(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210658446.8 (22)申请日 2022.06.10 (71)申请人 镇江长悦光电科技有限公司 地址 212000 江苏省镇江市高新区南 徐大 道298号睿泰数字产业园 (72)发明人 符永宏　张彦虎　汤发全　华希俊　 何玉洋　纪敬虎　吴禹　王晨阳　 张航成　陈天阳　 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种激光加工装置激光扫描图案重组方法 及存储介质 (57)摘要 本申请涉及一种激光加工装置、 激光扫描图 案重组方法及存储介质。 其中， 该激光加工装置 包括： 激光光源， 用于发出激光； 聚焦场镜， 用于 汇聚激光至靶材表面； 旋转扫描镜， 相邻激光光 源设置， 旋转扫描镜的反射面法线与自身的旋转 中心轴线具有第一夹角； 以及分割重组组件， 相 邻旋转扫描镜设置， 用于对第一扫描图案进行分 割， 以形成至少两个扫描线段， 并在聚焦场镜的 焦平面上进行拼接重组， 以形成第二扫描图案。 通过上述方式， 本申请中的激光加工装置可以兼 容多种使用场景。 权利要求书2页 说明书9页 附图6页 CN 115518946 A 2022.12.27 CN 115518946 A 1.一种激光加工装置， 其特 征在于， 包括： 激光光源， 用于发出激光； 聚焦场镜， 用于汇聚所述激光至靶材表面； 旋转扫描镜， 相邻所述激光光源设置， 所述旋转扫描镜的反射面法线与自身的旋转中 心轴线具有第一夹角， 以使得所述旋转扫描镜通过自身的旋转运动， 将从所述激光光源接 收的所述激光反射形成封闭的第一扫描图案； 以及 分割重组组件， 相邻所述旋转扫描镜设置， 用于接收从所述旋转扫描镜反射的所述第 一扫描图案， 对所述第一扫描图案进 行分割， 以形成至少两个扫描线段， 并在将所述扫描线 段反射后， 在所述聚焦场镜的焦平面或者所述靶材 的表面上进行拼接重组， 以在所述靶材 表面形成第二扫描图案； 其中， 所述第二扫描图案与所述第一扫描图案不同。 2.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述分割重组组件包括两个第一反射镜， 一个所述第一反射镜位于第一光路中， 另一个所述第一反射镜位于第二光路中； 其中， 所述 第一光路和所述第二 光路相互独立， 且最终在所述聚焦场镜的入射 面上汇合； 其中， 两个所述第一反射镜位于不同的反射面上， 用于将所述第一扫描图案分割形成 两个弧形的所述扫描 线段。 3.根据权利要求2所述的装置， 其特征在于， 所述两个所述第 一反射镜中的至少一个的 反射角可调， 用于调节两个所述扫描线段在所述聚焦场镜上 的扫描位置， 使得两个所述扫 描线段能够首尾连接 。 4.根据权利要求1所述的装置， 其特征在于， 所述靶材表面具有第一平面和第二平面， 所述第一平面和所述第二平面呈第二夹角设置； 其中， 所述聚焦场镜为两个， 所述分割重组 组件包括两个第一反射镜， 一个所述第一反射镜和一个所述聚焦场镜位于第一光路中， 另 一个所述第一反射镜和另一个所述聚焦场镜位于第二光路中； 其中， 所述第一光路和所述 第二光路相互独立； 其中， 两个所述第一反射镜位于不同的反射面上， 用于将所述第一扫描图案分割形成 两个弧形的所述扫描 线段。 5.根据权利要求4所述的装置， 其特征在于， 两个所述第 一反射镜 中的至少一个的反射 角可调， 用于调节两个所述扫描线段在所述靶 材表面的所述第一平面和所述第二平面的扫 描位置， 使得两个所述扫描线段在所述第一平面和所述第二平面相交的位置能够首尾连 接。 6.根据权利要求3或5所述的装置， 其特征在于， 所述分割重组组件还包括分别位于所 述第一光路和/或所述第二光路中的第二反射镜， 所述第二反射镜设于所述第一反射镜和 所述聚焦场镜之间， 用于将对应光路中的所述扫描线段进行镜像对称， 使得两个所述扫描 线段能够相互重 叠或者扫描方向相同。 7.一种激光扫描图案 重组方法， 其特 征在于， 包括： 形成封闭的第一扫描图案； 对所述第一扫描图案进行分割， 以形成至少两个扫描 线段； 以及 对所述扫描 线段进行拼接 重组， 以形成第二扫描图案； 其中， 所述第二扫描图案与所述第一扫描图案不同。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115518946 A 28.根据权利要求7所述的方法， 其特征在于， 所述对所述第一扫描图案进行分割， 以形 成至少两个扫描 线段的步骤 包括： 通过位于不同反射面上的至少两个第 一反射镜将所述第 一扫描图案进行分割， 以形成 弧形的所述扫描 线段； 以及 将每一所述扫描 线段反射至相互独立的光路中； 其中， 每一所述扫描 线段在对应的光路中的光 程相等。 9.根据权利要求8所述的方法， 其特征在于， 所述对所述扫描线段进行线性拼接重组， 以形成第二扫描图案的步骤 包括： 通过调节所述第 一反射镜的反射角度， 从而调节所述扫描线段在聚焦场镜的焦平面上 的扫描位置， 使得多个所述扫描线段首尾连接； 其中， 所述第二扫描图案为S型或者波浪型； 或者 通过位于所述第一反射镜和所述聚焦场镜之间的第二反射镜调节所述扫描线段的镜 像对称状态， 使得多个所述扫描 线段相互重 叠； 其中， 所述第二扫描图案为圆弧； 或者 通过位于所述第一反射镜和所述聚焦场镜之间的第二反射镜调节所述扫描线段的扫 描方向， 使得多个所述扫描 线段的扫描方向相同。 10.一种存储介质， 其特征在于， 所述存储介质存储有程序数据， 所述程序数据能够被 执行以实现权利要求7～ 9中任一项所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115518946 A 3