(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222295993.2 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人 安徽富乐德科技发展股份有限公 司 地址 244000 安徽省铜陵市金桥经济开发 区 (72)发明人 王圣福　贺贤汉　张正伟　李帅雨　 束磊　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种OLED掩膜版Open   Mask表面清洗装置， 涉及到掩膜版Open  Mask部 件清洗技术领域， 包括清洗桶以及安装于所述清 洗桶排料管上的阀门， 所述清洗桶上固定连接有 安装架， 且所述安装架上固定连接有动力缸， 还 包括用于承 载掩膜版的若干个放置单元、 与若干 个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和 同时带动若干个所述顶起单元上下运动的驱动 单元。 本实用新型结构合理， 设置放置单元、 驱动 单元和顶 起单元， 可通过驱动单元和顶起单元的 配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速 上下运动， 可使得掩膜版Open  Mask部件外表面 能够与清洗液全面接触， 可避免对掩膜版Open   Mask部件产生清洗 死角， 有利于对掩膜版的Open   Mask部件的彻底 清洗。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217911924 U 2022.11.29 CN 217911924 U 1.一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 包括清洗桶 （1） 以及安装于所述清洗桶 （1） 排料管上的阀门 （10） ， 其特征在于： 所述清洗桶 （1） 上固定连接有安装架 （2） ， 且所述安 装架 （2） 上固定连接有动力缸 （3） ， 还包括用于承 载掩膜版的若干个放置单元 （7） 、 与若干个 所述放置单元 （7） 对应 设置的若干个顶 起单元 （8） 和同时带动若干个所述顶 起单元 （8） 上下 运动的驱动单 元 （4） ； 所述动力缸 （3） 的输出端贯穿所述安装架 （2） 并与所述驱动单元 （4） 固定连接， 所述驱 动单元 （4） 用于带动所述驱动单元 （4） 、 若干个放置单元 （7） 和若干个放置单元整体进行向 下或向上的运动， 以方便实现掩膜版做进 出清洗液的运动， 所述顶 起单元 （8） 配合所述掩膜 版自身重力的作用带动所述掩膜版做间隙性的上 下运动。 2.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 其特征在于： 所述 驱动单元 （4） 包括固定连接于所述动力缸 （3） 输出端的低速电机 （41） ， 所述低速电机 （41） 的 输出轴下端固定连接有驱动环 （42） ， 所述驱动环 （42） 的外壁上开设有与所述顶起单元 （8） 相适配的波浪形滑槽 （43） ， 所述波浪形滑槽 （43） 首尾相连， 所述低速电机 （41） 的外壳固定 连接在用于密封所述清洗桶 （1） 开口的密封板 （5） 上， 所述低速电机 （4 1） 的输出轴穿过所述 密封板 （5） 轴心处设有的通孔， 若干个所述若干个放置单元 （7） 均呈圆周固定连接于所述密 封板 （5） 的下端。 3.根据权利要求2所述的一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 其特征在于： 所述 若干个放置单元 （7） 包括上端与所述密封板 （5） 下端固定连接的两个立柱 （71） ， 两个所述立 柱 （71） 的下端均固定连接在安装环 （6） 上， 两个所述立柱 （71） 上均固定连接有若干个U形限 位板 （72） ， 位于同侧若干个所述U形限位板 （72） 从上至下呈一字排列， 位于最下方所述U形 限位板 （72） 的U形腔内固定连接有支撑圆柱 （73） ， 所述掩膜版限位在两侧所述U形限位板 （72） 形成的限位腔内， 并通过支撑圆柱 （73） 对所述掩膜版的底部形成支撑， 若干个所述顶 起单元 （8） 均安装在所述 安装环 （6） 上。 4.根据权利要求3所述的一种OLED掩膜版Op en Mask表面清洗装置， 其特征在于： 所述U 形限位板 （72） 的U形腔的三个内面上均活动安装有至少一个万向滚珠 （74） 。 5.