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ICS 31.030 L 90 SJ 备案号:50569-2015 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11512—2015 集成电路用电子浆料性能试验方法 Test methods of electronic pastes for integrated circuit performent 2015-04-30发布 2015-10-01实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11512—2015 目 次 前言 IV 1范围. 2一般要求 3详细要求 1 100系列 电子浆料通用性能试验方 方法101 方法102 电子浆料粘 R 方法103 电子浆料 体量试验方法 .4 方法104 电子浆 ..6 方法105 电子 防阳 200系列 浆料性能试验 ..9 方法201 聚料 着力记 9 方法202 体浆料漫润性测试 11 方法203 焊料侵测试方法 300系列 能试验 .15 方法301 电阻 系数 ..15 方法302 电阻券 (电试验方法 17 方法303 电阻浆 货荷试验方法 ..19 方法304 电阻浆料穗 森湿热 代验 ...21 方法305 电阻浆料恒温放 .23 ND. 400系列 介质浆料性能试验方 ..25 方法401 介质浆料介电损耗试验方法 25 方法402 介质浆料电容试验方法 27 方法403 介质浆料击穿电压试验方法 .29 方法404 介质浆料绝缘电阻试验方法 31 SJ/T11512—2015 前言 本标准是按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。 本标准起草单位:西安宏星电子浆料科技有限责任公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。 本标准主要起草人:康海莹、周蓉、牛淑蓉、赵莹、陆冬梅、孙社稷、王大林、王香。 SJ/T11512—2015 集成电路用电子浆料性能试验方法 1 范围 本标准规定了集成电路用电子浆料性能试验方法。 本标准适应于集成电路用导体浆料、电阻浆料、介质浆料等电子浆料。 2一般要求 ND 2.1试验条件 RY 除非另有规定, 有诚验 均在以下标准大气条件下进行。 试验的应符合 环境温 a) b) 相对温 85% 气压 c) 86kPa -106P 所有试验 应 实验室内进行。 HNOL 2.2 试验报告 试验报告 送包括以下内 浆料 规格、批 a) 测试维 b) 检测部门印 c) 本标准编 d) 测试人和测试 期 仪器型号, e) f) 试验环境温度 气压。 TA 2. 3 试验方法分类及编号 D 电子浆料性能试验方法采用独立编号 方法100系列(101~105):电子浆科通用性能试验方法: a) b) 方法200系列(201~203):导体浆料性能试验方法: 方法300系列(301~305):电阻浆料性能试验方法: c) d) 方法400系列(401~404):介质浆料性能试验方法。 3详细要求 SJ/T11512—2015 100系列 电子浆料通用性能试验方法 方法101 电子浆料细度试验方法 1目的 本方法的目的是测定集成电路用电子浆料颗粒的大小及颗粒分散程度。 2方法提要 将试样置于细度计上,用刮板从上至下刮动,根据沟槽中纵向条纹出现的位置,目测确定颗粒的大 小。 3测量仪器及工具 3.1测量仪器 刮板细度计,准确度为土2μum。 3.2 2试验工具 调浆刀。 测试程序 4.1用调浆刀将试样搅拌均匀。 4.2清洁刮板细度计及工具。 4.3取适量试样放置于细度计沟槽最深处,试样量应能够填满细度计沟槽。 4.4用双手持刮板,使刮板与细度计表面垂直,并以均匀的速度从沟槽最深处将试样刮过细度计表面, 使试样充满沟槽,整个过程在3s内完成, 4.5横握刮过的细度计并使其倾斜,使视线与沟槽平面成20°~30°角,对着光线进行观察,找出颗粒 划痕密集或出现第3根明显划痕的位置,分别见图1、图2,并记录读数。 读数5 读数5 0 10 10 图1 颗粒划痕密集处示意图 图2 第3根明显划痕处示意图 2 SJ/T11512—2015 方法102电子浆料粘度试验方法 1 目的 本方法的目的是测定集成电路用电子浆料粘度。 2方法提要 本方法采用一个特定的转子浸入到浆料中,转子用一个弹簧支持,并用马达带动,在浆料中以一定 的速度旋转,弹簧由于转子在浆料中旋转所受到阻力而扭曲,读出粘度值。 AND 3 测量仪器及工具 3.1 测量仪器 3.1.1 旋转粘度 3.1. 2 恒温循琴 小槽 准确 OF 3. 2 试验工具 调浆刀 TRY 4 测试程序 4.1 开启恒温 设定 ℃±2℃并记 录。 4.2用调浆刀将试机境好均匀。 4.3将试样放入测试杯,按仪器操作规程安装好转子后,将测试杯在水浴套 中静置30min,循环水温 保持在25℃土2℃ 特速设定为10r/min 注2:试样放入测试杯后, 4.5关闭旋转粘度计电源,取出浆料。 4.6关闭恒温循环水槽电源。 3

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