ICS 23.160 J78 备案号：28640—2010 中华人民共和国机械行业标准 JB/T8945—2010 代替JB/T8945-1999 真空溅射镀膜设备 Vacuum sputtering coating plant 2010-02-11发布 2010-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T8945—2010 测试。 5.1.2测试方法 在对镀膜室连续抽气24h之内，测定其压力最低值，定为该设备的极限压力。当压力变化值在-0.5h 内不超过5%时，取测量表读数最高值为极限压力值，且镀膜室内各旋转密封部位处于运动状态。 5.2抽气时间的测定 5.2.1试验条件 同5.1.1中a)、b)、c)、d)。 5.2.2测试方法 设备在连续抽气条件下，在镀膜室内达到极限压力之后，打开镀膜室.15min，再关闭镀膜室对其 再度抽气至表1中所规定的压力值所需的时间，定为该设备的抽气时间！ 5.3升压率的测定 5.3.1试验条件 同5.1:1。 5.3.2测试方法 设备在连续抽气24h之内使镀膜室内达到稳定的最低压力之后！ 关闭与镀膜室相连接的真空阀； 待镀膜室压力上升至pi（1Pa）时， 开始计时， 经1h质记录p2， 然后按公式（1）计算升压率： P2 R= Pl (1) 式中： 单位为.Pa/h； R 镀膜室的升压率， 镀膜室的起始压力， 单位为Pa; pi- 单位为Pa: 镀膜室的终止压力， P2 一压力由pi升至p2的时间，单位为h。 5.4 溅射电流的变化率的测定 设备在镀膜过程中，阴极稳定工作后，测得溅射电流在3min范围内（若镀膜过程少于3min；则 在整个镀膜过程内）的变化值，并按公式（2)-计算变化率： (2) 式中： W. 一溅射电流的变化率； 正常工作时实测溅射电流的最大值和最小值，单位为A； 12—设备本身按工艺要求所设定的溅射电流值，单位为：A。 5.5测量用仪表设备 5.5.1测量极限压力、镀膜室恢复真空抽气时间、升压率所使用的真空计应为设备本身配套者，并应 在校准有效期限内。 5.5.2测量溅射电流的变化率所用的电流表应为设备本身配套者，并应在有效期限内。 6 检验规则 6.1每台设备必须经制造厂检验部门检验合格后方能出厂，并附有产品质量合格证。 6.2设备的试验分型式试验和出厂试验。 6.3型式试验项自为：本标准3.2、4.4及GB/T11164--1999中4.4.4、4.4.6的内容。 6.4在下列情况下应进行型式试验： a）试制的新产品； JB/T8945--2010 b）产品的设计、工艺或所用材料有重大变更时； c）同类产品的评比定级时； d）成批量产品的定期抽查，每两年进行一次，每次抽查该批的15%（不得少于两台），如有-项 不合格则应重新抽取加倍数量的产品进行复检。如仍有不合格，则进行逐台检验。 6.5出厂试验应逐台进行，其检验内容为本标准3.2、4.4.1、4.4.2、4.4.7、4.4.8、4.4.10、4.4.11及GB/T 11164—1999中4.4.4、4.4.6的内容。 7标志、包装、运输和贮存 7.1标志 每台设备应在其明显部位装设标牌，标牌应符合GB/T13306的规定。其内容应包括制造厂商标、 厂名、地址、设备名称、型号、出厂编号和出厂日期等。 7.2包装 7.2.1设备包装应采取防震、防潮、防雨等措施，以确保设备在装卸、运输、贮存等过程中不发生损 坏、锈蚀及降低精度等情况。 7.2.2设备的包装箱上应有防水且不易脱落的发货标志。设备的包装、运输标志应符合GB/T191的规 定。 7.2.3设备包装前，应将设备中的残余积水或废屑清除干净，并应保证密封面不受损伤，对易锈金属 外表面必须采取防锈措施。 7.2.4随机文件应包括装箱单、出厂合格证书、使用说明书等，且装在不透水的防水文件袋内。 7.3运输 设备的运输必须保证设备及其包装不发生损伤。设备在运输过程中有可能松脱的零、部件应有防松 措施。运输中应防止日晒、雨淋和剧烈震动。 7.4贮存 设备应贮存在相对湿度不超过90%的通风良好的场所，该场所必须没有可引起腐蚀的酸、碱蒸汽 和气体存在。 JB/T8945--2010 前 言 本标准代替JB/T8945—1999《真空溅射镀膜设备》。 本标准与JB/T8945—1999相比，主要变化如下： 调整了溅射电流变化率参数； 修改了设备正常工作条件； 增加和调整了结构要求和试验方法中的部分内容。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：广东中环真空设备有限公司。 本标准参加起草单位：成都南光机器有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：蔡东锋、张远青、靳毅、陈大民、李春影。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： JB/T8945—1999。 III JB/T8945--2010 真空溅射镀膜设备 1 范围 本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输 和贮存等。 