ICS31.030 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T44390—2024 打印显示 薄膜均匀性测试方法 Printdisplay—Measuringmethodoffilmuniformity 2024-08-23发布 2025-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 台阶仪法(仲裁法) 2 ……………………………………………………………………………………… 4.1 测试原理 2 …………………………………………………………………………………………… 4.2 测试条件 2 …………………………………………………………………………………………… 4.3 测试步骤 4 …………………………………………………………………………………………… 4.4 结果处理 6 …………………………………………………………………………………………… 5 白光干涉仪法 7 …………………………………………………………………………………………… 5.1 测试原理 7 …………………………………………………………………………………………… 5.2 测试条件 7 …………………………………………………………………………………………… 5.3 测试步骤 9 …………………………………………………………………………………………… 5.4 结果处理 10 …………………………………………………………………………………………… 6 测试报告 11 ………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T44390—2024 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:京东方科技集团股份有限公司、奥来德(上海)光电材料科技有限公司、北京鼎材 科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥京东方卓印科技有限公司、合肥鼎材科技有限公司、 TCL华星光电技术有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、广东东溢新材料科技有限公司、广东聚 华印刷显示技术有限公司、深圳御光新材料有限公司、衢州英特高分子材料有限公司、绍兴旭源新材料 科技有限公司。 本文件主要起草人:张志刚、杨京龙、李新国、徐晓光、马晓宇、代青、毕岩、孙力、施槐庭、黄瑜、曹可慰、 吴怡然、赵俊莎、汪康、王铁、包金豹、乔娟、高文正、戈烨铭、何珂、周辉、陈建平、付东、余磊、黄卫东、 朱龙山、袁鹏、王霞。 ⅢGB/T44390—2024 打印显示 薄膜均匀性测试方法 1 范围 本文件描述了打印显示薄膜均匀性的测试方法,主要包括子像素均匀性、相邻子像素均匀性、短程 均匀性测试方法。 本文件适用于使用探针式表面轮廓仪(以下称台阶仪)和白光干涉仪对厚度范围为5nm~105nm 的打印显示薄膜均匀性的测试。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T20871.12 有机发光二极管显示器件 第1-2部分:术语与文字符号 3 术语和定义 GB/T20871.12界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 像素 pixel 在矩阵显示器中,能完成必需显示功能的最小显示单元。 注:例如,在基于红、绿、蓝(RGB)垂直条的彩色显示中,三个相邻RGB点组成一个像素。 [来源:GB/T20871.12—2024,3.5.45] 3.2 子像素 subpixel 组成一个像素的各个点。 注:例如,在基于RGB垂直条的彩色显示中,每个RGB点是一个子像素。 [来源:GB/T20871.12—2024,3.5.58] 3.3 子像素均匀性 subpixeluniformity 一个子像素内打印薄膜的厚度均匀程度。 注:用于表征子像素的成膜均匀性,与打印墨水、子像素界定层的材料和结构或干燥工艺等相关。 3.4 相邻子像素均匀性 adjacentsubpixeluniformity 相邻子像素之间打印薄膜的厚度均匀程度。 注:用于表征相邻同颜色子像素的成膜均匀性,与使用的喷嘴相关。 3.5 短程均匀性 shortdistanceuniformity 一定范围内多个同颜色子像素的打印薄膜的厚度均匀程度。 1GB/T44390—2024 注:用于表征该范围内的成膜均匀性。 4 台阶仪法(仲裁法) 4.1 测试原理 当使用台阶仪测试打印显示薄膜的厚度时,台阶仪按一定方向进行扫描,探针接触被测样品的表 面,扫描路径随着被测样品的表面形貌而起伏,从而获取薄膜表面轮廓的情况。被测样品包括待测薄膜 区和空白基准区,空白基准区未打印薄膜材料,作为测试膜厚的参照基准平面,进而得到打印薄膜的厚 度,以计算薄膜均匀性。 4.2 测试条件 4.2.1 环境条件 除非另有规定,测试应在下列条件下进行: ———温度:25℃±2℃; ———相对湿度:25%~60%; ———大气压力:86kPa~106kPa; ———防震等级:1Hz~100Hz。 4.2.2 测试仪器 测试设备使用台阶仪,其要求按表1规定执行。 表1 测试设备要求 序号 项目 规格 单位 1 探针压力(F) 0.5~15 mg 2 探针压力精度0.5≤F≤1 ≤0.1 1≤F≤15 ≤0.5mg 3 探针高径比 ≥5 — 4 探针针尖曲率半径 ≤2 μm 5 探针量测位置重复性 ≤±2 μm 6 纵向(z轴方向)扫描精度 ≤0.1 nm 7 横向(x、y轴方向)扫描精度 ≤0.1 μm 8 扫描速度(x、y轴方向) 5~100 μm/s 4.2.3 测试样品预处理 测试前对样品在100℃±5℃的条件下烘烤10min。 4.2.4 测试软件设置 根据测试项目不同,选择下列参数进行设置。 ———测试范围:根据被测样品的台阶高度进行选择,范围宜设定为5μm。 ———测试压力:根据被测样品的致密性,选择不同的压力,测试薄膜时,压力值宜选取0.5mg, 2GB/T44390—2024