(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221893696.1 (22)申请日 2022.07.20 (73)专利权人 上海技美科技股份有限公司 地址 201100 上海市闵行区颛 兴东路745号 3幢307室 (72)发明人 吴小娟　 (74)专利代理 机构 北京华仁联合知识产权代理 有限公司 1 1588 专利代理师 王海霞 (51)Int.Cl. B24B 19/22(2006.01) B24B 41/02(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/22(2006.01) B24B 55/06(2006.01)B24B 55/12(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于半导体的加工设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于半导体的加工 设备， 包括工作台， 所述工作台的下端设置有除 尘机构， 所述夹持机构包括固定连接在工作台上 端后侧的限位槽， 所述限位槽的内中部设置有双 向螺杆， 所述双向螺杆的右侧贯穿限位槽的右侧 中部并固定连接有转把， 所述转把的中部两端外 周均螺纹连接有限位块， 所述限位块的前端均通 过限位杆连接有夹持块。 本实用新型所述的一种 用于半导体的加工设备， 通过在工作台的上端设 置夹持机构， 实现了可对不同大小的半导体材料 进行有效地夹持， 通过在工作台的下端设置除尘 机构， 实现了自动将研磨抛光产生的灰尘进行收 集， 避免需要人工后期对工作台的上端进行清 理， 节省了人工成本 。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218110307 U 2022.12.23 CN 218110307 U 1.一种用于半导体的加工设备， 包括工作台(1)， 其特征在于： 所述工作台(1)的下端设 置有除尘机构(2)， 所述工作台(1)的上端后侧设置有夹持机构(3)， 所述工作台(1)的上端 中部设置有龙门架(4)， 所述龙 门架(4)的下端固定连接有驱动机构(5)， 所述驱动机构(5) 的下端驱动端固定连接有 液压杆(6)， 所述液压杆(6)的下端驱动端固定连接有研磨 机(7)， 所述夹持机构(3)包括固定连接在工作台(1)上端后侧的限位槽(301)， 所述限位槽(301)的 内中部设置有双向螺杆(303)， 所述双向螺杆(303)的两端均通过(302)转动连接在限位槽 (301)的内两侧中部， 所述双向螺杆(303)的右侧贯穿限位槽(301)的右侧中部并固定连接 有转把(304)， 所述转把(304)的中部两端外周均螺纹连接有限位块(305)， 所述限位块 (305)的前端均通过限位杆 连接有夹持块(3 06)。 2.根据权利要求1所述的一种用于半导体的加工设备， 其特征在于： 所述限位块(305) 的外周均滑动连接在限位槽(301)的内周中部两侧， 所述夹持块(306)的下端均滑动连接在 工作台(1)的上端中部 两侧。 3.根据权利要求1所述的一种用于半导体的加工设备， 其特征在于： 所述驱动机构(5) 包括固定连接在龙门架(4)的内顶部驱动槽(501)， 所述驱动槽(501)的内中部设置有螺纹 杆(503)， 所述螺纹杆(503)的两端均通过第二限位轴承(502)转动连接在驱动槽(501)的内 两侧中部， 所述螺纹杆(503)的中部外周螺纹连接有驱动块(504)， 所述螺纹杆(503)的右端 固定连接在电动机(5 05)的左端驱动端。 4.根据权利要求3所述的一种用于半导体的加工设备， 其特征在于： 所述电动机(505) 的左端固定连接在龙门架(4)的右侧上端， 所述驱动块(504)的外周滑动连接在驱动槽 (501)的内部 。 5.根据权利要求1所述的一种用于半导体的加工设备， 其特征在于： 所述除尘机构(2) 包括固定连接在工作台(1)下端的储灰仓(201)， 所述储灰仓(201)的内下部滑动连接有储 灰抽屉(202)， 所述储灰仓(201)的内上端 中部设置有吸尘器(203)， 所述吸尘器(203)的前 端进尘口固定连接有吸尘管(204)， 所述吸尘管(204)的前端贯穿储灰仓(201)的前侧上端 中部并与集尘槽(205)的内部连通， 所述集尘槽(205)的下端固定连接在工作台(1)的上端 前侧。 6.根据权利要求5所述的一种用于半导体的加工设备， 其特征在于： 所述储灰仓(201) 的下端固定连接在底座(8)的上端， 所述底座(8)的下端四角均固定安装有万向轮(9)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218110307 U 2一种用于半导体的加工设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体加工技 术领域， 特别涉及一种用于半导体的加工设备。 背景技术 [0002]半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料， 半导体是指一种导 电性可控， 范围从绝缘体到导体之间的材料， 半导体在集成电路、 消费电子、 通信系统、 光伏 发电、 照明、 大功率电源转换等领域都有应用， 半导体在加工过程中， 需要对半导体材料进 行研磨抛光， 但是现有的半导体研磨抛光机， 在使用过程中发现， 主要存在以下两点不足， 一是半导体材料只能放置在 对应的研磨 盘中进行研磨， 研磨抛光机不能对不同大小的半导 体材料进 行研磨抛光， 二是在研磨过程中， 无法对工作台上的研磨灰尘进 行及时清理， 使研 磨抛光的灰尘在工作台上残留， 需要人工清理。 实用新型内容 [0003]本实用新型的主要目的在于提供一种用于半导体的加工设备， 可以有效解决背景 技术中的问题。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型采取的技 术方案为： [0005]一种用于半导体的加工设备， 包括工作台， 所述工作台的下端设置有除尘机构， 所 述工作台的上端后侧设置有夹持机构， 所述工作台的上端中部设置有龙门架， 所述龙门架 的下端固定连接有驱动机构， 所述驱动机构的下端驱动端固定连接有液压杆， 所述液压杆 的下端驱动端固定连接有研磨机， 所述夹持机构包括固定连接在工作台上端后侧的限位 槽， 所述限位槽的内中部设置有双向螺杆， 所述双向螺杆 的两端均通过转动连接在限位槽 的内两侧中部， 所述双向螺杆的右侧 贯穿限位槽的右侧中部并固定连接有转把， 所述转把 的中部两端外周均螺纹连接有限位 块， 所述限位 块的前端均通过限位杆 连接有夹持块。 [0006]优选的， 所述限位块的外周均滑动连接在限位槽 的内周中部两侧， 所述夹持块的 下端均滑动连接在工作台的上端中部 两侧。 [0007]优选的， 所述驱动机构包括固定连接在龙门架的内顶部驱动槽， 所述驱动槽 的内 中部设置有螺纹杆， 所述螺纹杆的两端均通过第二限位轴承转动连接在驱动槽的内两侧中 部， 所述螺纹杆的中部外周螺纹连接有驱动块， 所述螺纹杆的右端固定连接在电动机的左 端驱动端。 [0008]优选的， 所述电动机 的左端固定连接在龙门架的右侧上端， 所述驱动块的外周滑 动连接在驱动槽的内部 。 [0009]优选的， 所述除尘机构包括固定连接在工作台下端的储灰仓， 所述储灰仓 的内下 部滑动连接有储灰抽屉， 所述储灰仓的内上端中部设置有吸尘器， 所述吸尘器的前端进尘 口固定连接有吸尘管， 所述吸尘管的前端贯穿储灰仓的前侧上端中部并与集尘槽的内部连 通， 所述集尘槽的下端固定连接在工作台的上端前侧。 [0010]优选的， 所述储灰仓 的下端固定连接在底座的上端， 所述底座的下端四角均 固定说　明　书 1/3 页 3 CN 218110307 U 3