ICS 73.080 CCS Q 65 团体 标准 T/CI 003—2023 橡胶表面碳薄膜制备及评价方法 Preparation and evaluation methods of rubber surface growth of carbon films 2023 - 01 - 09发布 2023 - 01 - 09实施 中国国际科技促进会 发布 全国团体标准信息平台 T/CI 003 —2023 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 薄膜分类及标识 ................................ ................................ ..... 1 5 碳薄膜技术要求 ................................ ................................ ..... 2 6 碳薄膜制备 ................................ ................................ ......... 2 7 供货方向薄膜生产方提供的资料 ................................ ....................... 2 8 工件镀膜前处理技术要求 ................................ ............................. 3 9 碳薄膜试验方法 ................................ ................................ ..... 3 10 试验报告 ................................ ................................ .......... 5 11 包装检验 ................................ ................................ .......... 6 12 交货准备 ................................ ................................ .......... 6 附录A（资料性） 镀膜工艺示例 ................................ ......................... 7 附录B（资料性） 镀膜前清洗示例 ................................ ....................... 8 附录C（资料性） 柔性基体断面构筑示例 ................................ ................. 9 附录D（资料性） 划痕法示例 ................................ .......................... 10 参考文献 ................................ ................................ ............. 11 全国团体标准信息平台 T/CI 003 —2023 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国国际科技促进会提出并归口。 本文件起草单位：中国科学院兰州化学物理研究所、松山湖材料 实验室等离子体放电团队、中国科 学院宁波材料技术与工程研究所、福州大学、广东工业大学、烟台润蚨祥油封有限公司、上海新弧源涂 层技术有限公司、华晟昇科技 (成都)有限公司。 本文件主要起草人：张 斌、田修波、王永欣、任志英、谭桂斌、白常宁、杜 杰、冯利民、张俊 彦、强 力、苏宝塍、张松林、高凯雄、靳朋礼。 全国团体标准信息平台 T/CI 003 —2023 1 橡胶表面碳薄膜制备及评价方法 1 范围 本文件规定了橡胶表面碳薄膜制备及评价方法，包含制备前处理、制备方法、摩擦、磨损、结合力 等。 本文件适用于各类 零部件， 包括丁腈橡胶、 氢化丁腈橡胶、 乙丙橡胶、 硅橡胶等表面碳薄膜的质量、 性能检测、工艺验证等，也适用于相似环境下的零部件表面碳薄膜。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB 191 包装储运图示标志 GB/T 8264 -2008 涂装技术术语 GB/T 30707 -2014 精细陶瓷涂层结合力试验方法 划痕法 GB/T 38518 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法 ISO 25178 表面形状面粗糙度的参数 ASTM D3359 -02 胶带试验测定粘合性的方法 划X法 ASTM D1894 -2011 塑料薄膜和薄板静态和动态摩擦系数的标准试验方法 3 术语和定义 GB/T8264 -2008界定的以及下列术语和定义适用于本 文件。 碳薄膜 carbon film 一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料，主要元素成分是碳和氢，具有高硬度和独特摩擦 特性。 橡胶动密封件 rubber dynamic seal 一类具有可逆形变、无定型结构的高弹性聚合物材料，是 密封装置中的一类通用基础元件， 其在运 动过程中通过变形提供接触压力，补偿泄漏间隙，达到密封和防止液态或气体泄露的目的。 4 薄膜分类及标识 碳薄膜的标识方法示例及说明见表 1。 表1 碳薄膜的标识方法示例及说明 中文名 英文全称 英文缩写 说明 碳薄膜 Carbon Films CF 所有碳基非晶薄膜的统称 非晶碳薄膜 Amorphous Carbon Films a-C Films 特指硬度低于 40GPa的不含氢碳薄膜 金属掺杂非晶碳薄膜 Metal doped Amorphous Carbon Films a-C:Me Films 特指硬度低于 40GPa的金属掺杂不含氢 碳薄膜 非金属掺杂非晶碳薄膜 X doped Amorphous Carbon Films a-C:X Films 特指硬度低于 40GPa的非金属掺杂不含 氢碳薄膜 非晶含氢碳薄膜 Amorphous hydrogenated Carbon Films a-C:H Films 特指硬度低于 40GPa的含氢碳薄膜 金属掺杂含氢非晶碳薄 Metal doped Amorphous a-C:H:Me Films 特指硬度低于 40GPa的金属掺杂含氢碳 全国团体标准信息平台 T/CI 003 —2023 2 中文名 英文全称 英文缩写 说明 膜 hydrogenated Carbon Films 薄膜 非金属掺杂非晶含氢碳 薄膜 X doped Amorphous hydrogenated Carbon Films a-C:H:X Films 特指硬度低于 40GPa的非金属掺杂含氢 碳薄膜 四面体碳薄膜 Tetrahedron Carbon Films ta-C Films 特指硬度大于 40GPa的不含氢碳薄膜 金属掺杂四面体碳薄膜 Metal doped tetrahedron Carbon Films ta-C:Me Films 特指硬度大于 40GPa的金属掺杂不含氢 碳薄膜 非金属掺杂四面体碳薄 膜 X doped tetrahedron Carbon Films ta-C:X Films 特指硬度大于 40GPa的非金属掺杂不含 氢碳薄膜 含氢四面体碳薄膜 Tetrahedron hydrogenated Carbon Films ta-C:H Films 特指硬度大于 40GPa的含氢碳薄膜 金属掺杂含氢四面体碳 薄膜 Metal doped tetrahedron hydrogenated Carbon Films ta