(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210346505.8 (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人 筏渡 （上海） 科技有限公司 地址 200090 上海市杨 浦区长阳路1687号 东1223幢 （A楼） 三层A3 07 (72)发明人 徐文丞　易丛文　夏敏　 (74)专利代理 机构 北京亿腾知识产权代理事务 所(普通合伙) 11309 专利代理师 陈霁　周良玉 (51)Int.Cl. G06F 30/20(2020.01) G06F 16/36(2019.01) G06F 40/30(2020.01) G06F 119/02(2020.01) (54)发明名称 一种构建知识图谱用于半导体制造良率分 析的方法及装置 (57)摘要 本发明提供一种构建知识图谱用 于半导体 制造良率分析的方法， 包括： 获取与半导体制造 相关的目标数据； 对所述目标数据进行知识抽 取， 获得与半导体制造相关的实体， 以及其间的 关系； 以所述实体为节点， 以关系为连接边， 构建 半导体制造相关的目标知识图谱； 所述目标知识 图谱用于对半导体良率进行分析和/或确定半导 体良率对应的决策。 本发明通过构建的目标知识 图谱， 实现了半导体制造领域中半导体良率分析 和/或提升决策的智能化。 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 CN 114818275 A 2022.07.29 CN 114818275 A 1.一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法， 其特 征在于， 包括： 获取与半导体制造相关的目标 数据； 对所述目标 数据进行知识抽取， 获得与半导体制造相关的实体， 以及其间的关系； 以所述实体为节点， 以关系为连接边， 构建半导体制造相关的目标知识图谱； 所述目标 知识图谱用于对半导体良率进行分析， 和/或确定所述半导体良率对应的决策。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述目标数据包括第一类数据， 所述第一 类数据为结构化数据， 包括所述半导体的制造设备相关的和/或半导体相关的数值序列； 所述对所述目标数据进行知识抽取， 获得与半导体制造相关的实体， 以及其间的关系， 之前还包括： 对所述数值序列进行语义识别， 得到所述数值序列对应的描述文本， 所述描述文本描 述了所述数值序列对应的异常信息 。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述对所述数值序列进行语义识别， 得到 所述数值序列对应的描述文本， 包括： 根据预设的规则模板， 为所述数值序列匹配对应的描述文本 。 4.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述对所述数值序列进行语义识别， 得到 所述数值序列对应的描述文本， 包括： 将所述数值序列输入训练完成的语义识别模型， 得到所述数值序列对应的描述文本 。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的方法， 其特征在于， 所述目标数据包括第二类数据 和/或第三类数据， 所述第二类数据包括工程师对所述半导体生产过程中产生的数据进行分析产生的经 验文档； 所述第三类数据为所述半导体的制造设备相关的文档， 包括所述制造设备的使用说明 信息、 故障信息以及所述故障对应的修复信息中的一种或多种。 6.根据权利要求1 ‑5任一项所述的方法， 其特征在于， 所述目标知识图谱以预设的周期 进行更新， 以更新所述目标知识图谱中的节点和连接边。 7.根据权利要求1 ‑6任一项所述的方法， 其特征在于， 所述实体包括事件类实体和对象 类实体， 所述事件类实体包括以下一项或多项： 设备事件、 失效类型事件、 生产步骤事件、 良品 率事件， 统计过程控制事 件； 所述对象类实体包括以下一项或多项： 缺陷检测层对象、 设备对象、 缺陷对象、 失效类 型对象、 生产步骤 对象。 8.一种基于知识图谱的半导体制造良率分析 方法， 其特 征在于， 包括： 获取与半导体制造相关的原 始数据， 所述原 始数据包括半导体的制造相关的数据； 基于所述原始数据和预先构建的如权利要求1 ‑7任一项所述的目标知识图谱， 确定所 述半导体的良率分析结果和/或所述半导体的良率对应的决策， 所述半导体的良率分析结 果包括晶圆的缺陷信息、 管芯的失效信息、 所述晶圆的缺陷和/或管芯的失效信息对应的根 因中的一种或多种。 9.一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的装置， 其特 征在于， 包括： 获取装置， 被 配置为， 获取与半导体制造相关的目标 数据；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114818275 A 2抽取装置， 被配置为， 对所述目标数据进行知识抽取， 获得与半导体制造相关的实体， 以及其间的关系； 构建装置， 被配置为， 以所述实体为节点， 以关系为连接边， 构建半导体制造相关的目 标知识图谱； 所述目标知识图谱用于对半导体良率进 行分析， 和/或确定所述半导体良率对 应的决策。 10.一种计算机可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 当所述计算机程 序在计算机中执 行时， 令计算机执 行权利要求1 ‑8中任一项的所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114818275 A 3