ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T25496—2010 代替GB/T9506.9—1988,GB/T9506.10—1988,GB/T6626.4—1986,GB/T9506.11—1988 吸 气剂机械性能测试方法 Testmethodsforthemechanicalpropertiesofgetters 2010-12-01发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准是将以下标准整合后进行修订的: ———GB/T9506.9—1988《吸气剂装载量测试方法》; ———GB/T9506.10—1988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》; ———GB/T6626.4—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》; ———GB/T9506.11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。 本标准与原标准相比主要变化如下: ———在规范性引用中增加对GB/T4314《吸气剂术语》的引用; ———将烧结型吸气剂的牢固度测试方法由跌落失重法更改为振动失重法; ———增加用于CCFL的带状吸气剂牢固度测试方法; ———焊接强度测试增加拉力试验器的测试方法; ———增加吸气剂压制密度均匀性测试方法; ———根据GB/T1.1—2000的要求进行格式修订。 本标准代替下列标准: ———GB/T9506.9—1988《吸气剂装载量测试方法》; ———GB/T9506.10—1988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》; ———GB/T6626.4—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》; ———GB/T9506.11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。 本标准的附录A是规范性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国 电子科技集团公司第十二研究所。 本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: ———GB/T9506.9—1988; ———GB/T9506.10—1988; ———GB/T6626.4—1986; ———GB/T9506.11—1988。 ⅠGB/T25496—2010 吸气剂机械性能测试方法 1 范围 本标准规定了吸气剂装载量、吸气剂压制或烧结固度、吸气剂载体与支架焊接强度、吸气剂压制密 度均匀性等吸气剂机械性能测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T4314 吸气剂术语 3 术语 GB/T4314所确定的术语和定义适用于本标准。 4 吸气剂装载量测试方法 4.1 原理 采用直接称重法或差重法。 4.2 仪器 分析天平(精度为0.1mg)。 4.3 测试步骤 4.3.1 无载体的试样 用分析天平直接称量试样(精确到0.1mg)。 4.3.2 有载体的试样 用分析天平称试样的重量,然后剥去试样上的载料,再用分析天平称吸气剂载体的重量(均精确到 0.1mg)。 4.4 数据处理 4.4.1 装载量的计算 4.4.1.1 无载体试样 直接由分析天平称出的量即为装载量Wd(mg)。 4.4.1.2 有载体试样 装载量按(1)式计算: Wd=Wi-Wt …………………………(1) 式中: Wd———装载量,mg; Wi———试样重量,mg; Wt———载体重量,mg。 1GB/T25496—2010 4.4.2 装载量一致性的计算 4.4.2.1 平均装载量 平均装载量按(2)式计算: 췍Wd=∑n i=1Wdi n…………………………(2) 式中: 췍Wd———平均装载量,mg; Wdi———第i个试样的装载量,mg; n———试样个数(n>9)。 4.4.2.2 装载量的标准偏差 装载量的标准偏差按(3)式计算: σWd=∑n i=1(Wdi-췍Wd)2 n-1…………………………(3) 式中: σWd———装载量的标准偏差,mg; 췍Wd———平均装载量,mg; Wdi———第i个试样的装载量,mg; n———试样个数(n>9)。 4.5 测试报告 测试报告形式如表1所示。 表1 吸气剂装载量的测试报告 序号 吸气剂型号装载量Wd mg平均装载量췍Wd mg装载量标准偏差σWd mg 4.6 主要误差来源 4.6.1 分析天平的零点漂移和精度。 