ICS23.160 J78 中华人民共和国国家标准 GB/T25753.3—2011 真 空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第3部分:溢流阀压差的测量 Vacuumtechnology—Rootsvacuumpump—Measurementofperformance characteristics—Part3:Measurementofoverflowvalvedifferentialpressure 2011-11-21发布 2012-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 3 装置 1 ……………………………………………………………………………………………………… 4 测试条件 4 ………………………………………………………………………………………………… 5 试验方法 4 ………………………………………………………………………………………………… 6 试验结果 4 ………………………………………………………………………………………………… 7 试验报告 4 ………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T25753.3—2011 前 言 GB/T25753《真空技术 罗茨真空泵性能测量方法》分为三个部分: ———第1部分:最大允许压差的测量; ———第2部分:零流量压缩比的测量; ———第3部分:溢流阀压差的测量。 本部分为GB/T25753的第3部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本部分负责起草单位:浙江真空设备集团有限公司。 本部分参加起草单位:成都南光机器有限公司、中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司、山东淄博 真空设备厂有限公司、上海惠丰石油化工有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、沈阳真空技术研 究所。 本部分主要起草人:王西龙、王晓虎、许涛、范林东、王光玉、徐法俭、惠进德、赵计春、赵伟胜、 王玲玲、王学智。 ⅢGB/T25753.3—2011 引 言 随着基础工业的发展及设计理念的不断创新,罗茨真空泵的结构设计与工作性能均取得了长足的 进步,早期的罗茨真空泵必须依赖前级真空泵运行,而如今发展出了能够直接排大气运行的气冷式罗茨 真空泵和湿式罗茨真空泵,另外单台罗茨真空泵的级数也由单级发展成为单级、双级、多级,转子型线也 由双叶发展成为双叶、三叶、多叶。 现有的罗茨真空泵性能测量标准仅仅包含了单级双叶罗茨真空泵,对其他种类基本未涉及,并且未 对溢流阀压差的测量方法作出规范,为切实提高罗茨真空泵性能测量标准的兼容性与适用性,为实际检 验测量提供必要的操作指南,在广泛借鉴国内外相关指标、标准的基础上,结合实际情况,制定《真空技 术 罗茨真空泵性能测量方法》标准,形成单独序列,并分为三个部分。今后将依据技术发展的状况进 行必要的修改与扩充。 ⅣGB/T25753.3—2011 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第3部分:溢流阀压差的测量 1 范围 GB/T25753的本部分规定了罗茨真空泵溢流阀压差的测量方法。 GB/T25753的本部分适用于抽速为30L/s~20000L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。本部分不 适用于罗茨真空泵机组性能的极限压力和抽气速率的测量。 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 溢流阀压差 overflowvalvedifferentialpressure 溢流阀压差是溢流阀进行起跳动作时罗茨真空泵前级压力与入口压力之差。 2.2 测试罩 testdome 具有精确规定形状和尺寸的专用真空容器,被测量的气体通过它进入泵内,其上装有压力测量装置。 3 装置 3.1 测试罩 如图1所示,形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D,D是罩的内径。试验气体入口位于罩的轴线 上,并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力的 真空计在距离连接法兰0.5D处,其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。 除了进气管路外,法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁。 测试罩的容积VD至少应是泵一个压缩周期扫过容积VP的5倍。在泵入口应连接一个异径接头, 其长度不应超过0.5D(见图1)。不同规格的泵适用的测试罩由表1给出。 表1 测试罩的参数 VP/L VD/L D/mm 0~0.26 1.3 100 0.26~1.1 5.4 160 1.1~4.2 21 250 4.2~17 84 400 17~65 325 630 65~260 1300 1000 260~1060 5300 1600 1060~4060 20300 2500 1GB/T25753.3—2011 3.2 压力计 对于压力高于或等于1Pa时,其校准准确度为±5%。仪器需经过具有计量资质部门校准或检定 合格。 3.3 前级管路及前级管路上的测试罩 被测的罗茨真空泵出口与前级泵之间的管路为前级管路,应按图2设计制作。前级管路上的测试 罩按图1设计制作。 前级管路上的测试罩直径应不小于前级管路的直径D1,如不一致时应加接异径接头,异径接头按 图1设计制作。 单位为毫米 a) 测试罩 b) 异径接头 图1 测试罩及异径接头 2GB/T25753.3—2011 单位为毫米 说明: a=b=5D1,如果使用弯管,则当量长度应当等于5D1。 图2 前级管路 3.4 测量装置 泵的测量装置如图3所示。 说明: 1———罗茨真空泵; 2———压力计A; 3———测试罩A; 4———进气阀A; 5———进气阀B; 6———测试罩B; 7———压力计B; 8———前级管路; 9———前级泵。 图3 测量装置 3GB/T25753.3—2011 4 测试条件 4.1 泵的转速及配用电机应符合产品设计规定,泵的实际转速与规定转速相差不得超过±3%。 4.2 泵采用水冷时,冷却水流量、进水温度应符合产品设计规定,但泵不应当设置排气冷却器。 4.3 测量时环境温度应在18℃~25℃之间,测量期间温度波动不大于±1.5℃,相对湿度不大 于75%。 4.4 试验气体为室温干燥空气。 4.5 测量时泵腔内应当保持干燥,除试验气体外,不得引入任何介质。 4.6 前级泵应当是能够满足测量所需的出口压力范围要求并能够在整个测量周期内正常工作的油封 式机械泵或者干式真空泵。 5 试验方法 5.1 原理 关闭罗茨真空泵的进气阀,然后在前级真空侧用合适的方式(如充气)调节不同的压力,导致溢流阀 起跳。 在测量时允许采用充气并辅以调节前级泵的抽速的方法对前级压力进行调节。 5.2 程序 首先按图3连接测试罩、压力计、进气阀、前级管路及前级泵,关闭进气阀A及进气阀B,在泵达到 极限压力之后,通过调节前级管路测试罩上的进气阀B引入干燥气体。导致溢流阀起跳时的泵前级压 力与入口压力差值即为溢流阀压差。 测量时需要确认溢流阀密封可靠、动作灵活。 阀门调节应当缓慢平稳。 5.3 溢流阀起跳的判断 当泵出口压力与入口压力差超过溢流阀压差时,由于压差的作用会导致溢流阀密封失效,此 时气体通过溢流阀通道回流,可以观察到泵的入口压力有明显的突然急速升高变化,从而判定溢 流阀起跳。 6 试验结果 应当进行至少五次操作,去掉前两次的测量值,对其余三次的测量值取平均值作为溢流阀压差,应 记录泵的溢流阀压差。 7 试验报告 除试验结果的记录内容外,试验报告应至少包括下列内容: a) 所用测量仪器的类型、准确度等级和工作条件; b) 在泵入口法兰上使用的密封型式; 4GB/T25753.3—2011