(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221526059.0 (22)申请日 2022.06.17 (73)专利权人 大连恒坤新材 料有限公司 地址 116000 辽宁省大连市金普新区古耕 国际商务大厦15 03室 (72)发明人 张锋　张强　 (74)专利代理 机构 大连至诚专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 21242 专利代理师 杜广虎　丁莉丽 (51)Int.Cl. B01J 19/00(2006.01) B01D 29/56(2006.01) B01D 29/11(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 35/16(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于氨基 硅烷制备的易拆 洗过滤装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于氨基硅烷制备 的易拆洗过滤装置， 包括过滤釜结构， 过滤釜结 构包括： 过滤釜筒体， 过滤釜封盖， 釜体法兰接 头， 砂芯滤板， 进料口， 滤液出口， 滤袋； 过滤釜结 构上部为过滤釜筒体， 下部为滤液出口， 过滤釜 筒体与滤液出口通过釜体 法兰接头连接； 釜体 法 兰接头包括筒体 法兰和出口法兰， 筒体 法兰设在 过滤釜筒体下部， 出口法兰设在滤液出口上部， 砂芯滤板安装在出口法兰的凹槽上； 过滤釜筒体 与过滤釜封盖通过易拆卸连接结构连接， 过滤釜 筒体上部开口处内壁固定有安装 滤袋的挂钩， 过 滤釜封盖 上设有惰性气体置换管、 清洗溶剂管路 和进料口。 本实用新型避免了空气对反应的影 响， 使副产物便于清除， 过滤釜结构整体易拆卸 和清洗。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217527432 U 2022.10.04 CN 217527432 U 1.一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 包括过滤釜结构， 所述过滤 釜结构包括： 过滤釜筒体(1)， 过滤釜封盖(2)， 釜体 法兰接头(3)， 砂芯滤板(4)， 进料口(5)， 滤液出口(6)， 滤袋(7)； 所述过滤釜结构上部为过滤釜筒体(1)， 釜体下部为滤液出口(6)， 所述过滤釜筒体(1) 与所述滤 液出口(6)通过釜体法兰接 头(3)连接； 所述釜体法兰接头(3)包括筒体法兰和出口法兰， 所述筒体法兰设在过滤釜筒体(1)下 部， 所述出口法兰设在滤液出口(6)上部， 所述砂芯滤板(4)安装在所述出口法兰的凹槽上， 所述筒体法兰和所述出口法兰通过釜体法兰接 头卡扣(3 ‑1)连接； 所述过滤釜筒体(1)与过滤釜封盖(2)通过易拆卸连接结构连接， 所述过滤釜筒体(1) 上部开口处内侧筒壁固定有用于安装滤袋(7)的挂钩(1 ‑1)， 所述过滤釜封盖(2)上方设有 惰性气体置换 管(2‑1)、 清洗溶剂管路(2 ‑2)和进料口(5)。 2.根据权利要求1所述的一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 所述 挂钩(1‑1)围绕所述过 滤釜筒体(1)的内侧筒壁周向均匀设置 。 3.根据权利要求1所述的一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 所述 惰性气体置换 管(2‑1)上设有三 通阀， 分别连接真空系统和惰性气体系统的管路。 4.根据权利要求1所述的一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 所述 过滤釜筒体(1)外侧设置有夹层结构(1 ‑2)， 所述夹层结构(1 ‑2)设置有冷热媒进口(1 ‑3)和 冷热媒出口(1 ‑4)。 5.