YS ICS 77.150.50 H 64 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1141—2016 钛蒸发料 Evaporated titanium material 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T 11412016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、 吴艳华。 H YS/T1141—2016 钛蒸发料 1范围 本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同 (或订货单)内容。 本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定 GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定 GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定 YS/T891 高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法 YS/T892 高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法 3要求 3.1产品分类 3.1.1产品按照纯度分为IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999三个牌号。 3.1.2 2产品主要分为片状、柱状，如图1所示。 T V C a）片状 b)柱状 说明： A——边长； C—厚度； 一直径； D- L—长度。 图1 钛蒸发料示意图 1 YS/T1141—2016 3.2化学成分 3.2.1产品的化学成分 产品的化学成分要求见表1。钛蒸发料的纯度，按照减量法计算，即为100%减去表中规定的杂质 实测总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。 表1 化学成分 杂质含量（质量分数)（×10-*)/%不大于 Ti(质量分数)/%， 牌号 不小于 Ag Al B Ca Cr Cu Fe IC-Ti 99. 9 99. 9 - 100 - 25 - 400 50 400 IC-Ti 99. 995 99.995 5. 0 0. 1 1. 0 5. 0 2.0 15. 0 一 - IC-Ti 99. 999 99.999 0. 2 2.0 0. 1 1. 0 0. 1 1. 0 1. 0 7. 0 杂质含量（质量分数)（X10-*)/%，不大于 Ti(质量分数)/%， 牌号 不小于 K Li Mg Mn Mo Na Ni Pb IC-Ti 99. 9 99.9 5 5 - 30 50 5 200 IC-Ti 99. 995 99.995 0. 1 0. 1 1. 0 1. 0 4. 0 0. 2 5. 0 2. 0 IC-Ti 99.999 99.999 0. 1 0. 1 0. 1 0.3 0. 5 0. 1 0. 5 0. 1 杂质含量（质量分数)（×10-*)/%，不大于 Ti(质量分数)/%， 牌号 不小于 Sn Th Zn Zr IC-Ti 99.9 99.9 100 - 一 - - IC-Ti 99. 995 $66'66 2. 0 1. 0 1.0 10. 0 0. 01 0. 01 1. 0 5. 0 IC-Ti 99. 999 99.999 2. 0 1. 0 0.001 0.001 1. 0 0. 5 0. 5. 1. 0 3.2.2 产品的气体杂质元素含量 产品的气体杂质元素含量要求见表2。 表2 气体杂质元素含量 气体元素含量（质量分数）（×10-）/%，不大于 Ti(质量分数)/%， 牌号 不小于 c H N 0 s IC-Ti 99. 9 99. 9 200 200 800 一 IC-Ti 99. 995 99.995 50 10 50 300 10 IC-Ti 99.999 99.999 40 10 50 250 10 3.3 几何尺寸 产品的规格及允许偏差见表3。 2 YS/T1141-2016 表3规格及允许偏差 单位为毫米 片状 柱状 项目 A B c D L 10 10 2 3 6 尺寸 15 15 2 6 6 7 20 允许偏差 ±0. 5 ± 0. 5 ±0. 2 ±0. 2 ±0.5 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的产品 3.4外观质量 3.4.1产品表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 3.4.2产品表面应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。 3.4.3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。 4试验方法 4.1化学成分的分析方法 4.1.1 金属杂质元素的分析方法：牌号为IC-Ti99.9的产品按照YS/T892测定；牌号为IC Ti99.995%和IC-Ti99.999的产品按照YS/T891测定。 4.1.2非金属杂质元素C、H、N、O的分析方法按照GB/T4698.14、GB/T4698.15、GB/T4698.7的 规定进行。 4.1.3非金属杂质元素S的分析方法按照YS/T891的规定进行。 4.2产品几何尺寸测量 用相应精度的量具测定。 4.3外观质量 用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和合同（或订货单）的规定，并填写质 量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不 符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双 方在需方共同进行。 5.2组批 产品应成批提交检验。每批应由同一牌号、同一规格的产品组成。 3