(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221630927.X (22)申请日 2022.06.27 (73)专利权人 南雄市毅豪化工有限公司 地址 512400 广东省韶关 市南雄市珠玑工 业园 (72)发明人 黎厚明　欧阳斌　 (74)专利代理 机构 湖南会挽 专利代理事务所 (普通合伙) 43286 专利代理师 周英妮 (51)Int.Cl. B01D 29/03(2006.01) B01D 29/56(2006.01) B01D 29/96(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于光刻胶生产的循环过滤装置 (57)摘要 本实用新型属于光刻胶领域， 尤其是一种用 于光刻胶生产的循环过滤装置， 针对现有的光刻 胶过滤仅是通过多层滤网进行过滤， 过滤效果 差， 如需再次过滤， 需要工人将过滤完成的胶水 再次倾倒至过滤装置内部， 不仅费时费力， 而且 效率低下的问题， 现提出如下方案， 其包括第一 箱体和第二箱 体， 所述第一箱 体和第二箱体相互 靠近的一侧均开设有相连通的第一通孔， 所述第 一箱体和第二箱体相互靠近的一侧均开设有相 连通的第二通孔， 本实用新型中， 通过设置过滤 组件可以实现基本的过滤功能， 同时可以轻松改 变滤网的数量， 通过驱动组件可以将过滤后的胶 水进行再次过滤， 提升过滤效果， 同时不需要人 工搬运， 减少工人的工作量。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217526548 U 2022.10.04 CN 217526548 U 1.一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 包括第一箱体(1)和第二箱体(4)， 其特征在 于， 所述第一箱体(1)和第二箱体(4)相互靠近的一侧均开设有相连通的第一通孔(16)， 所 述第一箱体(1)和第二箱体(4)相互靠近的一侧均开设有相连通的第二通孔(21)， 所述第二 箱体(4)的底部固定连接有支撑杆(6)， 所述第二箱体(4)的顶部固定连通有进料漏斗(3)， 所述第二箱体(4)的内部设置有用于过 滤胶水的过 滤组件； 所述第一箱体(1)的内部滑动连接有滑动板(23)， 所述滑动板(23)的顶部固定连接有 第二三角板(24)， 所述第二三角板(24)的顶部转动 连接有丝杆(14)， 所述丝杆(14)的顶部 螺纹贯穿第一箱体(1)， 所述第一箱体(1)的顶部设置有用于驱动丝杆(14)转动的驱动组 件。 2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 其特征在于， 所述过滤 组件包括分别固定连接在第二箱体(4)两侧内壁的多个固定块(17)， 所述固定块(17)的一 侧开设有卡槽(19)， 相对应的两个所述 卡槽(19)的内部卡 合有同一个滤网(18)。 3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 其特征在于， 所述驱动 组件包括固定连接在第一箱体(1)顶部的U型板(2)， 所述U型板(2)的底部固定连接有伺服 电机(13)， 所述伺服电机(13)的输出轴固定连接有转轴(11)， 所述转轴(11)的底部固定连 接有第一齿轮(12)， 所述第一箱体(1)的顶部转动连接有与第一齿轮(12)相啮合的第二齿 轮(15)， 所述丝杆(14)滑动贯 穿第二齿轮(15)。 4.根据权利要求1 ‑3任意一项所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 其特征在 于， 所述第二箱体(4)的一侧铰接有箱门(5)， 所述箱门(5)的一侧固定连接有挂钩(9)， 所述 第一箱体(1)的一侧固定连接有与挂钩(9)配合使用的搭扣(10)。 5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 其特征在于， 所述第 二 箱体(4)的底部内壁固定连接有第一三角板(20)， 所述第一箱体(1)的一侧内壁固定连接有 密封板(25)， 所述第二箱体(4)的底部固定连通有出液管(8)， 所述出液管(8)上设置有阀门 (7)。 6.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 其特征在于， 所述第 一 箱体(1)的一侧内壁滑动连接有挡板(22)， 所述挡板(22)与滑动板(23)的一侧相抵触， 所述 挡板(22)的底部固定连接有横板(26)， 所述横板(26)的底部与第一箱体(1)的底部内壁之 间固定连接有同一个压簧(27)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217526548 U 2一种用于光刻胶生产的循环过滤装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及光刻胶技术领域， 尤其涉及一种用于光刻胶生产的循环过滤装 置。 背景技术 [0002]光刻胶又称光致抗蚀剂， 是指通过紫外光、 电子束、 离子束、 X射线等的照射或辐 射， 其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。 由感光树脂、 增感剂和溶剂3种主要成分组成 的对光敏感的混合液体。 在光刻工艺过程中， 用作抗腐蚀涂层材料。 半导体材料在表面加工 时， 若采用适当的有选择性的光刻胶， 可在表面上得到所需的图像。 光刻胶按其形成的图像 分类有正 性、 负性两大类。 [0003]光刻胶在生产时需要进行过滤， 现有的光刻胶过滤存在以下缺陷： 1.仅是通过多 层滤网进 行过滤， 过滤效果差； 2.如需再次过滤， 需要工人将过滤完成的胶水再次倾倒至过 滤装置内部， 不仅费时费力， 而且效率低下， 所以我们提出一种用于光刻胶生产的循环过滤 装置， 用以解决上述所提到的问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的光刻胶过滤仅是通过多层滤网 进行过滤， 过滤效果差， 如需再次过滤， 需要工人将过滤完成的胶水再次倾倒至过滤装置内 部， 不仅费时费力， 而且效率低下的缺 点， 而提出的一种用于光刻 胶生产的循环过 滤装置。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种用于光刻胶生产的循环过滤装置， 包括第一箱体和第二箱体， 所述第一箱体 和第二箱体相互靠近的一侧均开设有相连通的第一通孔， 所述第一箱体和 第二箱体相互靠 近的一侧均开设有相连通的第二通孔， 所述第二箱体的底部固定连接有支撑杆， 所述第二 箱体的顶部固定连通有 进料漏斗， 所述第二箱体的内部设置有用于过 滤胶水的过 滤组件； [0007]所述第一箱体的内部滑动连接有滑动板， 所述滑动板的顶部固定连接有第二三角 板， 所述第二三角板的顶部转动连接有丝杆， 所述丝杆的顶部螺纹贯穿第一箱体， 所述第一 箱体的顶部设置有用于驱动丝杆转动的驱动组件。 [0008]优选地， 所述过滤组件包括分别固定连接在第二箱体两侧内壁的多个固定块， 所 述固定块的一侧 开设有卡槽， 相对应的两个所述卡槽的内部卡合有同一个滤网， 用于过滤 胶水。 [0009]优选地， 所述驱动组件包括固定连接在第一箱体顶部的U型板， 所述U型板 的底部 固定连接有伺服电机， 所述伺服电机的输出轴固定连接有转轴， 所述转轴的底部固定连接 有第一齿轮， 所述第一箱体的顶部转动连接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮， 所述丝杆滑 动贯穿第二齿轮， 用于驱动丝杆转动。 [0010]优选地， 所述第二箱体的一侧铰接有箱门， 所述箱门的一侧固定连接有挂钩， 所述 第一箱体的一侧固定连接有与挂钩配合使用的搭扣， 用于更 换滤网。说　明　书 1/4 页 3 CN 217526548 U 3