根据权利要求3或4所述的一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 其特征在于： 所 述顶起单元 （8） 包括下端穿过所述安装环 （6） 上开设的方形孔的方形限位杆 （81） ， 所述方形 限位杆 （81） 的上端固定连接有 连接杆 （82） ， 所述连接杆 （82） 的纵向杆头上固定连接有顶 起 块 （84） ， 且所述顶起块 （84） 位于所述掩膜版的正下方， 并与所述掩膜版的底部隔开一段距 离， 所述连接杆 （82） 的横向杆头上固定连接有驱动杆 （83） ， 且所述驱动杆 （83） 的端头滑动 设置在所述波浪形滑槽 （43） 内腔。 6.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 其特征在于： 所述 清洗桶 （1） 的内腔底部为漏斗形结构， 所述清洗桶 （1） 的底部 贴合安装有与外接超声波发生 器电性连接的超声波振板 （9） ， 所述超声波振板 （9） 的上端面与所述清洗桶 （1） 的内腔底部 斜面一致。 7.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 其特征在于： 所述 动力缸 （3） 为气缸、 电动伸缩杆或液压缸中的任意 一种。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217911924 U 2一种OLED掩膜版O pen Mask表面清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及掩膜版Open  Mask清洗技术领域， 特别涉及一种OLED掩膜版Open   Mask表面清洗装置 。 背景技术 [0002]OLED显示技术作为国际上一种新型的且蓬勃发展的显示技术， 尤其是在OLED 面板 生产过程中的真空蒸镀工艺， 是整个OLED工艺制程中的核心和目前的技术发展瓶颈所在。 在OLED真空蒸镀工艺中， 一般 分为有机材料、 金属材料和无机化合物材料的蒸镀， 其中OLED 蒸镀掩膜版Open  Mask是该制程的关键治具， 该掩膜版用于控制 有机材料沉积在玻璃基板 上的位置， 从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案， 用于限定蒸镀范围， 长时间使用后 掩膜版Open  Mask表面会沉积一层镀膜， 达到一定厚度后会有脱落风险， 从而影响OLED蒸镀 的质量， 需要定期利用溶剂对掩膜版进行清洗以溶解去除其上镀膜， 再利用纯水或离子水 清洗去除掩膜版 上的溶剂， 最后利用烘干箱将掩膜版烘干 。 [0003]例如专利申请号为  CN201721009862.6  的中国专利公布了一种掩膜 版清洗装置， 由其内容可知其专利中包含有用于固定掩膜版的掩膜版夹具， 该夹具 的四角还设有压块， 在使用时利用压块将将掩膜版固定在掩膜版夹具上， 由此可知， 其掩膜版必然与压块以及 掩膜版夹具之 间存在相贴合的接触面， 导致掩膜版上的此接触面无法与 清洗液进 行很好地 接触， 将容易导致掩膜版清洗不够彻底， 因此， 本申请提供了一种OLED掩膜版Open  Mask表 面清洗装置来满足需求。 实用新型内容 [0004]本申请的目的在 于提供一种OLED掩膜版Open  Mask表面清洗装置， 设置放置单元、 驱动单元和顶起单元， 可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜 版 进行低速上下运动， 可使 得掩膜版Open  Mask部件外表 面能够与清洗液全面接触， 可避免对 掩膜版Open  Mask部件产生清洗死角， 有利于对 掩膜版的Open  Mask部件的彻底 清洗。 [0005]为实现上述目的， 本申请 提供如下技术方案： 一种OLED掩膜 版Open Mask表面清洗 装置， 包括清洗桶以及安装于所述清洗桶排料管上 的阀门， 所述清洗桶上固定连接有安装 架， 且所述安装架上固定连接有动力缸， 还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元、 与若干 个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和同时带动若干个所述顶起单元上下运动的 驱动单元； [0006]所述动力缸的输出端贯穿所述安装架并与所述驱动单元固定连接， 所述驱动单元 用于带动所述驱动单元、 若干个放置单元和若干个放置单元整体进行向下或向上 的运动， 以方便实现掩膜 版做进出清洗液的运动， 所述顶 起单元配合所述掩膜版自身重力的作用带 动所述掩膜版做间隙性的上 下运动。 [0007]优选的， 所述驱动单元包括固定连接于所述动力缸输出端的低速电机， 所述低速 电机的输出轴下端固定连接有驱动环， 所述驱动环的外壁上开设有与所述顶起单元相适配说　明　书 1/4 页 3 CN 217911924 U 3