(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222489212.3 (22)申请日 2022.09.20 (73)专利权人 上海积塔半导体有限公司 地址 201306 上海市浦东 新区中国上海浦 东新区自由贸易试验区临港新片区云 水路600号 (72)发明人 徐金林　邓攀　季鸣　 (74)专利代理 机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 余明伟 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种半自动清针砂纸 黏贴装置 (57)摘要 本实用新型提供一种半自动清针砂纸黏贴 装置， 包括更换平台、 清针块固定单元与清针砂 纸黏贴单元， 清 针块固定单元包括清针块固定底 座与清针块定位件， 清针砂纸黏 贴单元包括电动 黏贴滚筒与滑轨。 清针块通过清针块定位件固定 在清针块固定底座上， 防止清针块跑偏； 电动黏 贴滚筒沿滑轨在清针块上滑动， 线面贴合避免黏 贴中产生气泡， 节约时间、 提高清针砂纸更换效 率。 清针块定位件与清针块固定底 座之间可拆卸 固定连接， 根据需求采用适量清针块定位件， 提 高装置的适用性及灵活性； 设置滑轨固定架， 调 节滑轨高度及滑轨之间的距离， 以适用不同尺寸 的清针块， 提高装置的利用率； 采用电机控制、 滑 轨固定行程及设置紧急制动开关， 人工操作更加 简便、 安全。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 217990129 U 2022.12.09 CN 217990129 U 1.一种半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于， 所述半自动清针砂纸黏贴装置至少包 括： 更换平台； 清针块固定单元， 所述清针块固定单元包括清针块固定底座及清针块定位件， 所述清 针块固定底座固定于所述更换平台上， 清针块通过所述清针块定位件固定于所述清针块固 定底座上； 清针砂纸黏贴单元， 所述清针砂纸黏贴单元包括电动黏贴滚筒、 滑轨， 所述滑轨固定于 所述更换平台上且对称位于所述清针块固定单元的两侧， 所述电动黏贴滚筒固定于所述滑 轨上并能够沿所述滑轨在所述清针块表面进行滑行， 以将清针砂纸 黏贴至所述清针块上。 2.根据权利要求1所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述清针块定位件为 定位销， 所述定位销的数量大于等于2。 3.根据权利要求1所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述清针块定位件与 所述清针块固定底座之间形成可拆卸固定连接 。 4.根据权利要求1所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述滑轨还设置有滑 轨固定架， 所述滑轨固定架能够 进行高度、 宽度调节， 从而调整 所述滑轨高度及所述滑轨之 间的距离 。 5.根据权利要求1所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述电动 黏贴滚筒包 括电机、 黏贴滚筒与传动机构， 所述黏贴滚筒与所述传动机构连接， 所述电机控制所述传动 机构以带动所述 黏贴滚筒在所述滑轨上进行滑行。 6.根据权利要求5所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述清针砂纸黏贴单 元还包括控制开关， 所述控制开关固定于所述更换平台上， 且与所述电机电连接以控制所 述黏贴滚筒沿所述滑轨进行滑行与返回起 点。 7.根据权利要求5所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述清针砂纸黏贴单 元还包括紧急制动开关， 所述紧急制动开关固定于所述更换平台上， 且与所述电机电连接 以紧急制动所述 黏贴滚筒。 8.根据权利要求5所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述黏贴滚筒表层为 弹性层。 9.根据权利要求1所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述半自动清针砂纸 黏贴装置还设置有裁 剪平台。 10.根据权利要求1所述的半自动清针砂纸黏贴装置， 其特征在于： 所述滑轨的长度大 于等于所述清针块固定底座的长度。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217990129 U 2一种半自动清针砂纸黏贴装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体测试 领域， 特别是 涉及一种半自动清针砂纸 黏贴装置 。 背景技术 [0002]在半导体晶圆制作完成后、 进行封装前， 为了确保晶圆的良率及避免封装的浪费， 在半导体制程中需要进行 晶圆验收测试， 以对晶圆的电学性能进行检测， 避免不符合客户 要求的器件出厂 进而造成损失。 [0003]测试过程中， 随着针测次数的增加， 探针上会积累粉尘、 油墨等碎屑， 导致测试不 稳定， 因此需要用清针砂纸对探针卡进 行在线清洁， 且为保证清洁效果， 清针砂纸需要定期 更换。 传统黏贴砂纸方式为人工手动黏贴， 但人工黏贴砂纸的时候不仅清针块无法定位， 黏 贴过程中容易跑偏； 还容易在砂纸和清针块之间产生空气气泡， 空气气泡在清针的时候有 一定机率会造成针卡跪针、 针偏等问题， 所以需要 再次黏贴把空气排除出去。 因此定制一种 既能够稳定清针块， 又能够快速黏贴砂纸的装置实属必要。 实用新型内容 [0004]鉴于以上所述现有技术的缺点， 本实用新型的目的在于提供一种半自动清针砂纸 黏贴装置， 用于解决现有技术中人工黏贴清针砂纸时清针块无法固定及清针砂纸与 清针块 之间容易产生空气 气泡的问题。 [0005]为实现上述目的及其他相关目的， 本实用新型提供一种半自动清针砂纸黏贴装 置， 所述半自动清针砂纸 黏贴装置 至少包括： [0006]更换平台； [0007]清针块固定单元， 所述清针块固定单元包括清针块固定底座及清针块定位件， 所 述清针块固定底座固定于所述更换平台上， 清针块通过所述清针块定位件固定于所述清针 块固定底座上； [0008]清针砂纸黏贴单元， 所述清针砂纸黏贴单元包括电动黏贴滚筒、 滑轨， 所述滑轨固 定于所述更换平台上且对称位于所述清针块固定单元的两侧， 所述电动黏贴滚筒固定于所 述滑轨上并能够沿所述滑轨在所述清针块表面进 行滑行， 以将清针砂纸黏贴至所述清针块 上。 [0009]优选地， 所述清针块定位件为定位销， 所述定位销的数量大于等于2。 [0010]优选地， 所述清针块定位件与所述清针块固定底座之间形成可拆卸固定连接 。 [0011]优选地， 所述滑轨还设置有滑轨固定架， 所述滑轨固定架能够进行高度、 宽度调 节， 从而调整所述滑轨高度及所述滑轨之间的距离 。 [0012]优选地， 所述电动黏贴滚筒包括电机、 黏贴滚筒与传动机构， 所述黏贴滚筒与所述 传动机构连接， 所述电机控制所述传动机构以带动所述 黏贴滚筒在所述滑轨上进行滑行。 [0013]优选地， 所述清针砂纸黏贴单元还包括控制开关， 所述控制开关固定于所述更换 平台上， 且与所述电机电连接以控制所述 黏贴滚筒沿所述滑轨进行滑行与返回起 点。说　明　书 1/5 页 3 CN 217990129 U 3