(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111322816.2 (22)申请日 2021.11.09 (71)申请人 成都海光微电子技 术有限公司 地址 610041 四川省成 都市高新区天府大 道中段1366号2栋天府软件园E5座12 层23-32号 (72)发明人 詹扬扬　 (74)专利代理 机构 北京市广友专利事务所有限 责任公司 1 1237 代理人 张仲波 (51)Int.Cl. G06F 30/27(2020.01) G06F 16/903(2019.01) G06F 16/906(2019.01) G06K 9/62(2022.01)G06N 20/00(2019.01) G06F 119/02(2020.01) (54)发明名称 一种芯片良率的监测方法及装置、 电子设 备、 存储介质 (57)摘要 本发明实施例公开一种芯片良率的监测方 法及装置、 电子设备、 存储介质， 涉及半导体加工 技术领域， 能够有效提高芯片良率监测的准确率 和时效性。 所述方法包括： 根据芯片在预设测试 中的测试结果， 分别确定各监测对象的良率信 息， 其中， 所述良率信息包括芯片良率和/或良率 损失， 每个所述监测对象包括以下任一种： 同一 批次的芯片、 同一晶圆上的芯片、 同一晶圆上同 一预设区域内的芯片； 根据所述良率信息， 将各 所述监测对象划分为至少两个对象集合； 从所述 至少两个对象集合中查找目标集合， 以根据所述 目标集合中各监测对象对应的工艺信息调整芯 片工艺， 其中， 所述目标集合携带所述良率信息 波动的预警信息。 本发明可用于半导体加工的良 率控制。 权利要求书4页 说明书15页 附图8页 CN 113987954 A 2022.01.28 CN 113987954 A 1.一种芯片良率的监测方法， 其特 征在于， 包括： 根据芯片在预设测试中的测试结果， 分别确定各监测对象的良率信 息， 其中， 所述良率 信息包括芯片良率和/或良率损失， 每个所述监测对 象包括以下任一种： 同一批次的芯片、 同一晶圆上的芯片、 同一晶圆上同一预设区域内的芯片； 根据所述良率信息， 将各 所述监测对象划分为至少两个对象集 合； 从所述至少两个对象集合中查找目标集合， 以根据 所述目标集合中各监测对象对应的 工艺信息调整芯片工艺， 其中， 所述目标集 合携带所述良率信息波动的预警信息 。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述根据芯片在预设测试中的测试结果， 分别确定各监测对象的良率信息包括： 从测试日志中获取每个所述监测对象内、 落入各失效类别的失效芯片的数量， 所述数 量包括各失效类别中的失效芯片的总失效数量和/或每个失效类别中的失效芯片的每类失 效数量； 根据每个所述监测对象内、 落入各失效类别的所述失效芯片的数量以及所述监测对象 内的芯片总 数， 分别确定各所述监测对象的良率信息， 得到第一良率信息， 其中， 所述第一 良率信息包括所述总失效数量对应的良率和/或所述每 类失效数量对应的每 类良率损失。 3.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述根据芯片在预设测试中的测试结果， 分别确定各监测对象的良率信息包括： 从测试日志中获取每个所述监测对象内， 落入每个失效类别的失效芯片的数量， 得到 每类失效数量； 确定各所述失效类别对应的失效组， 其中， 所述失效组根据引起芯片失效的原因划分， 每个所述失效组对应至少一个所述失效类别， 每 个所述失效类别对应一个所述失效组； 根据每个所述监测对象内的所述每类失效数量， 以及各所述失效类别对应的失效组， 确定每个所述监测对象内、 落入每 个所述失效组的失效芯片的数量， 得到每组失效数量； 根据每个所述监测对象内的各所述每组失效数量， 以及同一所述监测对象内的芯片总 数， 分别确定每 个所述监测对象内、 每 个失效组的良率损失， 得到第二良率信息 。 4.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述失效组包括以下至少一项： 缺陷致因 失效组、 器件特性 致因失效组、 测试致因失效组、 未定因失效组。 