本标准适用于压力在1×10~Pa～1X10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备（以下简称设备）。 2·规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的， 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T191 包装储运图示标志（GB/T191—2008，ISO780：1997，MOD） GB/T6070真空技术，法兰尺寸（GB/T6070--2007，ISO1609：：1986，MOD） GB/T11164—1999真空镀膜设备通用技术条件 GB/T13306 标牌 JB/T1090 J型真空用橡胶密封圈 1型式及尺寸 JO型和骨架型真空用橡胶密封圈：型式及尺寸 JB/T1091、 JB/T1092 O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸： JB/T·7673 真空设备：型号编制方法 型号与基本参数 3.1 设备的型号应符合.JB/T7673的规定。 3.2 设备的基本参数应符合表1的规定。 表1基本参数 参数数值 参数名称· A B 极限压力 ≤5×10- ≤5×10° Pa 恢复真空抽气时间 从大气压至7×10-3Pa 从大气压至7×10-2Pa min ≤20 ≤1.0 升压率 I-0[×8≥ ≤2.5 .Pa/h 1类 <±2.5% 溅射电流变化率 Ⅱ类 <±5% 注：I类是指磁控溅射镀膜生产线、卷线式磁控溅射镀膜设备等； ：II类是指普通装饰磁控溅射镀膜设备。 4 技术要求 4.1设备正常工作条件 4.1.1 环境温度：5℃～35℃。 JB/T8945-—2010 4.1.2环境相对湿度：不大于80%。 4.1.3冷却水进水温度：不高于25℃。 4.1.4冷却水质量：城市自来水或质量相当的水。 4.1.5供电电源：380V、三相五线制、50Hz，电压波动范围：361V～399V，频率波动范围：49Hz~ 51 Hz。 4.1.6工作环境：室内应整洁；地面、天花板及设备周围墙壁应干净；空气应清洁、不应有可引起电 器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。 4.1.7设备所需的压缩空气、液氮、冷却水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书中写明。 4.2结构要求 4.2.1i 设备中静、动密封圈的结构形式及尺寸应符合GB/T6070和VB/T1090～1092的规定。 4.2.2 真空管道上和镀膜室靠近排气口位置上应装设真空测试规管，分别测量各部位的压力。 如果设备以油扩散泵或油扩散喷射泵为主泵，应在其进气口一侧安装油蒸汽捕集阱。 4.2.3 镀膜室应设有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，窗上应加装防射线镜片。 4.2.4 4.2.5 设备一般应设有真空调节阀装置。 设备一般应装有辉光放电清洗装置，在产品设计要求规定的参数范围内应能正常工作。 4.2.6 4.2.7 带工件基片加热装置的设备应有测温电极或测温装置。 4.2.8靶的型式有圆柱靶和矩形平面靶。设备应按要求选取合适的靶。 4.3制造质量 设备的制造质量要求应符合GB/T11164- 1999中4.4的规定。 4.4安全防护要求 4.4.1关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置，并与电源、真空系统、传动系统相关 联部分有联锁保护机构，这些保护机构的动作应灵敏可靠。 4.4.2真空系统中采用电动或气动阀门时均应有联锁保护。 4.4.3 设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地处有明显标记。 4.4.4 设备与相附属的电气装置之间的连接导线应有防止磨损或碰伤的保护措施。 4.4.5 设备的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其他有害物质的影响。 4.4.6 操作中突然停电后，再恢复供电时应能防止电器自行接通。 4.4.7 在设备的电气线路中， 针对负载情况应采取短路保护、过电流保护等必要的保护措施。 4.4.8 有高压电源的设备， 其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置。 4.4.9 设备中的高压、高频以及其他有可能产生损害大体的辐射部分应安装屏蔽装置。 4.4.10 外露的齿轮、带轮等应有可靠的防护装置。 4.4.11 液压或气压系统应有压力指示仪表及调节压力的安全装置。 4.4.12 设备及其附属装置上应装设为操作和安全所必需的标牌和标记。 5试验方法 5.1极限压力的测定