ICS31.030 SJ L: 90 备案号：50565-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11508—2015 集成电路用正胶显影液 PositivePhotoresist developerforIntegrated Circuit 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11508—2015 前言 本标准是按照GB/T1.12009之规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。 本标准主要起草人：戈士勇、何珂、王周霞、王香、裴会川。 SJ/T11508—2015 集成电路用正胶显影液 1范围 本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、 储存、运输等。 本标准适用于集成电路用正胶显影液，以下简称正胶显影液 本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限 制。 2 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T601 化学试剂标准滴定溶液配制 GB/T602 化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T603 化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备 GB/T605 化学试剂色度测定通用方法 GB/T631—2007 化学试剂氨水 GB/T6678 化工产品采样总则 GB/T6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T9729 化学试剂氯化物测定通用方法 GB/T11446.1 电子级水 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB50472 电子工业洁净厂房设计规范 SJ/T11510—2015 液晶显示器用铝腐蚀液 3术语 3.1 超纯硝酸 ultrapurenitricacid 金属离子含量不大于1gL的硝酸。 SJ/T11508—2015 性状和技术要求 4 4.1 性状 本试剂为无色透明有刺激性氨味的碱性液体，为四甲基氢氧化铵的水溶液，四甲基氢氧化铵含量允 许相对偏差为±1.0% 4.2 技术要求 正胶显影液技术要求应符合表1的规定： 表1 技术要求 指标 项目 I II III 色度 ≤10 Hazen 颗粒（≥0.3μm) - - ≤100 pes/mL 颗粒（≥0.5μm) ≤50 ≤25 ≤10 pes/mL 氟化物（CI) 10> 10> 10> mg/kg 碳酸盐（CO） ≤100 50 30 mg/kg 磷酸盐（PO） ≤0.4 mg/kg 氟硅酸盐（Si） ≤50 ≤50 mg/kg 银（Ag) 《100 ≤10 ≤1 μg/kg 铝（AI) ≤100 《10 ≤1 μg/kg ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 金(Au) ≤500 ≤10 ≤1 μgkg 硼（B) ≤100 ≤10 ≤1 μgkg 锁(Ba) 100 ≤10 ≤1 μg/kg 铍(Be) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 2 SJ/T11508—2015 表1(续) 指标 项目 1 11 I1I 铋（Bi) ≤1 ≤100 ≤10 μg/kg 钙（Ca) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 镉(cd) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 钻（Co) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 铬（Cr） ≤100 ≤10 1 μg/kg 铜(Cu) ≤100 ≤10 ≤1 μg /kg 锑（Sb） ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 铁（(Fe) ≤100 ≤10 ≤1 #g/kg （Ga) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 汞(Hg) ≤100 ≤10 ≤1 "g/kg 铟（In) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 钾（K) 《100 ≤10 《1 μg/kg 锂（Li） ≤100 《10 1 μg/kg 镁（Mg） ≤100 《10 ≤1 μg/kg 锰（Mn) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 钼（Mo) 100 ≤10 ≤1 μg/kg 钠（Na) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 镍（Ni) ≤100 ≤10 ≤1 "g/kg 铅（Pb） ≤100 ≤10 ≤1 ug/kg 3 SJ/T115082015 表1（续） 指标 项目 1 铂(Pt) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 锡（Sn) ≤100 ≤10 ≤1 Hg/kg 锶(Sr) ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 钛（Ti) ≤100 ≤10 么1 μg/kg 钒(V) ≤100 ≤10 1 μg/kg 锌（Zn） ≤100 ≤10 ≤1 μg/kg 5 试验方法 5.1 一般规定 本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品按GB/T601、 GB/T602、GB/T603之规定制备：除特殊要求外，实验用水应符合GB/T6682中二级水规格，实验用试 剂均为分析纯。 5.2 显影液含量测定 5.2.1试剂 盐酸标准滴定溶液：c（HC1）=0.1mol/L。 5.2.2 仪器和设备 自动电位滴定仪：配酸碱滴定电极。 5.2.3测定步骤 称取适量样品于滴定杯中，精确至0.0001g，加入40mL纯水，按照自动电位滴定仪操作规程测定 显影液含量。 两次平行测定结果相对偏差不大于0.5%，取其算术平均值为测定结果， 5.3 色度测定 按GB/T605的规定测定。 颗粒测定 5.4 5.4.1 试剂和材料 4 SJ/T115082015 5.4.1.1超纯水：符合GB/T11446.1的电子级I级水； 5.4.1.2氮气：99.9% 5.4.2仪器 液体粒子计数仪：最小检测粒径不大于0.3um。 5.4.3测定步骤 取一定量试样，静置30min以上。按照液体粒子计数仪的操作手册，先用超纯水清洗管路，再用试 样清洗管路，然后抽取100mL的试样进入仪器测定样品颗粒。 5.5阴离子的测定 5.5.1氯化物 称取20g试样于25mL比色管中，精确至0.0001g，稀释至20mL，按GB/T9729的规定测定。溶液 所呈浊度不得大于对应的标准比对溶液。 标准比对溶液的制备是取含0.002mgC1的氯化物标准溶液，稀释至20mL，与同体积样品溶液同时 同样处理。 5.5.2碳酸盐 称取样品（I级10gⅡ级20g：ⅡI级33g）于100mL容量瓶中，精确至0.0001g，用无二氧化碳的 水稀释至刻度，定容，摇匀。移取10mL该溶液于50mL比色管中，按GB/T631一2007中5.7的规定测定。 标准比对溶液的制备是取含0.1mgCO2的二氧化碳标准溶液，用无二氧化碳的水稀释至40mL，与 同体积样品溶液同时同样处理。 5.6阳离子测定 5.6.1方法提要 采用电感耦合等离子体-质谱法（ICP-MS）以标准加入法为分析方法检测阳离子含量。 5.6.2试剂和材料 5.6.2.1 超纯水：符合GB/T11446.1的电子级I级水。 5.6.2.2超纯硝酸。 5.6.2.3硝酸溶液：取50mL硝酸加入950mL超纯水。 5.6.2.4调谐液：由仪器供应商提供或者持证调谐溶液，其中阳离子含量不大于10μg/。 5.6.2.5 调谐工作液：1μg/L，取10mL调谐液（5.6.2.4）加入90mL超纯水，此液4℃冷藏可保持 3天。 5.6.2.6 多元素标准储备液：阳离子浓度为100ug/mL，选取相应浓度的持证标准溶液。 多元素标准工作液：分别取标准储备液（5.6.2.6）1mL于聚四氟乙烯洁净瓶中，加2mL硝 5.6.2.7 酸，用水稀释至100mL，摇匀，此标准工作液中阳离子浓度为1pg/mL。 5.6.2.8高纯氟气、氢气、氨气，纯度大于99.999%。 5.6.3仪器设备 5.6.3.1 八极杆电感耦合等离子体-质谱仪（ICP-MS）：配制八极杆反应系统（ORS）。 5.6.3.2微量移液器：（10-100），（100-1000）。 5