(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221970700.X (22)申请日 2022.07.28 (73)专利权人 苏州天资电子科技有限公司 地址 215400 江苏省苏州市太 仓市城厢镇 太仓世纪广场财富商务大厦16 05室 (72)发明人 陈帅　 (74)专利代理 机构 合肥市科融知识产权代理事 务所(普通 合伙) 34126 专利代理师 王前程 (51)Int.Cl. B24B 19/22(2006.01) B24B 41/00(2006.01) B24B 47/12(2006.01) B24B 47/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片背部打磨装置 (57)摘要 本实用新型属于 打磨装置技术领域， 尤其涉 及一种芯片背部打磨装置， 所述 芯片背部打磨 装 置包括： 底板； 以及设在所述底板一侧的打磨组 件， 用于对芯片背部进行打磨； 所述打磨组件包 括： 与所述底板固定连接的支架； 以及设在所述 支架内部的第一驱动件； 所述第一驱动件的输出 端上固定连接有第一螺杆， 所述第一螺杆与支架 转动连接； 所述第一螺杆上通过螺纹连接有第一 滑块， 所述第一滑块滑动连接在支架内部。 本实 用新型通过设置转运组件， 使得装置得以对芯片 进行批量打磨， 在本实施例中， 通过将打磨组件 和转运组件 结合， 从而使 得装置得以对芯片进行 批量自动无死角打磨， 同时打磨效果高， 效果好， 更加适宜 推广使用。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217914565 U 2022.11.29 CN 217914565 U 1.一种芯片背部打磨装置， 其特 征在于， 所述芯片背部打磨装置包括： 底板； 以及设在所述底板一侧的打磨组件， 用于对芯片背部进行打磨； 所述打磨组件 包括： 与所述底板固定连接的支 架； 以及设在所述支 架内部的第一驱动件； 所述第一驱动件的输出端上固定连接有第一螺杆， 所述第一螺杆与支 架转动连接； 所述第一螺杆上通过螺纹连接有第一滑块， 所述第一滑块滑动连接在支架内部； 以及 固定连接在所述第一滑块上的第一调节杆； 所述第一调节杆的内部设有打磨头； 与所述打磨头转动连接的连接杆； 所述连接杆 上远离打磨头的一侧与支 架转动连接； 所述打磨头上靠近连接杆的一侧固定连接有皮带传动件； 所述皮带传动件上远离打磨 头的一侧固定连接有第二驱动件。 2.根据权利要求1所述的芯片背部打磨装置， 其特征在于， 所述支架的内部还固定连接 有第三驱动件， 所述第三驱动件的输出端上固定连接有第二螺杆， 所述第二螺杆与支架转 动连接， 所述第二螺杆上通过螺纹连接有第二滑块， 所述第二滑块上固定连接有第二调节 杆， 所述第二调节杆设在打磨头 外侧。 3.根据权利要求1所述的芯片背部打磨装置， 其特征在于， 所述芯片背部打磨装置还包 括： 转运组件， 与所述底板连接， 用于对芯片进行转 运。 4.根据权利要求3所述的芯片背部打磨装置， 其特 征在于， 所述 转运组件包括： 动力辊， 转动连接在所述底板上； 以及设在所述动力辊外侧的传送带； 所述传送带 上开有卡槽 。 5.根据权利要求3所述的芯片背部打磨装置， 其特征在于， 所述转运组件的数量为两 组， 两组相同的所述 转运组件对称分布在底板 两侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217914565 U 2一种芯片背部打磨装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于打磨装置技 术领域， 尤其涉及一种芯片背部打磨装置 。 背景技术 [0002]集成电路是一种微型电子器件或部件， 采用一定 的工艺， 把一个电路中所需的晶 体管、 电阻、 电容和电感等元件及布线互连一起， 制作在一小块或几小块半导体晶片或介质 基片上。 [0003]当芯片在制造完成后， 需要对芯片的背部进行打磨， 保证芯片背部光滑， 便于对芯 片背部进行蚀刻等操作。 [0004]当现有的芯片背部打磨装置， 在使用中， 无法对芯片背部进行自动打磨， 需要人为 操作， 打磨效率低， 同时在打磨过程中容 易产生打磨死角， 打磨效果差 。 [0005]由上可见， 现有的芯片背部打磨装置， 无法对芯片背部进行自动无死角打磨， 打磨 效率低， 不 适宜推广使用。 实用新型内容 [0006]本实用新型实施例的目的在于提供一种芯片背部打磨装置， 以解决上述技术问 题， 所述芯片背部打磨装置包括： [0007]底板； 以及设在所述底板一侧的打磨组件， 用于对芯片背部进行打磨； [0008]所述打磨组件 包括： [0009]与所述底板固定连接的支 架； 以及设在所述支 架内部的第一驱动件； [0010]所述第一驱动件的输出端上固定连接有第一螺杆， 所述第一螺杆与支架转动连 接； [0011]所述第一螺杆上通过螺纹连接有第一滑块， 所述第一滑块滑动连接在支架内部； 以及固定连接在所述第一滑块上的第一调节杆； [0012]所述第一调节杆的内部设有打磨头； [0013]与所述打磨头转动连接的连接杆； [0014]所述连接杆 上远离打磨头的一侧与支 架转动连接； [0015]所述打磨头上靠近连接杆的一侧固定连接有皮带传动件； 所述皮带传动件上远离 打磨头的一侧固定连接有第二驱动件。 [0016]进一步的， 所述支架的内部还固定连接有第三驱动件， 所述第三驱动件的输出端 上固定连接有第二螺杆， 所述第二螺杆与支架转动连接， 所述第二螺杆上通过螺纹连接有 第二滑块， 所述第二滑块上固定连接有第二调节杆， 所述第二调节杆设在打磨头 外侧。 [0017]进一步的， 所述芯片背部打磨装置还 包括： [0018]转运组件， 与所述底板连接， 用于对芯片进行转 运。 [0019]进一步的， 所述 转运组件包括： [0020]动力辊， 转动连接在所述底板上； 以及设在所述动力辊外侧的传送带；说　明　书 1/4 页 3 CN 217914565 U 3