(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210687882.8 (22)申请日 2022.06.17 (71)申请人 广东先导 微电子科技有限公司 地址 511517 广东省清远市高新区创兴三 路16号A车间 (72)发明人 郑金龙　周铁军　马金峰　杨小丽　 (74)专利代理 机构 广州三环 专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 刘慧丽 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 11/00(2006.01) B08B 11/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01)B65G 47/74(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)发明名称 一种晶片处 理装置 (57)摘要 本发明涉及晶片处理技术领域， 公开了一种 晶片处理装置， 其包括若干清洗槽、 烘干槽、 转运 装置、 晶片固定装置以及控制器， 晶片固定装置 能够批量固定晶片， 并通过转运装置将固定有晶 片的晶片固定装置转运至清洗槽、 烘干槽， 快速 的完成批量晶片的清洗和烘干处理， 有效提升晶 片的处理效率， 达 到流水化作业。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 115106329 A 2022.09.27 CN 115106329 A 1.一种晶片处 理装置， 其特 征在于， 包括： 至少一个清洗 槽， 各所述清洗 槽具有顶部开口 的清洗腔； 烘干槽， 所述烘干 槽具有顶部开口 的烘干腔； 烘干装置， 所述烘干装置安装于所述烘干 槽内用于烘干晶片； 转运装置， 用以将晶片转 运至所述清洗 槽和所述烘干 槽； 晶片固定装置， 所述转运装置上安装有至少一个所述晶片固定装置， 所述晶片固定装 置包括卡塞机构和用于固定晶片的卡塞盒， 所述卡塞机构设有若干个用于插接所述卡塞盒 的插接槽； 以及 控制器， 所述控制器与所述 转运装置电连接 。 2.根据权利要求1所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述卡塞机构为柱状框体， 所述 卡塞机构上绕其轴线开设有若干所述插接槽， 各所述插接槽沿所述卡塞机构的长度方向延 伸设置。 3.根据权利要求1或2所述的晶片处理装置， 其特征在于： 各所述清洗槽包括外缸和套 接在所述外缸内部的内缸， 所述内缸具有所述清洗腔， 所述内缸 的底板或侧板上设置有出 水口， 所述外缸内设有过滤区， 所述出水 口流出的清洗液经所述过滤区后由泵体抽吸回所 述内缸， 形成循环水路； 所述泵体与所述控制器电连接 。 4.根据权利要求3所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述内缸的上边沿悬挂设置在所 述外缸的侧壁顶部， 和/或在所述外缸底板上设置支撑件以支撑所述内缸。 5.根据权利要求1或2所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述烘干装置包括输气管， 所 述输气管设有 进气口和排气口， 所述进气口连接 外部气源， 所述 排气口与所述烘干腔连通； 所述进气管 上设有进气阀， 所述进气阀与所述控制器电连接 。 6.根据权利要求5所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述烘干槽开口端活动安装有盖 合板， 所述盖合板上开设有与所述烘干腔连通的通 孔。 7.根据权利要求1所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述转运装置包括平移转运装 置、 升降转 运装置； 所述平移转运装置沿水平方向设置于所述清洗槽和所述烘干槽的上方， 并通过第 一驱 动件驱动所述平移转运装置的水平移动， 其中， 所述平移转运装置的移动轨迹覆盖所述烘 干槽和所有所述清洗 槽； 所述升降转运装置沿竖直方向设置于所述清洗槽的上方， 所述升降转运装置的上端与 所述平移转运装置连接， 所述升降转运装置的下端与所述晶片固定装置连接， 并通过第二 驱动件驱动所述升降转 运装置上 下移动； 所述第一驱动件和所述第二驱动件与所述控制器电连接 。 8.根据权利要求7所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述平移转运装置包括若干横 纵 交错的导轨， 所述导轨上活动安装有至少一个滑块， 各所述滑块上至少连接一个所述升降 转运装置； 所述滑块与所述第一驱动件电连接 。 9.根据权利要求7所述的晶片处理装置， 其特征在于： 所述晶片固定装置通过连接组件 连接于所述转运装置上；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115106329 A 2所述连接组件包括自上而下依次连接的连接杆、 安装面板以及用于 固定所述晶片固定 装置的固定件； 所述连接杆的上端与所述升降转 运装置的下端转动连接 。 10.根据权利要求8所述的晶片处理装置， 其特征在于： 还包括柜体， 所述柜体的内部设 有空腔， 所述柜体上开设有至少一个与所述空腔连通的通 风口； 所述烘干槽和所有所述清洗槽水平排布于所述空腔内， 所述导轨固定安装于所述柜体 顶板的内侧面。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115106329 A 3