(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221620885.1 (22)申请日 2022.06.27 (73)专利权人 绿菱电子材 料 （天津） 有限公司 地址 301714 天津市武清区河西务 镇三纬 路南侧 (72)发明人 郭永洁　王维佳　王新鹏　邸士强　 杨振建　 (74)专利代理 机构 天津企兴智财知识产权代理 有限公司 12 226 专利代理师 石倩倩 (51)Int.Cl. B01D 53/18(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B01D 29/03(2006.01) (54)实用新型名称 一种易清理的尾气处 理塔 (57)摘要 本实用新型提供了一种易清理的尾气处理 塔， 包括塔体、 水箱， 所述塔体固定设置在水箱的 上方， 水箱上连接有循环管， 循环管的一端设有 喷淋头， 循环管上设有循环泵， 所述喷淋头设置 在塔体内， 所述塔体远离循环管的一侧设有清洗 管； 所述清洗管内设有清洗组件； 塔身和水箱为 分开结构， 容易拆卸、 转移、 安装等， 塔体依靠液 封在水箱中， 能提高尾气吸收效率。 所述塔体的 下方设有进气管。 本实用新型所述的一种易清理 的尾气处理塔， 水箱下侧有排污阀， 打开排污阀 可排出粘稠状沉淀物， 整套设备不需要人频繁拆 卸装置即可实现易堵塞处的清理， 不需要人爬高 拆卸喷嘴以及拆卸塔釜清理， 从而提高了工作效 率， 实用性强。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217662452 U 2022.10.28 CN 217662452 U 1.一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 包括塔体(1)、 水箱(2)， 所述塔体(1)固定设 置在水箱(2)的上方， 水箱(2)上连接有循环管(3)， 循环管(3)的一端设有喷淋头(5)， 循环 管(3)上设有循环泵(4)， 所述喷淋头(5)设置在塔体(1)内， 所述塔体(1)远离循环管(3)的 一侧设有清洗管(6)； 所述清洗管(6)内设有清洗组件(7)； 所述塔体(1)的下 方设有进气管(8)。 2.根据权利要求1所述的一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述清洗组件(7)包 括长管(9)、 喷嘴(10)、 软管(11)、 驱动组件， 所述长管(9)的一端与喷嘴(10)连接， 长管(9) 的另一端与软管(11)连接， 所述驱动组件设置在清洗管(6)的端部； 齿条(12)设置在长管 (9)的底部； 驱动组件与长管(9)上的齿条(12)啮合。 3.根据权利要求2所述的一种易清理 的尾气处理塔， 其特征在于： 所述驱动组件包括减 速电机(13)、 驱动齿轮(14)， 所述减速电机(13)的固定端 固定在清洗管(6)的端部， 减速电 机(13)的输出端与驱动齿轮(14)的中心轴连接； 所述驱动齿轮(14)设置在带齿条(12)的长管(9)的下 方。 4.根据权利要求1所述的一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述清洗管(6)上设 有安装孔(15)， 所述清洗管(6)的上方设有气缸(16)， 所述气缸(16)的输出轴连接有与安装 孔(15)配合的挡板(17)。 5.根据权利要求2所述的一种易清 理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述软管(11)上连接 有直管(30)， 直管(30)连接有水泵(19)， 水泵(19)与水源相连， 长管(9)的一侧设有支撑架 (18)。 6.根据权利要求1所述的一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述清洗管(6)内设 有若个支撑组件， 所述支撑组件包括支撑杆(20)、 滑轨(23)， 支撑杆(20)固定 设置在清洗管 (6)内， 齿条(12)能够 在滑轨(23)上滑动。 7.根据权利要求1所述的一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述塔体(1)的顶部 设有出气口(24)。 8.根据权利要求1所述的一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述水箱(2)的底部 设有底座(25)， 水箱(2)上设有进液管(26)， 所述水箱(2)的底部呈现锥体， 水箱(2)的底部 设有出液管(27)， 所述出 液管(27)上设有排污阀(28)。 9.根据权利要求1所述的一种易清理的尾气处理塔， 其特征在于： 所述水箱(2)内设有 过滤网(29)， 所述循环管(3)的一端设置在过 滤网(29)的下方。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217662452 U 2一种易清理的尾气处理塔 技术领域 [0001]本实用新型属于尾气处 理领域， 尤其是 涉及一种易清理的尾气处 理塔。 背景技术 [0002]四氟化硅可用于镁合金的浇筑， 在高温火焰下制造有大比表面积的热解二氧化硅 细粉； 可增强混凝土的耐腐蚀性、 耐磨性和压缩强度； 也可用来检验氟或者二氧化硅。 高纯 度的四氟化硅可用作半导体行业中的氮化硅和硅化钽的等离子刻蚀气体， 发光二极管P型 掺杂、 离子注入工艺、 外延扩散的硅源和光导纤维用的高纯石英玻璃的原料， 但是四氟化硅 的尾气处理过程中， 无论是用水吸收还是用碱液吸收都会产生一定量的粘稠物质， 从而堵 塞尾气处 理塔的喷淋头关键 部位。 [0003]目前传统喷淋塔对于四氟化硅尾气处理塔的固体杂质很难清除， 需要停机拆卸设 备， 对喷淋头进行清洗， 耗费的人力较多， 所以现有喷淋塔不 适用于四氟化硅尾气处 理。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 本实用新型旨在提出一种易清理的尾气处理塔， 以解决固体杂质很难 清除、 清理效率低的问题。 [0005]为达到上述目的， 本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种易清理的尾气处理塔， 包括塔体、 水箱， 所述塔体固定设置在水箱的上方， 水 箱上连接有循环管， 循环管的一端设有喷淋头， 循环管上设有循环泵， 所述喷淋头 设置在塔 体内， 所述塔体远离循环管的一侧设有清洗管； 所述清洗管内设有清洗组件； 塔身和水箱 为 分开结构， 容 易拆卸、 转移、 安装等， 塔 体依靠液封在水箱中， 能提高尾气吸 收效率。 [0007]所述塔体的下方设有进气管。 [0008]进一步的， 所述清洗组件包括长管、 喷嘴、 软管、 驱动组件， 所述带齿条的长管的一 端与喷嘴连接， 长管的另一端与软管连接， 所述驱动组件设置在清洗管的端部； 长管的底部 设有齿条； 驱动组件与长管 上的齿条啮合。 [0009]进一步的， 所述驱动组件包括减速电机、 驱动齿轮， 所述减速电机的固定端固定在 清洗管的端部， 减速电机的输出端与驱动齿轮的中心轴连接； [0010]所述驱动齿轮设置在带齿条的长管的下方。 减速电机与现有的控制器连接， 控制 器为现有的PLC技术。 通过控制器能够 控制电机的正转和反转， 使清洗组件的喷嘴能够进 行 往复运动， 能够对喷淋头进行清洗 。 [0011]进一步的， 所述清洗管上设有安装孔， 所述清洗管的上方设有气缸， 所述气缸的输 出轴连接有与安装孔配合的挡板， 当需要清洗时， 控制气缸带动挡板向上运动， 控制减速电 机进行正转和反转， 进而实现长管进行往复运动， 对喷淋头进行反复清洗， 打开水泵， 喷嘴 能够实现对喷淋头的清洗， 喷淋头的清洗效果好， 不需要人爬高拆卸喷嘴以及拆卸塔釜清 理， 当不需要清洗时， 控制气缸 带动挡板向下运动。 [0012]进一步的， 所述软管上连接有直管， 直管连接有水泵， 水泵与水源相 连， 长管的一说　明　书 1/4 页 3 CN 217662452 U 3