GB-T 1558-2009 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

ICS 29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 GB/T1558-2009 代替GB/T1558—1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption 2009-10-30发布 2010-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T 1558—2009 前言本标准修改采用SEMIMF1391-0704《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。本标准与SEMIMF1391-0704的主要差异如下： -本标准在结构上主要依照我国国标编制格式，与SEMIMF1391-0704有所不同；本标准未引用“偏差”“关键词”两章内容。本标准代替GB/T1558一1997《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》。本标准与原标准相比主要有以下变化： -对测量的碳原子含量有效范围进行了修改，室温下从硅中代位碳原子含量5×101sat·cm-3 (0.1ppma)到碳原子的最大溶解度，77K时检测下限为5×10l*at·cm-3(0.01ppma）；补充了“术语”、“于扰因素”"报告”三章；在“操作步骤”中增加了“仪器检查”内容。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨媚半导体材料厂。本标准主要起草人：何秀坤、李静、段曙光、梁洪。本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T1558—1979,GB/T1558—1997。 I

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