(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221991717.3 (22)申请日 2022.07.31 (73)专利权人 东莞市能宏塑胶制品有限公司 地址 523000 广东省东莞 市常平镇卢屋三 联路129号101室 (72)发明人 于长峰　 (74)专利代理 机构 佛山知正知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 44483 专利代理师 王海燕 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆盒制造用清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆盒制造用清洗 装置， 包括底框、 顶框和安装架， 底框的底端设置 有排液口， 底框的内部设置有摆放结构， 底框的 上方设置有顶框， 底框的两侧均安装有调节结 构， 顶框内部的顶端固定连接有安装架， 安装架 的底端安装有清洁机构， 驱动电机固定连接于顶 框顶端的一侧。 本实用新型通过设置有清洁机 构， 随着驱动电机的启动使其通过皮带传动结构 同时带动若干传动杆进行转动， 进而使毛刷棒对 晶圆盒内壁进行旋转清洁， 于此同时将清洗液通 过注水口注入导水管的内部， 并由清洗喷头向晶 圆盒方向喷洒， 使晶圆盒在清洗喷头与毛刷棒的 双重清洁下更加干净， 实现了提高该装置的清洗 便捷性。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217748343 U 2022.11.08 CN 217748343 U 1.一种晶圆盒制造用清洗装置， 包括底框(1)、 顶框(4)和安装架(5)， 其特征在于： 所述 底框(1)的底端设置有排液口(2)， 所述底框(1)的内部设置有摆放结构(3)， 所述底框(1)的 上方设置有顶框(4)， 所述底框(1)的两侧均安装有调节结构(7)； 所述顶框(4)内部的顶端固定连接有安装架(5)； 所述安装架(5)的底端安装有清洁机构(6)， 所述清洁机构(6)包括驱动电机(601)、 皮 带传动结构( 602)、 注水口( 603)、 导水管( 604)、 清洗喷头(605 )、 传动杆( 606)和毛刷棒 (607)， 所述驱动电机(6 01)固定连接 于顶框(4)顶端的一侧。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒制造用清洗装置， 其特征在于： 所述摆放结构(3) 包括挡环( 301)、 限位插杆( 302)、 承载框( 303)、 限位孔(304)和限位架(305)， 所述挡环 (301)固定连接于底框(1)内侧壁的顶端， 所述挡环(301)的顶端固定连接有限位插杆 (302)， 所述挡环(301)的顶部安装有承载框(303)， 所述承载框(303)顶端内部的外侧设置 有限位孔(304)， 所述承载框(3 03)的内部镶嵌有限位架(3 05)。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒制造用清洗装置， 其特征在于： 所述限位插杆 (302)与限位 孔(304)内部之间呈镶嵌结构， 所述承载框(3 03)位于底框(1)的中间位置处。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒制造用清洗装置， 其特征在于： 所述驱动电机 (601)的底端延伸至顶框(4)的内部且与皮带传动结构(602)的顶端固定连接， 所述顶框(4) 顶端的另一侧设置有注水口(603)， 所述注水口(603)的底端延伸至顶框(4)的内部且与导 水管(604)顶端的一侧固定连接， 所述导水管(604)的底端设置有清洗喷头(605)， 所述皮带 传动结构(602)的底端贯穿至安装架(5)的底端且与传动杆(606)的顶端固定连接， 所述传 动杆(606)外侧壁的底端安装有 毛刷棒(6 07)。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒制造用清洗装置， 其特征在于： 所述清洗喷头 (605)在导水管(604)的底端呈等间距分布， 所述传动杆(606)与毛刷棒(607)内部之间呈镶 嵌结构。