ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T46173—2025 电子气体 惰性稀有气体 Electronicgas—Noblegas 2025-10-05发布 2026-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 技术要求 2 ………………………………………………………………………………………………… 5 采样 3 ……………………………………………………………………………………………………… 6 试验方法 3 ………………………………………………………………………………………………… 6.1 惰性稀有气体纯度 4 ………………………………………………………………………………… 6.2 氪中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量 的测定 5 ……………………………………………………………………………………………… 6.3 氪中非甲烷总烃含量的测定 6 ……………………………………………………………………… 6.4 氖中氦含量的测定 7 ………………………………………………………………………………… 6.5 氖中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定 7 ……………………………………… 6.6 氖中总烃含量的测定 8 ……………………………………………………………………………… 6.7 氙中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量 的测定 8 ……………………………………………………………………………………………… 6.8 氙中非甲烷总烃含量的测定 9 ……………………………………………………………………… 6.9 氙中一氧化氮、二氧化氮及氧化亚氮含量的测定 9 ………………………………………………… 6.10 水分含量的测定 11 ………………………………………………………………………………… 6.11 尾气处理 11 ………………………………………………………………………………………… 7 检验规则 11 ………………………………………………………………………………………………… 8 标志、包装、运输、贮存及安全信息 11 …………………………………………………………………… 8.1 标志 11 ………………………………………………………………………………………………… 8.2 包装、运输及贮存 11 ………………………………………………………………………………… 8.3 安全信息 11 …………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性) 气路流程示意图 12 ……………………………………………………………………… A.1 测定氪中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化 硫含量的气路流程示意图 12 ……………………………………………………………………… A.2 测定氖中氦含量的气路流程示意图 13 …………………………………………………………… A.3 测定氖中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的气路流程示意图 13 ………………… A.4 测定氙中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化 硫含量的气路流程示意图 14 ……………………………………………………………………… A.5 测定氙中非甲烷总烃含量的气路流程示意图 15 ………………………………………………… ⅠGB/T46173—2025 附录B(资料性) 安全信息 17 ……………………………………………………………………………… B.1 基本信息 17 …………………………………………………………………………………………… B.2 危险性说明 17 ………………………………………………………………………………………… B.3 操作注意事项 17 ……………………………………………………………………………………… B.4 紧急情况应对措施 17 ………………………………………………………………………………… B.5 泄漏处理处置 18 ……………………………………………………………………………………… B.6 存储注意事项 18 ……………………………………………………………………………………… B.7 废弃处置说明 18 ……………………………………………………………………………………… 参考文献 19 …………………………………………………………………………………………………… ⅡGB/T46173—2025 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、衢州杭氧特种气体有限公司、华测检测认证集团 股份有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、湖北和远气体股 份有限公司、北京控制工程研究所、河北邯钢特种气体有限公司、大连华邦化学有限公司、广东华特气体 股份有限公司、中石化(北京)化工研究院有限公司、重庆瑞信气体有限公司、北京普瑞分析仪器有限公 司、深圳捷工科技股份有限公司、三峡公共检验检测中心、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建 恒申电子材料科技有限公司、北京首钢气体有限公司、中国计量科学研究院、布鲁克(北京)科技有限公 司、中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、浙江泓芯半导 体有限公司、浙江省化工研究院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、 杭州新世纪混合气体有限公司、中国计量大学、中国计量测试学会、联雄投资(上海)有限公司、昆明广瑞 达特种气体有限责任公司、超谱科技(成都)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力 容器有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、宿州伊维特新 材料有限公司、贵州省产品质量检验检测院、朗析仪器(上海)有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:胡迎、汪晗、陈桂淋、郭英阁、崔增涛、戚芮甲、曹素英、潘振环、江罗、方强、宋飞、 樊超、马卫东、陈利斌、侯鹏、钱吉、傅铸红、陈艳珊、吴长江、侯秀华、魏昕、江月军、金星屹、史兰、刘军航、 王露、谢磊、滕鑫胜、郑阳光、马彬淇、廖鸿昌、赵光明、李晓、尹冬梅、王漫、赵跃、蔡长青、孙福楠、王飞华、 兰锋、吴宁捷、张琦炎、方华、郑新蕊、程欣、张金波、张静、杨扬仲夫、黄辉、高静、曲强、何波、黄小强、 房嵩、殷昊、李明、宫兵、任希辉、谈益强、尹乐乐、李建浩、程化鹏、周鹏云、唐霞梅。 ⅢGB/T46173—2025 电子气体 惰性稀有气体 1 范围 本文件规定了惰性稀有气体的技术要求,描述了相应的试验方法,还规定了采样、检验规则、标志、 包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。 本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的惰性稀有气体。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T4842 氩 GB/T4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T5099(所有部分) 钢质无缝气瓶 GB/T5275.7 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第7部分:热式质量流量控制器 GB/T5828 纯氙、高纯氙和超纯氙 GB/T5829 纯氪、高纯氪和超纯氪 GB/T5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分:电解法 GB/T5832.2 气体分析 微量水分的测定 第2部分:露点法 GB/T5832.3 气体分析 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T8984 气体分析 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化 气相色谱法 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14193 液化气体气瓶充装规定 GB/T14194 压缩气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T43306 气体分析 采样导则 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 1GB/T46173—2025 3.1 惰性稀有气体 noblegas 包括氪、氖、氙。 4 技术要求 惰性稀有气体的技术要求应符合表1~表3的规定。 表1 氪技术要求 项目指标 一级 二级 氪纯度(Kr)(摩尔分数) ≥99.9999×10-2≥99