(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210698849.5 (22)申请日 2022.06.20 (71)申请人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区沙河镇昌平路 97号7幢5层5 03-1室 (72)发明人 胡勇　周明辉　王佳文　马铁中　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/73(2017.01) (54)发明名称 芯片定位方法、 系统、 计算机及可读存储介 质 (57)摘要 本发明提供了一种芯片定位方法、 系统、 计 算机及可读存储介质， 该方法包括通过镜头对当 前晶圆进行局部扫描， 以获取到芯片的局部定位 坐标以及芯片之间的位置数据； 计算出芯片对应 的参考间距 值， 并根据局部定位坐标以及参考间 距值计算出当前镜头对应的镜头参数； 获取到芯 片的整体定位坐标， 并根据镜头内参以及镜头畸 变参数消除整体定位坐标中的畸变坐标， 以生成 线性定位坐标； 对线性定位坐标进行标准化处 理， 以生成理论定位坐标， 并将理论定位坐标中 的理论芯片坐标值替换掉整体定位坐标中的实 际芯片坐标值。 通过上述方式在计算出镜头参数 之后， 就可以反复扫描同一产品的不同晶圆， 生 成的检测结果 准确、 稳定， 消除了 定位偏差 。 权利要求书2页 说明书12页 附图3页 CN 114972308 A 2022.08.30 CN 114972308 A 1.一种芯片定位方法， 其特征在于， 应用于晶圆上， 所述晶圆的表面排布有若干芯片， 所述方法包括： 通过镜头对当前晶圆进行局部扫描， 以获取到当前所述晶圆表面上的若干芯片的局部 定位坐标以及若干所述芯片之 间的位置数据， 所述位置数据包括若干所述芯片之 间的行间 距以及列间距； 根据所述行间距以及所述列间距计算出若干所述芯片对应的参考间距值， 并基于预设 算法根据所述局部定位坐标以及所述参考间距值计算出当前所述镜头对应的镜头参数， 所 述镜头参数包括镜 头内参以及镜 头畸变参数； 通过当前所述镜头对所述晶圆进行全盘扫描， 以获取到当前所述晶圆表面上的若干所 述芯片的整体定位坐标， 并根据所述镜头内参以及所述镜头畸变参数消除所述整体定位坐 标中的畸变坐标， 以生成对应的线性定位 坐标； 基于预设单映矩阵对所述线性定位坐标进行标准化处理， 以生成对应的理论定位坐 标， 并将所述理论定位坐标中的理论芯片坐标值替换掉所述整体定位坐标中的实际芯片坐 标值。 2.根据权利要求1所述的芯片定位方法， 其特征在于： 所述根据 所述行间距以及所述列 间距计算出若干所述芯片对应的参 考间距值的步骤 包括： 当获取到若干所述芯片之间的所述行间距以及所述列间距时， 筛选出所述行间距以及 所述列间距中的极大值以及极小值， 并计算出所述行间距以及所述列间距剩余的中间值所 对应的平均值， 以将所述平均值设定为所述 参考间距值。 3.根据权利要求1所述的芯片定位方法， 其特征在于： 所述基于预设单映矩阵对所述线 性定位坐标进行 标准化处理， 以生成对应的理论定位 坐标的步骤 包括： 将若干所述芯片的理论定位坐标输入至空白的映射矩阵中， 并基于RANSAC算法对所述 映射矩阵进行拟合， 以生成所述单映矩阵； 通过所述单映矩阵将所述线性定位坐标映射到标准矩形格上， 以生成对应的理论定位 坐标。 4.根据权利要求3所述的芯片定位方法， 其特征在于： 所述将所述理论定位坐标中的理 论芯片坐标值 替换掉所述整体定位 坐标中的实际芯片坐标值的步骤 包括： 通过所述单映矩阵计算出所述标准矩形格对应图像上的理论定位坐标， 并将所述理论 定位坐标中的理论芯片坐标值与所述整体定位坐标中的实际芯片坐标值进 行比对， 以获取 到所述理论芯片坐标值与所述实际芯片坐标值之间的定位 误差； 判断每一所述芯片对应的理论芯片坐标值与实际芯片坐标值之间的定位误差是否大 于预设阈值； 若判断到存在芯片对应的理论芯片坐标值与实际芯片坐标值之间的定位误差大于预 设阈值， 则将所述理论定位坐标中的理论芯片坐标值替换掉所述整体定位坐标中的实际芯 片坐标值。 5.根据权利要求1所述的芯片定位方法， 其特征在于： 所述将所述理论定位坐标中的理 论芯片坐标值 替换掉所述整体定位 坐标中的实际芯片坐标值的步骤 还包括： 当获取到所述理论定位坐标时， 根据 所述镜头 内参以及所述镜头畸变参数将所述理论 定位坐标中的理论芯片坐标值反向计算到所述整体定位坐标中， 以在所述整体定位坐标中权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114972308 A 2将所述理论芯片坐标值 替换掉所述实际芯片坐标值。 6.一种芯片定位系统， 其特征在于， 应用于晶圆上， 所述晶圆的表面排布有若干芯片， 所述系统包括： 第一获取模块， 用于通过镜头获取当前晶圆的检测图像， 以获取到当前所述晶圆表面 上的若干芯片的局部定位坐标以及若干所述芯片之 间的位置数据， 所述位置数据包括若干 所述芯片之间的行间距以及列间距； 计算模块， 用于根据 所述行间距以及所述列间距计算出若干所述芯片对应的参考间距 值， 并基于预设算法根据所述局部定位坐标以及所述参考间距值计算出当前所述镜头对应 的镜头参数， 所述镜 头参数包括镜 头内参以及镜 头畸变参数； 第二获取模块， 用于通过当前所述镜头对所述晶圆进行全盘扫描， 以获取到当前所述 晶圆表面上的若干所述芯片的整体定位坐标， 并根据所述镜头内参以及所述镜头畸变参数 消除所述整体定位 坐标中的畸变坐标， 以生成对应的线性定位 坐标； 处理模块， 用于基于预设单映矩阵对所述线性定位坐标进行标准化处理， 以生成对应 的理论定位坐标， 并将所述理论定位坐标中的理论芯片坐标值替换掉所述整体定位坐标中 的实际芯片坐标值。 7.根据权利要求6所述的芯片定位系统， 其特 征在于： 所述计算模块具体用于： 当获取到若干所述芯片之间的所述行间距以及所述列间距时， 筛选出所述行间距以及 所述列间距中的极大值以及极小值， 并计算出所述行间距以及所述列间距剩余的中间值所 对应的平均值， 以将所述平均值设定为所述 参考间距值。 8.根据权利要求6所述的芯片定位系统， 其特 征在于： 所述处 理模块具体用于： 将若干所述芯片的理论定位坐标输入至空白的映射矩阵中， 并基于RANSAC算法对所述 映射矩阵进行拟合， 以生成所述单映矩阵； 通过所述单映矩阵将所述线性定位坐标映射到标准矩形格上， 以生成对应的理论定位 坐标。 9.一种计算机， 包括存储器、 处理器以及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运 行的计算机程序， 其特征在于， 所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至5中 任意一项所述的芯片定位方法。 10.一种可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 该程序被处理器执行时 实现如权利要求1至 5中任意一项所述的芯片定位方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114972308 A 3