(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210654761.3 (22)申请日 2022.06.10 (71)申请人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限公 司 地址 215316 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 赵天祥　蔡超　 (74)专利代理 机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 董建林 (51)Int.Cl. H01L 21/687(2006.01) H01L 21/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法 和晶圆清洗设备 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆清洗设备技术领域 的一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和 晶圆清洗设备， 旨在解决现有技术中人为方式解 除对晶圆的夹持会影响整体的清洗效率的问题。 其包括依次连接的晶圆卡盘和夹持组件， 所述夹 持组件包括 设置于晶圆卡盘底端的齿盘， 所述齿 盘的顶端两侧均固定安装有 连接柱， 所述连接柱 的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接， 所述齿 盘的两侧均传动连接有同步齿轮， 所述同步齿轮 的另一端固定安装有螺纹轴， 所述螺纹轴的另一 端螺纹安装有同步套； 本发明适用于晶圆清洗设 备， 能够达到晶圆清洗前的夹持以及清洗完毕后 晶圆夹持的自动解除的技 术效果。 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 CN 115083992 A 2022.09.20 CN 115083992 A 1.一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 包括依次连接的晶圆卡盘 （1） 和夹持组 件 （2） ； 所述夹持组件 （2） 包括设置于晶圆卡盘 （1） 底端的齿盘 （201） ， 所述齿盘 （201） 的顶端两 侧均固定安装有连接柱 （202） ， 所述连接柱 （202） 的另一端与晶圆卡盘 （1） 的底侧壁滑动连 接， 所述齿盘 （201） 的两侧均传动连接有 同步齿轮 （203） ， 所述同步齿轮 （203） 能够随齿盘 （201） 同步转动， 所述同步齿轮 （203） 的另一端固定安装有螺纹轴 （204） ， 所述螺纹轴 （204） 的另一端螺纹安装有同步套 （205） ， 所述同步套 （205） 的另一端固定安装有夹持板 （206） ， 所 述齿盘 （201） 的中部开设有连接槽 （207） ， 所述连接槽 （207） 的内侧插接有与驱动源相连接 的驱动轴 （208） ， 所述螺纹轴 （204） 的中部外表面活动安装有限位板 （209） ， 所述限位板 （209） 的顶端与晶圆卡盘 （1） 的底侧壁固定连接， 所述同步套 （205） 的顶端固定安装有稳定 板 （210） ， 所述稳定板 （210） 的另一端与晶圆卡盘 （1） 的底侧壁滑动 连接， 所述夹持板 （206） 两侧为圆角设置， 所述夹持板 （20 6） 的内侧顶端固定安装有限位条 （21 1） ； 所述晶圆卡盘 （1） 与连接柱 （202） 的接触处开设有弧形槽 （101） ； 所述齿盘 （201） 的底侧设置有用于限位驱动轴 （208） 的限位机构 （3） 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述限位机构 （3） 包括固定安装于齿盘 （201） 底端的限位环 （301） ， 所述限位环 （301） 的内部一侧转动安装 有螺纹杆 （3 02） ， 所述螺纹杆 （3 02） 的另一端螺纹安装有限位柱 （3 03） 。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述螺纹杆 （302） 的中部外表面固定安装有联动齿轮 （304） ， 所述联动齿轮 （304） 的顶端啮合连接有齿 环 （305） ， 所述齿环 （305） 的侧面固定安装有同步杆 （306） ， 所述同步杆 （306） 的另一端贯穿 限位环 （301） 的内壁并活动安装有调节套 （307） ， 所述限位环 （301） 与同步杆 （306） 接触处开 设有活动槽 （31 1） 。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述齿环 （305） 的顶端两侧均固定安装有稳定柱 （308） ， 所述稳定柱 （308） 的另一端与齿盘 （201） 的底侧壁 滑动连接， 所述限位柱 （303） 的顶端固定安装有 稳定条 （309） ， 所述稳定条 （309） 的另一端与 齿盘 （201） 的底侧壁滑动连接 。 5.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述调节套 （307） 与限位环 （301） 螺纹连接， 所述调节套 （307） 与同步杆 （306） 接触处开设有同步槽 （310） 。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述弧形槽 （101） 的两侧均设置有用于保护连接柱 （202） 的缓冲保护机构 （4） 。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述缓冲保护 机 构 （4） 包括开设于弧形槽 （101） 两侧的缓冲槽 （401） ， 所述 缓冲槽 （401） 的内侧粘接有缓冲海 绵 （402） 。 8.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件， 其特征在于： 所述缓冲保护 机 构 （4） 还包括设置于弧形槽 （101） 底端两侧的缓冲弧形板 （403） ， 所述缓冲弧形板 （403） 相远 离的一侧固定安装有弹簧柱 （404） ， 所述弹簧柱 （404） 的另一端固定连接有支撑板 （405） ， 所 述支撑板 （405） 与晶圆卡盘 （1） 固定连接 。 9.一种晶圆清洗设备， 其特征在于： 包括权利要求1 ‑8任一项所述的晶圆清洗设备的卡权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115083992 A 2盘组件。 10.一种晶圆清洗设备的卡盘组件的使用方法， 其特 征在于： 所述方法包括， 将驱动轴 （208） 通过 连接槽 （207） 与齿盘 （201） 进行插接； 转动调节套 （307） ， 直至调节套 （307） 处于相对于限位环 （301） 的拧紧状态， 以实现限位 柱 （303） 对驱动轴 （208） 的限位； 将晶圆置于晶圆卡盘 （1） 上， 启动驱动源带动齿盘 （201） 进行转动， 齿盘 （201） 会先相对 于晶圆卡盘 （1） 发生转动， 以实现夹持组件 （2） 对晶圆的夹持， 完成夹持后， 齿盘 （201） 会带 动晶圆卡盘 （1） 同步 转动， 此时进行对晶圆的清洗； 当晶圆完成清洗时， 驱动源不再给予动力， 齿盘 （201） 停止转动， 由于惯性的原因， 夹持 组件 （2） 会解除对晶圆的夹持。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115083992 A 3