述挡板上的步进电机以及安装在所述步进电机输出轴上 的带轮， 所述锥齿二的齿轴上也设置有带轮， 两个所述带轮之间通过皮带传动相连。 7.如权利要求1所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述台体上开设 有工作槽， 所述工作槽中设置有用于安置所述真空卡盘的载盘， 所述载盘连接所述位移组 件， 所述载盘顶部开设有与所述真空卡盘相适配的盘置 槽。 8.如权利要求7所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述载盘上相对 设置有两个夹爪以及动作 组件， 当所述真空卡盘放置在所述载盘上时， 所述动作 组件用于 引导两个所述夹爪相向转动， 以将所述真空卡盘夹 抱住。 9.如权利要求8所述的用于探针 台自动聚焦和压针装置， 其特征在于， 所述载盘 内水平 开设有通槽一， 所述载盘顶部的两侧相对开设有两个与所述通槽一垂直连通的通槽二， 所 述盘置槽的槽底开设有板置槽， 所述板置槽的槽底与所述通槽一之间连通有通槽三； 所述 动作组件包括与所述板置槽相适配的迫压板、 滑动插设在所述通槽三中且顶部与所述迫压 板底部固接的连杆、 设置在所述连杆底部的滑珠、 相对设置在所述通槽一中且与所述滑珠 滑动挤压配合的斜台、 分别设置在两个所述斜台相离侧且位于所述通槽一内的两个固定 块、 分别滑动插设在两个所述固定块上 的两个齿条、 分别 设置在所述通槽一两端的两个传 动齿轮、 分别同轴设置在两个所述传动齿轮上且与两个所述传动齿轮运动同步的两个线轮 一以及分别转动设置在两个所述通槽二顶部槽口处的线轮二， 位于所述斜台与所述固定块权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217879509 U 2之间的所述齿 条外侧套设有弹簧； 两个所述夹爪的一端分别套接固定在两个所述线轮二的 轮轴上； 所述通槽二的槽壁上相对开设有两个轴插槽， 所述线轮二轮轴的两端分别转动插设在 两个所述轴插槽内， 且所述线轮二的轮轴与所述轴插槽之间设置有卷簧； 所述线轮二上收 卷有拉绳， 所述拉绳的自由端栓接固定在所述线轮一上； 所述卷簧的弹力值小于所述弹簧 的弹力值； 当所述弹簧未形变时， 所述迫压板突出至所述板置槽的槽口外侧， 所述夹爪处于展开 状态， 且所述卷簧处于未 形变状态。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217879509 U 3