(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111466631.9 (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人 曲面超精密光电(深圳)有限公司 地址 518035 广东省深圳市南 山区粤海街 道山海街高新区区高新南环路26号深 圳湾科技 生态园5栋裙楼211 (72)发明人 黄连恕　刘宝华　 (74)专利代理 机构 东莞市卓易专利代理事务所 (普通合伙) 44777 代理人 张晓华 (51)Int.Cl. H05K 3/40(2006.01) G06F 30/20(2020.01) H01Q 1/38(2006.01) F16C 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种创新型滚轮的制作方法 (57)摘要 本发明涉及滚轮领域， 具体为一种创新型滚 轮的制作方法， 其包括以下步骤： S1、 选 择5G薄膜 天线和压力传感器功能的最佳电路图方案； S2、 对5G薄膜来进行光刻和钻孔； S3、 将钻孔后具有 电路的薄膜， 放入电镀设备中来进行电镀， 用湿 式蚀刻的方法， 将不需要的部分去除； S4、 将薄膜 表面的线路镀上镍金； S5、 在薄膜表面上镀上一 层铟化合物； S6、 将5G薄膜天线和静电吸盘薄膜 利用胶粘接在一起， 然后灌胶形成滚轮； S7、 对滚 轮进行抛光和量测。 本发明中， 让静电吸附薄膜 同时具有张力量测能力， 透过 实时数据的反馈来 确保正常生产和调整工艺参数以提高良率， 让生 产变得更加智能化。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 114143981 A 2022.03.04 CN 114143981 A 1.一种创新型滚轮的制作方法， 包括以下步骤： S1、 利用电路设计软件、 仿真软件、 搭配材料的介电参数以及算法来进行仿真设计， 选 择出5G薄膜天线和压力传感器功能的最佳电路图方案； S2、 将5G薄膜天线和具有压力传感功能的电路图以卷对卷生产设备， 搭配上绿光皮秒 激光设备， 对薄膜来进行光刻和钻孔； S3、 将钻孔后具有电路的薄膜， 放入电镀设备中来进行电镀， 让薄膜表面镀铜， 将此薄 膜用湿式蚀刻的方法， 将不需要的部分去除； S4、 将薄膜表面已经镀上铜的线路以电镀或无电镀的方式再镀上镍金， 达到对铜线路 抗氧化的保护； S5、 将已经形成镍金保护层的薄膜放入真磁控溅射设备的腔体中， 并搭配高纯度的铟 化合物靶 材， 在表面上镀上一层铟化合物， 以达到电磁屏蔽效应； 静电吸盘薄膜背面也是以 真空磁控溅射的设备镀上铟化 合物， 来同时进行隔绝保护； S6、 将5G薄膜天线和静电吸盘薄膜利用胶粘接贴合在一起， 然后和聚胺脂灌胶在一起 形成滚轮； S7、 对滚轮进行抛光和量测， 使其符合设计规范， 滚轮轴心上预留可选转式的端口， 将 滚轮安装在轴承座上， 轴承座上安装张力传感器。 2.根据权利要求1所述的创新型滚轮的制作方法制作的滚轮， 其特征在于， 包括轴承座 (1)、 滚轮(2)、 张力传 感器(3)和静电吸附薄膜(4)； 滚轮(2)转动设置在两组轴承座(1)上； 张力传感器(3)设置在轴承座(1)上； 静电吸附薄膜(4)设置在滚轮(2)外周壁上， 静电吸附 薄膜(4)上设置 压力传感器(5)， 静电吸附薄膜(4)上设置有5G 薄膜天线。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114143981 A 2一种创新型滚轮 的制作方 法 技术领域 [0001]本发明涉及滚轮领域， 具体是一种 创新型滚轮的制作方法。 背景技术 [0002]目前滚轮已被广泛的运用在膜料生产、 分条、 卷对卷镀膜工艺和锂离子电池芯的 生产设备上， 但由于目前业界并没有 可以将滚轮的张力数据透过无线通信实时传送到控制 中心来进行调整的产品， 所以， 必须借由外加的张力计才可以得到张力数据， 再对滚轮做出 调整， 费时费力。 发明内容 [0003]本发明目的是针对背景技术中存在的问题， 提出一种可实时获取张力数据的创新 型滚轮的制作方法。 [0004]一方面， 本发明提出一种 创新型滚轮的制作方法， 包括以下步骤： [0005]S1、 利用电路设计软件、 仿真软件、 搭配材料的介电参数以及算法来进行仿真设 计， 选择出5G薄膜天线和压力传感器功能的最佳电路图方案； [0006]S2、 将5G薄膜天线和 具有压力传感功能的电路 图以卷对卷生产设备， 搭配上绿光 皮秒激光设备， 对薄膜来进行光刻和钻孔； [0007]S3、 将钻孔后具有电路的薄膜， 放入电镀设备中来进行电镀， 让薄膜表面镀铜， 将 此薄膜用湿式蚀刻的方法， 将不需要的部分去除； [0008]S4、 将薄膜表面已经镀上铜的线路以电镀或无电镀的方式再镀上镍金， 达到对铜 线路抗氧化的保护； [0009]S5、 将已经形成镍金保护层的薄膜放入真磁控溅射设备的腔体中， 并搭配高纯度 的铟化合物靶材， 在表面上镀上一层铟化合物， 以达到电磁屏蔽效应； 静电吸盘薄膜背面也 是以真空磁控溅射的设备镀上铟化 合物， 来同时进行隔绝保护； [0010]S6、 将5G薄膜天线和静电吸盘薄膜利用胶粘接贴合在一起， 然后和聚胺脂灌胶在 一起形成滚轮； [0011]S7、 对滚轮进行抛光和量测， 使其符合设计规范， 滚轮轴心上预留可选转式的端 口， 将滚轮安装在轴承座上， 轴承座上安装张力传感器。 [0012]另一方面， 本发明提出根据创新型滚轮的制作方法制作的滚轮， 包括轴承座、 滚 轮、 张力传感器和静电吸附薄膜； 滚轮转动设置在两组轴承座上； 张力传感器设置在轴承座 上； 静电吸附薄膜设置在 滚轮外周壁上， 静电吸附薄膜上设置压力 传感器， 静电吸附薄膜上 设置有5G 薄膜天线。 [0013]与现有技术相比， 本发明具有如下有益的技术效果： 让静电吸附薄膜同时具有张 力量测能力， 透过实时数据的反馈来调整工艺参数以提高良率， 让生产变得更加智能化， 达 到质的提升； 张力数据的可透过5 G天线的及时反馈， 可以对静电吸附薄膜和滚轮做出保护， 以延长滚轮式静电吸 附薄膜的使用寿命； 透过张力的变化， 可以确认滚轮式静电吸 附薄膜说　明　书 1/3 页 3 CN 114143981 A 3