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒制造用清洗装置， 其特征在于： 所述调节结构(7) 包括支撑板(701)、 伺服电机(702)、 传动螺杆(703)、 螺纹套(704)、 滑套(705)和滑杆(706)， 所述支撑板(701)固定连接于底框(1)的一端， 所述支撑板(701)的底端固定连接有伺服电 机(702)， 所述伺服电机(702)的顶端延伸至支撑板(701)的顶端且与传动螺杆(703)的底端 固定连接， 所述顶框(4)的一端固定连接有螺纹套(704)， 所述顶框(4)的两侧均固定连接有 滑套(705)， 所述底框(1)的两侧均固定连接有滑杆(70 6)。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆盒制造用清洗装置， 其特征在于： 所述传动螺杆 (703)与螺纹套(704)内部之间呈螺纹连接结构， 所述滑套(705)与滑杆(706)内部之间呈滑 动结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217748343 U 2一种晶圆盒制造用清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆盒清洗技 术领域， 特别涉及一种晶圆盒制造用清洗装置 。 背景技术 [0002]在半导体生产或运输时由于半导体整体质地较为脆弱， 为 防止其出现损坏， 往往 会将其装载在专用的晶圆盒 中进行暂存， 而为防止晶圆盒内部在生产制造时残存污垢对半 导体产生影响， 因此在晶圆盒生产制造后往 往需使用专用的清洗装置对其进行有效清洗； [0003]为此， 公开号为CN208840147U的专利 说明书中公开了一种晶圆装载盒清洗装置， 包括： 清洗槽， 置物架， 位于所述清洗槽内， 用于放置晶圆装载盒； 磁驱动部件， 安装于所述 清洗槽外， 用于产生磁场； 磁悬浮转子， 用于放置于晶圆装载盒内， 在受所述磁驱动部件产 生的磁场驱动下能够进行转动。 所述晶圆装载盒清洗装置具有较好的清洗效果。 [0004]上述清洗装置在进行清洗时其内部结构较为复杂， 且过多的精密零件使得该清洗 装置使用成本大 大提高， 对于小微企业 来说实用性并不理想 。 实用新型内容 [0005](一)要解决的技 术问题 [0006]本实用新型的目的是提供一种晶圆盒制造用清洗装置， 用以解决上述清洗装置内 部结构较为复杂使用成本较高的缺陷。 [0007](二)实用新型内容 [0008]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供如下技术方案： 一种晶圆盒制造用清洗 装置， 包括底框、 顶框和安装架， 所述底框的底端设置有排液口， 所述底框的内部设置有摆 放结构， 所述底框的上方设置有顶框， 所述底框的两侧均安装有调节结构， 所述顶框内部的 顶端固定连接有安装架， 所述安装架的底端安装有清洁机构， 所述清洁机构包括驱动电机、 皮带传动结构、 注水口、 导水管、 清洗喷头、 传动杆和毛刷棒， 所述驱动电机固定连接于顶框 顶端的一侧。 [0009]优选的。 所述摆放结构包括挡环、 限位插杆、 承载框、 限位孔和限位架， 所述挡环固 定连接于底框内侧 壁的顶端， 所述挡环的顶端固定连接有限位插杆， 所述挡环的顶部安装 有承载框， 所述承载框顶端内部的外侧设置有限位 孔， 所述承载框的内部镶嵌有限位架。 [0010]优选的。 所述限位插杆与限位孔内部之间呈镶嵌结构， 所述承载框位于底框 的中 间位置处， 以此使承载框内部晶圆盒得以平整清洁。 [0011]优选的。 所述驱动电机的底端延伸至顶框的内部且与皮带传动结构的顶端固定连 接， 所述顶框顶端的另一侧设置有注水 口， 所述注水 口的底端延伸至顶框的内部且与导水 管顶端的一侧固定连接， 所述导水管 的底端设置有清洗 喷头， 所述皮带传动结构的底端贯 穿至安装架的底端且与传动杆的顶端固定连接， 所述传动杆外侧壁的底端安装有 毛刷棒。 [0012]优选的。 所述清洗喷头在导水管的底端呈等间距分布， 所述传动杆与毛刷 棒内部 之间呈镶嵌结构， 以此使 毛刷棒可进行 更换。说　明　书 1/4 页 3 CN 217748343 U 3