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ICS 77. 140. 65 H 49 YB 中华人民共和国黑色冶金行业标准 YB/T4397—2014 切割硅片用电镀黄铜钢丝 Brass plating steel sawing wire for silicon chip 2014-10-01实施 2014-05-06发布 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YB/T43972014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国钢铁工业协会提出。 本标准由全国钢标准化技术委员会(SAC/TC183)归口。 本标准起草单位:中钢集团郑州金属制品研究院有限公司、凡登(常州)新型金属材料技术有限公司、 江苏高和机电股份有限公司、冶金工业信息标准研究院。 本标准主要起草人:宋为、薛金祥、胡贻军、朱鹏、王宝玉、庄超、张平萍、王玲君。 本标准为首次发布。 YB/T4397—2014 切割硅片用电镀黄铜钢丝 1范围 本标准规定了切割硅片用电镀黄铜钢丝的术语和定义、标记方法、尺寸、外形、长度及允许偏差、订货 内容、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、运输、贮存及质量证明书等要求。 本标准适用于公称直径范围为80μm~350μm的切割硅片用电镀黄铜钢丝(以下简称钢丝)。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T228.1金属材料拉伸试验第1部分:室温试验方法 GB/T341钢丝分类及术语 GB/T24242.4制丝用非合金钢盘条 第4部分:特殊用途盘条 YB/T135镀铜钢丝镀层重量及其组分试验方法 3术语和定义 GB/T341确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3. 1 圈coil 钢丝线轴上的一圈钢丝,即一个完整的钢丝圆圈。 3.2 圈形cast 从线轴上切下的一圈钢丝的几何形状(特征包括自由圈径和翘距)。 3.3 自由圈径diameteroffreering 在无张力状态下,一圈钢丝在光滑平面上自然成圈的外径。 3.4 翘距deadcast 在无张力状态下一圈钢丝在光滑平面上,钢丝切口端到平面的垂直高度。 3.5 排线节距pitch 钢丝在线轴上相邻两圈钢丝之间的距离。 4标记方法 钢丝的标记方法如下:SWD 其中: SW——切割钢丝; D-—公称直径,单位为μm。 举例:SW120,表示直径为120μm的切割钢丝。 YB/T4397—2014 5 尺寸、外形、长度及允许偏差 5.1 尺寸及允许偏差 钢丝的公称直径、允许偏差和不圆度应符合表1的规定,钢丝的规格可根据供需双方协商生产。 表1 钢丝直径、允许偏差及不圆度 单位为微米 公称直径 允许偏差 不圆度,不大于 80 ±3 3 06 ±3 3 100 ±3 3 105 ±3 3 110 ±3 3 115 ±3 3 120 ±3 3 125 ±3 3 130 ±3 3 135 ±3 3 140 3 250 ±3 3 300 ±3 3 350 ±3 3 5.2外形 5.2.1 钢丝应平整、紧密、均匀的缠绕在线轴上,无排线不良缺陷。 5.2.2 线轴中的钢丝由一根组成,不允许有焊接头存在。 5.2.3 3钢丝外观呈金黄色、均匀连续的镀层,不应有漏镀或明显色差存在。钢丝表面应光滑、无竹节或 折弯,不得有锈蚀、油渍。 5.3长度及允许偏差 钢丝的长度依据使用机型,供需双方协商确定,不允许有负偏差。 6 订货内容 根据本标准订货的合同应包括下列要求 a) 本标准号; b) 产品名称; c) 公称直径; d) 钢丝长度; 排线节距; e) D 线轴型号; g) 其他要求。 2 YB/T 4397—2014 7 技术要求 7.1原料 钢丝用盘条技术要求应符合GB/T24242.4的规定;供需双方也可协议规定其他技术要求。 