(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210628599.8 (22)申请日 2022.06.06 (71)申请人 广东越海集成技 术有限公司 地址 510000 广东省广州市增城区宁西街 香山大道2号 (72)发明人 王田芳　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 黄建祥 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 11/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆喷涂药液的回吸机构及晶圆加工 装置 (57)摘要 本发明属于半导体生产制造技术领域， 公开 了一种晶圆喷涂药液的回吸机构及晶圆加工装 置。 该晶圆喷涂药液的回吸机构包括壳体、 气体 通道和液体通道； 壳体用以容纳药液； 气体通道 包括进气口和排气口， 进气口和排气口均与壳体 连通， 进气口和排气口连接于壳体相对的两个侧 面上， 且进气口和排气口均与壳体的底部间隔设 置； 液体通道包括进液口和排液口， 进液口和排 液口均与壳体连通， 进液口设置于壳体的上表面 或侧面上， 进液口靠近进气口， 供气机构能通过 进气口吹气至壳体中， 以使进液口能吸入药液， 排液口设置于壳体的底部。 本发 明能实现回 吸及 容纳大流量、 同种类型的药液， 且回吸过程气液 分离， 使用方便 。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 114833124 A 2022.08.02 CN 114833124 A 1.一种晶圆喷涂药 液的回吸机构， 其特 征在于， 包括： 壳体(1)， 用以容纳所述药 液； 气体通道， 包括进气口(21)和排气口(22)， 所述进气口(21)和所述排气口(22)均与所 述壳体(1)连通， 所述进气口(21)和所述排气口(22)连接于所述壳体(1)相对的两个侧面 上， 且所述进气口(21)和所述 排气口(2 2)均与所述壳体(1)的底部间隔设置； 液体通道， 包括进液口(31)和排液口(32)， 所述进液口(31)和所述排液口(32)均与所 述壳体(1)连通， 所述进液口(31)设置于所述壳体(1)的上表面或侧面上， 所述进液口(31) 靠近所述进气口(21)， 供气机构能通过所述进气口(21)吹气至所述壳体(1)中， 以使所述进 液口(31)能吸入所述药 液， 所述排液口(32)设置 于所述壳体(1)的底部 。 2.根据权利要求1所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述排液口(32)设于 所述壳体(1)的底部 靠近所述排气口(2 2)的一端， 以使所述药 液能由所述 排液口(32)排出。 3.根据权利要求1所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述进气口(21)的轴 线与所述 排气口(2 2)的轴线位于同一 直线上。 4.根据权利要求1所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述壳体(1)、 所述气 体通道和所述液体通道由聚四氟乙烯材 料制成。 5.根据权利要求1所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述壳体(1)设置于 机台内， 所述排气口(2 2)连通所述机台的排气出口(5)或大气。 6.根据权利要求5所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述排液口(32)连通 所述机台的排液 出口。 7.根据权利要求1所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述进液口(31)能选 择性地连通多个喷嘴(4)， 以将多个所述喷嘴(4)的所述药液经所述壳体(1)由所述排液口 (32)排出。 8.根据权利要求1所述的 晶圆喷涂药 液的回吸机构， 其特 征在于， 所述壳体(1)呈矩形。 9.根据权利要求1所述的晶圆喷涂药液的回吸机构， 其特征在于， 所述气体通道和所述 液体通道与所述壳体(1)通过 连接固定或一体成型。 10.一种晶圆加工装置， 其特征在于， 包括如权利要求1 ‑9任一项所述的晶圆喷涂药液 的回吸机构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114833124 A 2一种晶圆喷涂药液的回吸机构及晶圆加工装 置 技术领域 [0001]本发明涉及半导体生产制造技术领域， 尤其涉及 一种晶圆喷涂药液的回吸机构及 晶圆加工装置 。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 在当生产过程中， 通常使用化学药液 清洗晶圆， 以提高晶圆的质量。 但喷涂清洗后， 喷嘴会存在药液残留， 易滴落到晶圆表面， 影 响晶圆性能。 [0003]为了防止 晶圆的喷涂药液作业完成之后， 药液残留由喷嘴掉落到晶圆表面， 现有 解决方法是使用回吸阀来进行药液回吸， 防止药液滴落。 但是由于回吸阀受本身回吸腔大 小的限制， 回吸阀腔室容纳能力有限， 只能做到小流量回吸； 再加上针对相同类型的药液， 每个管路都需要增加 一个回吸阀， 回吸阀只能实现单一流量的回吸， 针对不同流量以及管 径的药液， 回吸阀的使用不便 。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种晶圆喷涂药液的回吸机构及晶圆加工装置， 能实现回 吸及容纳大流 量、 同种类型的药 液， 且回吸过程气液分离， 使用方便 。 [0005]为达此目的， 本发明采用以下技 术方案： [0006]一种晶圆喷涂药 液的回吸机构， 包括： [0007]壳体， 用以容纳所述药 液； [0008]气体通道， 包括进气口和排气口， 所述进气口和所述排气口均与所述壳体连通， 所 述进气口和所述排气口连接于所述壳体相对的两个侧面上， 且所述进气口和所述排气口均 与所述壳体的底部间隔设置； [0009]液体通道， 包括进液口和排液口， 所述进液口和所述排液口均与所述壳体连通， 所 述进液口设置于所述壳体的上表面或侧 面上， 所述进液 口靠近所述进气口， 供气机构能通 过所述进气口吹气至所述壳体中， 以使所述进液 口能吸入所述药液， 所述排液 口设置于所 述壳体的底部 。 [0010]可选地， 所述排液口设于所述壳体 的底部靠近所述排气口的一端， 以使所述药液 能由所述 排液口排出。 [0011]可选地， 所述进气口 的轴线与所述 排气口的轴线位于同一 直线上。 [0012]可选地， 所述壳体、 所述气体通道和所述液体通道由聚四氟乙烯材 料制成。 [0013]可选地， 所述壳体设置 于机台内， 所述排气口连通所述机台的排气出口或大气。 [0014]可选地， 所述 排液口连通所述机台的排液 出口。 [0015]可选地， 所述进液口能选择性地连通多个喷嘴， 以将多个所述喷嘴的所述药液经 所述壳体由所述 排液口排出。 [0016]可选地， 所述壳体呈矩形。说　明　书 1/4 页 3 CN 114833124 A 3