(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221486843.3 (22)申请日 2022.06.14 (73)专利权人 英特尔产品 （成 都） 有限公司 地址 611731 四川省成 都市高新 技术开发 区西区科新路8-1号 专利权人 英特尔公司 (72)发明人 王昭　赵林　 (74)专利代理 机构 北京永新同创知识产权代理 有限公司 1 1376 专利代理师 孙贤溥 (51)Int.Cl. H01L 21/60(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B23K 37/00(2006.01) (54)实用新型名称 加球单元 (57)摘要 本实用新型提供一种加球单元， 包括： 用于 储存球体的储存容器； 通过第一输送管与所述储 存容器连通并且位于所述储存容器下方的转运 部件； 向所述转运部件供给加压气体的气动系 统； 以及将所述转运部件 连通到接收器的第二输 送管， 所述加压气体将所述球体通过所述第二输 送管吹到所述接收器； 其特征在于， 所述加球单 元还包括气动阻力减小装置， 所述气动阻力减小 装置能够减小或消除所述球体从所述储存容器 下落到所述转运部件 过程中的气动阻力。 根据本 实用新型的加球单 元可以实现连续高效地加球 。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217983269 U 2022.12.06 CN 217983269 U 1.一种加球单 元， 包括： 用于储存球体的储存容器(23)； 通过第一输送管(25)与所述储存容器(23)连通并且位于所述储存容器(23)下方的转 运部件(27)； 向所述转运部件(27)供 给加压气体的气动系统(2 9)； 以及 将所述转运部件(27)连通到接收器的第二输送管(31)， 所述加压气体将所述球体通过 所述第二输送管(31)吹到所述接收器； 其特征在于， 所述加球单元还包括气动阻力减小装置， 所述气动阻力减小装置能够减 小或消除所述球 体从所述储 存容器(23)下落到所述 转运部件(27)过程中的气动阻力。 2.如权利要求1所述的加球单元， 其特征在于， 所述转运部件(27)呈两端张开且中间缩 小的文丘里管状， 所述转运部件(27)在一端与所述气动系统(29)连通， 在另一端通过所述 第二输送管(31)连通到所述接收器， 所述储存容器(23)通过所述第一输送管(25)在中间缩 小部与所述 转运部件(27)连通， 使得 所述转运部件(27)构成所述气动阻力减小装置 。 3.如权利要求1所述的加球单元， 其特征在于， 所述气动阻力减小装置包括设置在从所 述气动系统(29)到所述转运部件(27)的气体管路上的电磁阀(35)， 所述电磁阀(35)被配置 成周期性地打开和关闭， 以便向所述转运部件(27)供给所述加压气体或者中 断向所述转运 部件(27)供 给所述加压气体。 4.如权利要求3所述的加球单元， 其特征在于， 通过脉冲宽度调制方波信号来控制用于 操作所述电磁阀(3 5)的电源的电压， 以便控制所述电磁阀(3 5)的打开和关闭。 5.如权利要求4所述的加球单元， 其特征在于， 通过改变所述脉冲宽度调制方波信号的 占空比来改变一个周期中所述电磁阀的打开时间和关闭时间。 6.如权利要求3所述的加球单元， 其特征在于， 所述转运部件(27)呈两端张开且中间缩 小的文丘里管状， 呈文丘里管状的所述转运部件(27)在一端通过所述气 体管路与所述气动 系统(29)连通， 在另一端通过所述第二输送管(31)连通到所述接收器， 所述储存容器(23) 通过所述第一输送管(25)在中间缩小部与所述 转运部件(27)连通。 7.如权利要求1所述的加球单 元， 其特征在于， 所述储 存容器(23)呈漏斗状。 8.如权利要求1所述的加球单元， 其特征在于， 所述接收器是芯片制造过程中植球工艺 使用的供球单 元的分配 器。 9.如权利要求1所述的加球单元， 其特征在于， 所述球体是芯片制造过程中植球工艺使 用的焊球。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217983269 U 2加球单元 技术领域 [0001]本实用新型涉及芯片制造中的植球工艺， 尤其涉及在植球过程中使用的加球单 元。 背景技术 [0002]在诸如芯片制造 的半导体工业中， 植球是一个常见的工艺。 首先要在位于基板上 的植球垫上涂布一层助焊剂， 接着将诸如锡球的焊球放置于植球垫上， 随后通过回流焊使 焊球熔融后与植球垫接合在一起。 在用于植球的设备中集成有加球单元， 以便通过气动系 统将焊球从储存容器输送补充到供球单元 的分配器中。 图1示意性地显示了现有的加球单 元。 如图1所示， 现有的加球单元包括储存容器3、 通过第一输送管5与储存容器3连通并且位 于储存容器3下方的转运部件 7、 给转运部件 7输送加压气体的气动系统9、 以及将转运部件 7 连通到供球单元的分配器13的第二输送管11。 焊球借助于重力从储存容器3落入密闭的转 运部件7中， 落入转运部件7中的焊球借助于气动系统9供给的加压气体通过第二输送管11 被吹到供球单 元的分配 器13中。 [0003]在现有的加球单元中， 加压气体在将焊球从转运部件吹到供球单元的分配器中的 同时， 也会产生气动阻力， 阻止焊球从储存容器落入转运部件， 导致焊球的输送补充速度降 低并且不能形成连续输送补充。 [0004]因此， 需要对现有的加球单 元进行改进。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的就是要提供一种加球单元， 这种加球单元可以克服上述现有技 术中的至少一个缺 点。 [0006]根据本实用新型的一个方面， 提供一种加球单 元， 包括： [0007]用于储存球体的储存容器； [0008]通过第一输送管与所述储 存容器连通并且位于所述储 存容器下 方的转运部件； [0009]向所述转运部件供 给加压气体的气动系统； 以及 [0010]将所述转运部件连通到接收器的第二输送管， 所述加压气体将所述球体通过所述 第二输送管吹到所述接收器； [0011]其特征在于， 所述加球单元还包括气动阻力减小装置， 所述气动阻力减小装置能 够减小或消除所述球 体从所述储 存容器下落到所述 转运部件过程中的气动阻力。 [0012]优选地， 所述转运部件呈两端张开且中间缩小的文丘里管状， 所述转运部件在一 端与所述气动系统连通， 在另一端通过所述第二输送管连通到所述接 收器， 所述储存容器 通过所述第一输送管在中间缩小部与所述转运部件连通， 使得所述转运部件构成所述气动 阻力减小装置 。 [0013]优选地， 所述气动阻力减小装置包括设置在从所述气动系统到所述转运部件的气 体管路上 的电磁阀， 所述电磁阀被配置成周期性地打开和关闭， 以便 向所述转运部件供给说　明　书 1/4 页 3 CN 217983269 U 3