4.6.2 载料剥离的干净程度。 5 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法 5.1 原理 采用差重法测试失重量,即利用试样在震动或弯曲试验前后所出现的重量差额来表征吸气剂的总 体压制或烧结牢固度。 5.2 设备 a) 分析天平:精度为0.1mg; b) 弯曲试验机; c) 振动试验台; d) 切割机。 5.3 测试步骤 5.3.1 单个成品试样 5.3.1.1 压制试样 将一个试样装粉面朝下,从规定高度处自由落于水平放置的具有纯白色底色的干净玻璃板上,根据 2GB/T25496—2010 试样跌落前后的重量,计算出失重量。 不同重量压制试样的跌落高度见表2。 表2 不同重量的压制试样跌落高度 试样重量范围/mg ≤400 400~800 ≥800 跌落高度/cm 150 100 50 5.3.1.2 烧结试样 所有试样称重后,分别放入用隔板分割为正方形区域的80目筛网中,分割区域的面积为烧结型试 样最大垂直投影面积的(9~10)倍。以38Hz,振幅1.2mm的条件下振动40min后,再次分别称重试 样,计算出失重量。 5.3.2 用于CCFL的带状吸气剂 5.3.2.1 从待测剂带上剪下(25±0.1)cm长的试样,用分析天平称重。 5.3.2.2 将试样剂带插入切割机(如图1所示),切10片1.5mm长度的吸气剂片下来(如果为单面 带,将有粉的一面向上)。 5.3.2.3 将切割下的试样与剩余试样放入50目的标准筛网中轻轻筛动,去除剥落的粉末。 5.3.2.4 用分析天平称重,测量其失重量。 图1 切割机示意图 5.3.3 其他用途成卷带状试样 5.3.3.1 从待测剂带上剪下(25±0.1)cm长的试样,用分析天平称重。 5.3.3.2 将试样剂带插入“弯曲试验机”(如图2所示),使手柄A和B都处于“开”的位置(试样若为双 面压结带,插入试样时,如有钛汞合金粉层,则钛汞合金粉层应面向曲杆,试样若为单面压结带,无粉的 一面应面向曲杆)。 图2 弯曲试验机示意图 3GB/T25496—2010 5.3.3.3 转动手柄A,以夹紧试样带。 5.3.3.4 慢慢转动手柄B,使剂带绕直径为8mm的曲杆弯曲。 5.3.3.5 继续转动手柄B,直到为固定弹簧所固定为止(如图3所示)。 图3 弯曲方法示意图 5.3.3.6 转动手柄A,打到“开”的位置,松开试样带,用镊子小心地把试样带从处于绷紧位置的手柄B 中取出(如图4所示)。 图4 取出试样方法示意图 5.3.3.7 拿住试样的两头,轻微拉开,观察试样弯曲后粉层变化情况(如图5所示)。试样无5倍放大 镜观察可见的粉末脱落为合格。 图5 观察试样方法示意图 4GB/T25496—2010 5.3.3.8 用分析天平再次称重。根据试样检测前后的重量算出失重,即掉粉量(m)。 5.4 数据处理 5.4.1 失重量 失重量按(4)式计算: ΔW=Wi-Wt …………………………(4) 式中: ΔW———试样的失重量,mg; Wi———试样测试前的重量,mg; Wt———试样测试后的重量,mg。 5.4.2 平均失重量 平均失重量按(5)式计算: Δ췍W=∑n i=1ΔWi n…………………………(5) 式中: Δ췍W———试样的平均失重量,mg; ΔWi———第i个试样的失重量,mg; n———试样个数(n>9)。 5.4.3 失重量的标准偏差 失重量的标准偏差按(6)式计算: σΔW=∑n i=1(ΔWi-Δ췍W)2 n-1…………………………(6) 式中: σΔW———试样失重量的标准偏差,mg; Δ췍W———试样的平均失重量,mg; ΔWi———第i个试样的失重量,mg; n———试样个数(n>9)。 5.4.4 最大失重量 n个试样中掉粉量(失重量)最大的数值就是试样的最大失重量。用符号ΔWm表示,单位为mg。 5.4.5 平均失重率 平均失重率按(7)式计算: γΔW(%)=Δ췍W 췍Wd×100 …………………………(7) 式中: γΔW———试样的平均失重率,%; 췍Wd———试样的平均装载量,mg; Δ췍W———试样的平均失重量,mg。 5.5 测试报告 5.5.1 单个成品试样 测试报告形式如表3。 5GB/T25496—2010 表3 单个吸气剂牢固度的测试报告 吸气剂型号试样个数 n 只平均装载量 췍Wd mg下落高度 H cm平均失重量 Δ췍W mg失重量 标准偏差 σΔW mg平均失重率 γΔW %最大失重量 ΔWm mg 5.5.2 带状试样 测试报告形式如表4。 表4 带状吸气剂牢固度的测试报告 吸气剂型号 粉层变化情况(目测)失重量ΔW mg 5.6 主要误差来源 5.6.1 分析天平的零点漂移及精度; 5.6.2 跌落高度的