根据权利要求1所述的一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 所述 滤袋(7)展开为圆筒状， 由下部袋体(7 ‑1)及上部袋口(7 ‑2)组成， 所述下部袋体(7 ‑1)展开 时的直径大于过滤釜筒体(1)直径， 便于展开时完全贴于过滤釜筒体(1)筒壁， 所述上部袋 口(7‑2)外径等于过滤釜筒体(1)内侧筒壁内径， 所述上部袋口(7 ‑2)设有与挂钩(1 ‑1)相适 配的通孔。 6.根据权利要求1所述的一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 所述 进料口(5)上设置易拆卸连接结构， 所述滤 液出口(6)上设置有VCR接口(J3)。 7.根据权利要求1所述的一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 其特征在于， 所述 过滤釜筒体(1)外侧设置的夹层结构(1 ‑2)上有过 滤釜支撑(1 ‑5)， 用于支撑过 滤釜结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217527432 U 2一种用于氨基 硅烷制备的易拆洗过滤装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及化工设备领域， 尤其涉及 一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装 置。 背景技术 [0002]硅基前驱体是先进集成电路核心材料领域研究的热点之一， 其主要用于选择性外 延生长SiGe薄膜， CVD和ALD生长不同用途的氮 化硅、 氧化硅、 低介电常数和高介电常数薄膜 材料等。 随着半导体技术的持续 发展， 硅基前驱体材料成为集成电路工艺 发展的关键， 材料 的纯度直接影 响芯片的质量和性能。 氨基硅烷， 例如双(叔丁氨基)硅烷(B TBAS)、 双(二乙氨 基)硅烷(BD EAS)， 为目前业界较为流行的一类先进硅基前驱体材料， 其制备过程为： 惰性气 氛下， 二氯硅烷和胺原料在无水溶剂 中反应， 生成相 应的产物氨基硅烷和副产物胺盐酸盐 固体， 产物溶解于溶剂中， 然后通过过滤将胺盐酸盐固体去除。 氨基硅烷在空气中可水解变 质， 整个过程中 需在无水条件下进行。 [0003]过滤是在推动力或者其他外力作用下悬浮液或含固体颗粒发热气体中的液体或 气体透过介质， 固体颗粒及其他物质被过滤介质截留， 从而使固体及其他物质与液体或气 体分离的操作。 实现过滤操作的外力有重力、 压力、 离心力， 化工中应用最多的是压力过滤， 其中减压过滤可加速过滤过程， 并且滤出的固体容易干燥， 固液分离比较安全。 现有的过滤 装置多为大化工产品生产装置， 过滤过程中不可避免与 空气接触， 过滤后的固体物料不易 从釜内清除， 且拆洗也较为繁琐。 发明内容 [0004]本实用新型提供一种用于氨基硅烷制备的易拆洗过滤装置， 以克服过滤过程中不 可避免与空气接触， 过 滤后的固体物料不 易从釜内清除， 且拆洗也较为繁琐的技 术问题。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型的技 术方案是： [0006]本实用新型提供一种用于氨基硅烷制 备的易拆洗过滤装置， 包括过滤釜结构， 所 述过滤釜结构包括： 过滤釜筒体， 过滤釜封盖， 釜体法兰接头， 砂芯滤板， 进 料口， 滤液出口， 滤袋； [0007]所述过滤釜结构上部为过滤釜筒体， 釜体下部为滤液出口， 所述过滤釜筒体与所 述滤液出 口通过釜体法兰接头连接， 所述釜体法兰接头包括筒体法兰和出 口法兰， 所述筒 体法兰设在过滤釜筒体下部， 所述出 口法兰设在滤液出 口上部， 所述砂芯滤板安装在所述 出口法兰的凹槽上， 所述筒体法兰和所述出 口法兰通过釜体法兰接头卡扣连接， 所述过滤 釜筒体与过滤釜封盖通过易拆卸连接结构连接， 所述过滤釜筒体上部开口处内侧筒壁固定 有用于安装滤袋的挂钩， 所述过滤釜封盖上方设有惰性气体置换管、 清洗溶剂管路和进料 口。 [0008]进一步的， 所述 挂钩围绕所述过 滤釜筒体的内侧筒壁周向均匀设置 。 [0009]进一步的， 所述过滤釜筒体外侧 设置有夹层结构， 所述夹层结构设置有冷热媒进说　明　书 1/4 页 3 CN 217527432 U 3