(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222210872.3 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 大连地拓 重工有限公司 地址 116000 辽宁省大连市普 兰店区海 湾 工业区振兴街16号 (72)发明人 李伟　李斌　赵小江　孙乐　 (51)Int.Cl. F16F 15/00(2006.01) F16F 15/067(2006.01) F16M 11/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种主被动并联的防微振平台 (57)摘要 本实用新型提供一种主被动并联的防微振 平台， 包括顶板、 隔振装置和底座， 所述隔振装置 为四个分别安装在底座顶部四个角， 所述隔振装 置包括支撑板、 外壳和推杆， 所述外壳顶部开设 有通孔， 所述推杆安装在支撑板底部中间， 所述 推杆穿过通孔插入外壳内部， 所述推杆底部连接 有底板， 所述推杆外侧、 支撑板和外壳之间套装 有预压弹簧A， 所述推杆外侧、 外壳和底板之间套 装有预压弹簧B， 所述底板底部与外壳之间安装 有压电驱动器。 本实用新型通过上下两个并联的 预压弹簧实现高频被动隔振， 并通过与预压弹簧 并联的压电驱动器实现低频主动隔振。 本实用新 型结构简单， 采用垂向并联方式占地面积小， 稳 定性高， 定位精确， 隔振带宽 。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 218177816 U 2022.12.30 CN 218177816 U 1.一种主被动并联的防微振平台， 包括顶板、 隔振装置和底座， 其特征在于， 所述隔振 装置为四个 分别安装在底座顶部四个角， 所述隔振装置包括支撑板、 外壳和推杆， 所述外壳 顶部开设有通孔， 所述推杆安装在支撑板底部中间， 所述推杆穿过通孔插入外壳内部， 所述 推杆底部连接有底板， 所述推杆外侧、 支撑板和外壳之间套装有 预压弹簧A， 所述推杆外侧、 外壳和底板之 间套装有 预压弹簧B， 所述底板底部与外壳之间安装有压电驱动器， 所述顶板 底部还安装有位置传感器和速度传感器， 所述底座顶部安装有控制 器， 所述控制器与位置 传感器、 速度传感器、 压电驱动器通过电缆连接 。 2.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振平台， 其特征在于， 所述顶板和底座 均由不锈钢板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振平台， 其特征在于， 所述外壳由不锈 钢圆管制成。 4.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振平台， 其特征在于， 所述支撑板和底 板均由不锈钢板制成圆形 结构。 5.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振平台， 其特征在于， 所述预压弹簧A、 预压弹簧B均为预压金属弹簧。 6.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振平台， 其特征在于， 所述推杆与外壳 上的通孔滑动连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218177816 U 2一种主被动并联的防微振平台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及隔振 装置技术领域， 具体是一种主被动并联的防微振平台。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 振 动控制部分是隔振平台的核心， 针对中高频振动， 多采用被动隔振， 被动隔振结构简单、 工 作可靠、 不依赖电源， 可以有效地隔绝中高频振动干扰。 针对低频甚至或超低频振动， 多采 用主动隔振。 但是精密仪器所处环境不是单一的高频振动 或低频振动， 是多种 频率的复杂 的振动环境， 而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动， 对于复杂振动环境的隔振能 力较差。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种主被动并联的防微振平台， 以解决上述背景技术中 存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种主被动并联的防微振平台， 包括顶板、 隔振装置和底座， 所述隔振装置为四个 分别安装在底座顶部四个角， 所述隔振装置包括支撑板、 外壳和推杆， 所述外壳顶部开设有 通孔， 所述推杆安装在支撑板底部中间， 所述推杆穿过通孔插入外壳内部， 所述推杆底部连 接有底板， 所述推杆外侧、 支撑板和外壳之间套装有 预压弹簧A， 所述推杆外侧、 外壳和底板 之间套装有 预压弹簧B， 所述底板底部与外壳之间安装有压电驱动器， 所述顶板底部还安装 有位置传感器和速度传感器， 所述底 座顶部安装有控制器， 所述控制器与位置传感器、 速度 传感器、 压电驱动器通过电缆连接 。 [0007]进一步地， 所述顶板和底座均由不锈钢板制成矩形 结构。 [0008]进一步地， 所述外壳由不锈钢圆管制成。 [0009]进一步地， 所述支撑 板和底板均由不锈钢板制成圆形 结构。 [0010]进一步地， 所述预压弹簧A、 预压弹簧B均为预压金属弹簧。 [0011]进一步地， 所述推杆与外壳上的通 孔滑动连接 。 [0012]进一步地， 所述支撑 板顶部与顶板底部连接 。 [0013]本实用新型的有益效果 为： [0014]本实用新型通过上下两个并联的预压弹簧实现 高频被动隔振， 并通过与预压弹簧 并联的压电驱动器实现低频主动隔振。 本实用新型结构简单， 采用垂向并联方式占地面积说　明　书 1/2 页 3 CN 218177816 U 3