(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210780439.5 (22)申请日 2022.07.05 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114849990 A (43)申请公布日 2022.08.05 (73)专利权人 宁波润华全芯微电子设备有限公 司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市阳明街 道新桥村村委东首 (72)发明人 查方发　袁宁丰　李朋　陈理　 (74)专利代理 机构 浙江中桓凯通专利代理有限 公司 33376 专利代理师 谢英 (51)Int.Cl. B05C 5/02(2006.01) B05C 11/00(2006.01)B05C 11/10(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (56)对比文件 CN 113646095 A,2021.1 1.12 CN 111739823 A,2020.10.02 CN 10284 4463 A,2012.12.26 CN 101762 983 A,2010.0 6.30 JP 2001095944 A,2001.04.10 US 20172 91421 A1,2017.10.12 CN 104076 609 A,2014.10.01 US 2005016449 A1,20 05.01.27 US 2016075138 A1,2016.0 3.17 JP 2011210889 A,201 1.10.20 KR 20040011684 A,20 04.02.11 CN 106404325 A,2017.02.15 审查员 徐婧 (54)发明名称 一种光刻胶 胶嘴装置 (57)摘要 本发明公开了一种光刻胶胶嘴装置， 包括： 保温盒， 所述保温盒包括保温盒壳体， 所述保温 盒壳体内具有保温腔； 至少一个喷嘴， 安装于所 述保温盒； 输送管， 所述输送管连通所述喷嘴， 并 穿过所述保温腔； 点胶组件， 所述点胶组件设于 所述保温盒的一侧； 保湿盒， 所述保湿盒包括第 一保湿槽和第二保湿槽， 所述喷嘴伸入所述第一 保湿槽， 所述点胶组件伸入所述第二保湿槽。 本 发明解决了检测光刻胶工艺性质的装置与喷嘴 由同一主管路供胶， 导致主管路容易污染的问 题。 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 CN 114849990 B 2022.09.23 CN 114849990 B 1.一种光刻 胶胶嘴装置， 其特 征在于， 包括： 保温盒， 所述保温 盒包括保温 盒壳体， 所述保温 盒壳体内具有保温腔； 至少一个喷嘴， 安装于所述保温盒， 通过所述喷嘴吸取光刻胶时的回吸高度以检测所 述喷嘴的性能； 输送管， 所述输送管 连通所述喷 嘴， 并穿过 所述保温腔； 点胶组件， 所述 点胶组件设于所述保温 盒的一侧， 所述 点胶组件检测光刻 胶的性质； 供胶装置， 所述供胶装置连通所述 点胶组件， 所述输送管与所述供胶装置分离； 保湿盒， 所述保湿盒包括第 一保湿槽和第二保湿槽， 所述喷嘴伸入所述第 一保湿槽， 所 述点胶组件伸入所述第二保湿槽 。 2.根据权利要求1所述的光刻胶胶 嘴装置， 其特征在于， 所述保湿盒还包括保湿腔体， 保湿液入口和排废口； 其中， 所述第 一保湿槽、 所述第 二保湿槽、 所述保湿液入口和所述排废口连通所述保湿 腔体。 3.根据权利要求1所述的光刻胶胶嘴装置， 其特征在于， 所述保湿盒还包括多个清洗 口， 所述清洗口连通所述第一保湿槽一侧， 和/或所述第二保湿槽一侧。 4.根据权利要求1所述的光刻胶胶嘴装置， 其特征在于， 所述光刻胶胶嘴装置还包括底 座和第一调节机构， 所述底座支撑于所述保湿盒底部， 所述第一调节机构连接所述保湿盒 的一侧； 所述底座包括多个第 一调节位， 所述第 一调节机构与任意一个所述第 一调节位可拆卸 连接。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的光刻 胶胶嘴装置， 其特 征在于， 所述 点胶组件 包括： 点胶阀， 所述 点胶阀设于所述保湿盒的一侧； 点胶针头， 所述 点胶针头连接所述 点胶阀的端部， 并伸入所述第二保湿槽； 连接板， 所述连接 板可拆卸连接 于所述点胶阀和所述保温 盒之间。 6.根据权利要求5所述的光刻胶胶嘴装置， 其特征在于， 所述连接板的一端设有第 二调 节机构， 所述保温盒设有多个第二调节位， 所述第二调节机构与任意一个第二调节位可拆 卸连接； 和/或， 所述连接板的另一端设有多个第三调节 位， 所述点胶阀设有第三调节机构， 所述第三调节机构与任意 一个第三调节位可拆卸连接； 其中， 多个所述第二调节位沿第 一直线布设， 多个所述第 三调节位沿第 二直线布设， 所 述第一直线和所述第二 直线垂直。 7.根据权利要求1 ‑4任一项所述的光刻胶胶嘴装置， 其特征在于， 所述光刻胶胶嘴装置 还包括： 支撑板， 所述支撑板水平设置， 所述支撑板的一端为传动连接端， 所述传动连接端包括 第一固定孔； 所述支撑板的另一端为支撑端， 所述支撑端用于支撑所述保温盒， 所述支撑端 包括第二固定孔。 8.根据权利要求1 ‑4任一项所述的光刻胶胶嘴装置， 其特征在于， 所述喷嘴包括： 至少 一个供胶喷 嘴和至少一个晶圆清洗喷 嘴。 9.根据权利要求1 ‑4任一项所述的光刻胶胶嘴装置， 其特征在于， 所述保温盒还包括至 少一个第一导向管和/或第二导向管， 所述第一导向管位于所述保温腔内， 所述第二导向管权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114849990 B 2连接所述保温 盒壳体的一侧， 所述第二 导向管连通所述保温腔； 其中， 所述输送管穿过 所述第一 导向管和/或所述第二 导向管。 10.根据权利要求9所述的光刻 胶胶嘴装置， 其特 征在于， 所述保温 盒还包括： 密封板， 所述密封板位于所述保温盒壳体一侧， 用于密封所述保温腔， 所述第 二导向管 安装于所述密封 板； 至少一个加强件， 所述加强件嵌于所述保温盒壳体的至少一侧， 所述密封板与所述加 强件可拆卸连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114849990 B 3