7.2制造要求 钢丝经最终热处理后电镀黄铜,然后将电镀黄铜钢丝拉至规定尺寸。 7.3性能要求 7.3.1 钢丝破断拉力应符合表2规定。 表2 2钢丝破断拉力 公称直径/μm 破断拉力/N 公称抗拉强度/MPa 80 19±4 3800 90 24±4 3800 100 29±4 3700 105 32±5 3700 110 3700 115 38±5 3700 120 42±5 3700 125 45±5 3700 130 49±5 3700 135 51±5 3600 140 56±5 3600 250 159±15 3200 300 205±15 2900 350 280±15 2900 注:公称抗拉强度为名义值,仅供参考。 7.3.2 钢丝所镀黄铜层应由铜和锌元素组成,其中铜含量为(68士4)%,每千克钢丝上镀层重量为(3~ 8)g。 7.4 工艺性能 直径不大于200μm的钢丝,其自由圈径应不小于80mm,翘距不大于50mm;直径大于200μm的钢 丝,其自由圈径应不小于100mm,翘距不大于30mm。 8 试验方法 8.1 直径和不圆度 钢丝直径应采用精度不低于0.1μm的量具测量。 当采用激光测径仪测量钢丝直径时,应从线轴上取长度不小于150mm平直的钢丝,用擦镜纸将钢丝 表面擦拭干净,将钢丝两头拉紧固定在激光测径仪的夹具内,然后合上夹头,慢慢转动手柄大于360度, 读取屏幕显示的平均值为所测钢丝样品的直径,数据精确到0.1μm。 同一截面测得的直径最大值与最小值之差为不圆度。 8.2 破断拉力 钢丝的拉伸试验按GB/T228.1的规定进行,试验机的精度应能精确到0.1N。 3 YB/T4397--2014 8.3铜含量和镀层重量 钢丝的黄铜层铜含量和镀层重量试验按YB/T135的规定进行。 8.4圈径和翘距 从线轴上在无张力情况下取约1圈钢丝放在无约束力的光滑平面上,自然成圈,测量其自由圈径和 翘距。 9检验规则 9.1检查与验收 钢丝的质量检查与验收由供方技术监督部门进行。必要时,需方有权按本标准规定进行检查与验 收。 9.2组批规则 每批钢丝由同一规格、同一生产条件连续生产的产品组成。 9.3取样要求 从线轴端部去除20m左右钢丝后,再剪取钢丝进行性能检验。 9.4检验、复验与判定规则 9.4.1钢丝的检验项目、取样数量及检验方法应符合表3规定。 9.4.2逐轴提交验收的项目,其检验结果如有不合格,允许进行不合格项目的复验,合格者交货;每批提 交验收的项目,检验结果如有一个试样不合格,允许在该批中抽取双倍试样进行复检。如果复检结果仍 有试样不合格,则该批应逐轴进行检验,合格者交货。 表3钢丝检验项目、取样数量及检测方法 检验项目 取样数量 检验方法 表面质量 逐轴 目测 1 2 直径 逐轴 8.1 3 不圆度 逐轴 8.1 4 自由图径 逐轴 8. 4 5 翘距 逐轴 8. 4 6 破断拉力 每批10% 8. 2 7 铜含量 每批一个 8. 3 8 镀层重量 每批一个 8. 3 10包装、标志、运输、贮存及质量证明书 10.1包装 钢丝以线轴交货,每个线轴应使用防锈纸进行包装,钢丝端头固定且容易识别,放置在有塑料袋的包 装箱内。塑料袋内应放有防潮剂,抽真空后将塑料袋封口。整个包装箱应有良好的防渗、防水性能,并用 塑料打包带固定。 10.2标志 在每个线轴上应标明制造厂、公称直径、钢丝长度、钢丝缠绕方向、线轴编号。包装箱上应标明制造 厂、客户名称、公称直径、批号、出厂日期(年、月、日)、箱号、每箱线轴数、线轴型号、钢丝长度,并有明显的 防潮、防撞击标志。 4 YB/T4397—2014 10.3贮存 钢丝线轴不得露天堆放。从出厂日算起,在包装完好的情况下,钢丝质量保质期为6个月。打开包 装箱前,应先将包装箱放置于实际使用环境下至少12h后再使用。 10.4运输 在运输过程中要有防雨、防潮措施。 10.5质量证明书 每批应附有质量证明书,内容包括:制造厂、合同编号、出厂日期、公称直径、技术参数、检测数据、该 批货的线轴数量及该批货的箱数。 5

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