5.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述良率信息， 将各所述监测对 象划分为至少两个对象集 合包括： 根据所述第二良率信息， 在每个所述失效组中， 将各所述监测对象划分为至少两个对 象集合； 所述从所述至少两个对象集 合中查找目标集 合包括： 从每个所述失效组对应的所述至少两个对象集合中， 查找对应的备选集合， 其中， 所述 备选集合携带所述良率信息波动的第一预警信息； 将所述第 一预警信 息输入预设模型， 得到所述目标集合， 其中， 所述预设模型包括人工 智能模型和/或脚本模型， 所述目标集 合携带所述良率信息波动的第二预警信息 。 6.根据权利要求5所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述第二良率信息， 在每个所述 失效组中， 将各 所述监测对象划分为至少两个对象集 合包括： 根据预设聚类算法， 在每个所述失效组中对各所述监测对象的所述良率损失进行聚权　利　要　求　书 1/4 页 2 CN 113987954 A 2类， 以在每 个所述失效组中， 将各 所述监测对象划分为至少两个对象集 合； 和/或 根据预设规则， 在每个所述失效组中对各所述监测对象的所述良率损 失进行分类， 以 在每个所述失效组中， 将各 所述监测对象划分为至少两个对象集 合。 7.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述良率信息， 将各所述监测对 象划分为至少两个对象集 合包括以下至少一项： 根据预设聚类算法， 对各所述监测对象的所述芯片良率或所述良率损 失进行聚类， 以 将各所述监测对象划分为至少两个对象集 合； 根据预设规则， 对各所述监测对象的所述芯片良率或所述良率损 失进行分类， 以将各 所述监测对象划分为至少两个对象集 合。 8.根据权利要求7 所述的方法， 其特 征在于， 所述方法还 包括： 响应于根据所述预设聚类算法得到的对象集合， 与根据 所述预设规则得到的对象集合 不一致， 基于预设策略选择其中一种对象集 合作为划分结果。 9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法， 其特征在于， 所述从所述至少两个对象集 合中查找目标集 合包括以下至少一项： 根据各所述对象集合之间的所述良率信 息的差异程度， 从所述至少两个对象集合中查 找目标集 合； 根据各所述对象集合中所包含的所述监测对象的数量， 从所述至少两个对象集合中查 找目标集 合； 根据各所述对象集合与预设集合规则的差异， 从所述至少两个对象集合中查找目标集 合。 10.根据权利要求1至8中任一项所述的方法， 其特征在于， 所述从所述至少两个对象集 合中查找目标集 合之后， 所述方法还 包括： 以可视化方式展示所述目标集合中各所述监测对象对应的所述工艺信 息， 所述工艺信 息包括以下至少一种： 芯片良率、 良率损失、 加工信息、 测试信息 。 11.一种芯片良率的监测装置， 其特 征在于， 包括： 确定单元， 用于根据芯片在预设测试中的测试结果， 分别确定各监测对象的良率信 息， 其中， 所述良率信息包括芯片良率和/或良率损失， 每个所述监测对象包括以下任一种： 同 一批次的芯片、 同一晶圆上的芯片、 同一晶圆上同一预设区域内的芯片； 划分单元， 用于根据所述良率信息， 将各 所述监测对象划分为至少两个对象集 合； 查找单元， 用于从所述至少两个对象集合中查找目标集合， 以根据所述目标集合中各 监测对象对应的工艺信息调整芯片工艺， 其中， 所述 目标集合携带所述良率信息波动的预 警信息。 12.根据权利要求1 1所述的装置， 其特 征在于， 所述确定单 元包括： 第一获取模块， 用于从测试日志中获取每个所述监测对象内、 落入各失效类别的失效 芯片的数量， 所述数量包括各失效类别中的失效芯片的总失效数量和/或每个失效类别中 的失效芯片的每 类失效数量； 第一确定模块， 用于根据每个所述监测对象内、 落入各失效类别的所述失效芯片的数 量以及所述监测对 象内的芯片总 数， 分别确定各所述监测对 象的良率信息， 得到第一良率权　利　要　求　书 2/4 页 3 CN 113987954 A 3